双体船结构水下中低频辐射噪声特性研究 被引量：8

1

作者 薛彦卓 李硕 +1 位作者 徐利刚 庞福振 《中国造船》 EI CSCD 北大核心 2016年第1期94-102,共9页

论文较为详细地研究了双体船结构水下中低频辐射噪声特性。基于声固耦合法,建立了双体船水下中低频声辐射数值预报模型,分析了单侧片体激励、双侧片体激励等典型激励下的双体船结构水下中低频辐射声场分布,讨论了双体船水下辐射噪声的... 论文较为详细地研究了双体船结构水下中低频辐射噪声特性。基于声固耦合法,建立了双体船水下中低频声辐射数值预报模型,分析了单侧片体激励、双侧片体激励等典型激励下的双体船结构水下中低频辐射声场分布,讨论了双体船水下辐射噪声的计算方法。研究表明,双体船水下声辐射与单体船相比存在一定差异,片体结构会对双体船结构水下声辐射产生影响,使其辐射声场发生改变,特别是对其近场声辐射而言,当片体间距与声波波长满足一定关系时,片体之间区域会产生驻波效应,从而使双体船水下声辐射分布发生改变;而当片体间区域不产生驻波效应时,双体船水下辐射噪声大致满足线性叠加原理。 展开更多

关键词 双体船 水下辐射噪声 噪声预报 驻波效应 线性叠加原理

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螺旋弹簧的驻波效应对悬架隔振特性的影响 被引量：8

2

作者 张立军 余卓平 《振动与冲击》 EI CSCD 北大核心 2002年第2期45-47,63,共4页

本文在线性假设的条件下 ,利用四端参数的分析方法 ,研究分析了悬架螺旋弹簧的驻波效应及其对悬架振动传递特性的影响 ,并利用研究结果对悬架振动实际实验中测量得到的结果进行了解释。最后 ,提出了抑制螺旋弹簧驻波效应的方法。

关键词 隔振特性 悬架振动 螺旋弹簧 驻波效应 汽车 减震

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减小光刻中驻波效应的新方法研究 被引量：5

3

作者 肖啸 杜惊雷 +2 位作者 郭永康 杨静 谢世伟 《微细加工技术》 2002年第4期36-39,44,共5页

光刻过程中 ,抗蚀剂内部光敏混合物 (PAC)浓度受光场的影响呈驻波分布 ,导致抗蚀剂显影后的侧壁轮廓成锯齿状。分析了后烘 (PEB)对PAC浓度分布的影响 ,模拟了不同后烘扩散长度下的抗蚀剂显影轮廓 ,从模拟结果可知利用后烘可明显减小驻... 光刻过程中 ,抗蚀剂内部光敏混合物 (PAC)浓度受光场的影响呈驻波分布 ,导致抗蚀剂显影后的侧壁轮廓成锯齿状。分析了后烘 (PEB)对PAC浓度分布的影响 ,模拟了不同后烘扩散长度下的抗蚀剂显影轮廓 ,从模拟结果可知利用后烘可明显减小驻波效应 ,得到平滑的抗蚀剂显影轮廓 ,提高光刻质量。 展开更多

关键词 光刻 驻波效应 后烘 光敏混合物 模拟

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基于阻尼合金层的轴箱弹簧驻波效应抑制研究

4

作者 徐治强 张源 +2 位作者 汪宏楠 杨文波 肖新标 《机械》 2024年第6期1-8,共8页

高速列车轴箱弹簧是转向架结构传声的主要路径,其驻波效应会对转向架高频隔振特性乃至车内噪声产生显著影响。因此,基于弹簧驻波效应机理,采用有限元法建立轴箱弹簧有限元模型,探究轴箱弹簧在0~2000Hz频率区段内的模态应变能分布特点,... 高速列车轴箱弹簧是转向架结构传声的主要路径,其驻波效应会对转向架高频隔振特性乃至车内噪声产生显著影响。因此,基于弹簧驻波效应机理,采用有限元法建立轴箱弹簧有限元模型,探究轴箱弹簧在0~2000Hz频率区段内的模态应变能分布特点,提出在轴箱弹簧簧条内侧敷设阻尼合金层的结构设计方案,调查阻尼合金层厚度对抑制特性的影响。结果表明,由于轴箱弹簧质量分布惯性作用的影响,其高频段会产生明显的驻波效应,对轴箱弹簧隔振性能产生显著影响。在轴箱弹簧簧条内侧贴附阻尼合金层可以有效提升其阻尼性能,2 mm厚阻尼合金层可将轴箱弹簧模态损耗因子从0.001提升至0.005,峰值密集区和峰值稀疏区选取的振动峰值抑制量分别可达16.3 dB和13.4 dB,三分之一倍频段抑制量最高可达6.8dB。该研究结果可为高速列车振动与噪声控制提供指导和支撑。 展开更多

关键词 轴箱弹簧 驻波效应 阻尼合金 模态应变能 损耗因子

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光刻中驻波效应的影响分析 被引量：2

5

作者 刘世杰 杜惊雷 +4 位作者 肖啸 唐雄贵 彭钦军 刘建莉 郭永康 《微纳电子技术》 CAS 2004年第2期41-45,共5页

驻波效应是抗蚀剂在曝光过程中的寄生现象。一般认为,驻波效应对薄胶的光刻图形有较大的影响,而对厚胶的光刻图形影响不大。根据DILL曝光模型进行了模拟计算,分析了在曝光过程中抗蚀剂折射率的改变对驻波强度和位置的影响以及驻波效应... 驻波效应是抗蚀剂在曝光过程中的寄生现象。一般认为,驻波效应对薄胶的光刻图形有较大的影响,而对厚胶的光刻图形影响不大。根据DILL曝光模型进行了模拟计算,分析了在曝光过程中抗蚀剂折射率的改变对驻波强度和位置的影响以及驻波效应引起抗蚀剂曝光剂量分布的变化,并结合MACK显影模型分析了当抗蚀剂的厚度改变时,驻波效应对其显影轮廓的影响程度,计算分析得出了一个可以不采用后烘工序的抗蚀剂厚度值。 展开更多

关键词 光刻 驻波效应 曝光剂量 显影轮廓 厚胶 集成电路 薄光刻胶

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一种估算橡胶隔振器机械阻抗特性的简化方法 被引量：2

6

作者 周相荣 王强 孙洪军 《舰船科学技术》 北大核心 2006年第z2期93-97,共5页

以四端参数法导出的各机械阻抗量的相互关系为基础,通过理论分析、数值仿真与试验手段,提出了简单橡胶圆柱体中高频机械阻抗的分段式简化模型。该简化模型优点明显,仅需要知道有限参数(橡胶隔振器单自由度的阻抗特性与考虑隔振器驻波效... 以四端参数法导出的各机械阻抗量的相互关系为基础,通过理论分析、数值仿真与试验手段,提出了简单橡胶圆柱体中高频机械阻抗的分段式简化模型。该简化模型优点明显,仅需要知道有限参数(橡胶隔振器单自由度的阻抗特性与考虑隔振器驻波效应时的前三阶频率),就可大致估算出橡胶隔振器的中高频率的振动阻抗特性,大大减小了计算量。最后文章给出了复杂橡胶隔振器的试验与有限元仿真、简化模型的对比结果,吻合较好,表明该方法用于橡胶隔振器的中高频机械阻抗的近似估算,具有一定的工程应用价值。 展开更多

关键词 四端参数法 简化模型 驻波效应 有限元 中高频机械阻抗

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一维均匀直杆串联质点系模型的波动特性试验研究 被引量：2

7

作者 康艳博 黄世敏 罗开海 《建筑科学》 CSCD 北大核心 2020年第7期39-44,共6页

通过对5个附加质量不同的一维均匀直杆串联质点系模型进行脉冲激励下的试验研究,并对试验测试数据按不同参数指标进行分析,发现一维均匀直杆串联质点系模型在单脉冲正弦激励作用下,其加速度响应、位移响应存在明显的波动特性,沿高度传... 通过对5个附加质量不同的一维均匀直杆串联质点系模型进行脉冲激励下的试验研究,并对试验测试数据按不同参数指标进行分析,发现一维均匀直杆串联质点系模型在单脉冲正弦激励作用下,其加速度响应、位移响应存在明显的波动特性,沿高度传播存在明显的时滞效应,且不同时刻的响应剖线表现出明显的驻波效应。对于同样具有较大高宽比的高层建筑,其地震激励下响应也存在同样的波动特性,在工程设计中不可忽视。 展开更多

关键词 试验研究 时滞效应 驻波效应 波动特性

原文传递

射频激发容性耦合等离子体空间的不均匀性实验研究 被引量：2

8

作者 邵建国 张杰 +1 位作者 徐海朋 辛煜 《苏州大学学报（自然科学版）》 CAS 2010年第4期61-65,共5页

使用高分辨的等离子体发射光谱系统(OES)研究了射频驱动的容性耦合Ar等离子体的空间光谱分布特性.实验结果表明,等离子体发射强度的空间分布对压强、频率和放电腔体的结构有很强的依赖关系.边界效应(如电报效应、趋肤效应等)使得等离子... 使用高分辨的等离子体发射光谱系统(OES)研究了射频驱动的容性耦合Ar等离子体的空间光谱分布特性.实验结果表明,等离子体发射强度的空间分布对压强、频率和放电腔体的结构有很强的依赖关系.边界效应(如电报效应、趋肤效应等)使得等离子体发射光谱在电极边缘附近具有强的光谱强度,从而使得200 mm范围内等离子体的不均匀性高于100 mm范围内的情形;驻波效应的存在导致在反应器中心位置出现一个中等强度的谱峰;另外,由于射频波可以在介质板中传播,上极板覆盖有介质情况下的等离子体的不均匀性要高于无介质覆盖的情形. 展开更多

关键词 容性耦合等离子体 发射光谱仪(OES) 趋肤效应 驻波效应

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橡胶减振元件中高频机械阻抗的数值模拟 被引量：2

9

作者 周相荣 王强 《噪声与振动控制》 CSCD 北大核心 2006年第3期8-10,共3页

由于驻波效应,橡胶减振元件受宽频带激励会产生中高频段共振,导致减振效果下降,舰船水下中高频段声辐射量增大,因此掌握橡胶减振元件中高频振动隔离性能非常重要。基于有限元高频适用范围的关系理论结合大型通用有限元软件ABAQUS,采用... 由于驻波效应,橡胶减振元件受宽频带激励会产生中高频段共振,导致减振效果下降,舰船水下中高频段声辐射量增大,因此掌握橡胶减振元件中高频振动隔离性能非常重要。基于有限元高频适用范围的关系理论结合大型通用有限元软件ABAQUS,采用结构阻尼法分析减振元件的高频振动特性(点阻抗、传递阻抗和隔振传递率),获得了与试验数据结果相一致分析结果,表明采用结构阻尼数值方法分析橡胶减振元件的动态性能是一种可行的中高频振动隔离性能评估手段。 展开更多

关键词 振动与波 驻波效应 有限元 ABAQUS 中高频振动

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BARC工艺在亚微米光刻中的应用 被引量：2

10

作者 顾志光 孙钧 +1 位作者 郑国祥 龚大卫 《固体电子学研究与进展》 CAS CSCD 北大核心 2005年第4期545-548,558,共5页

在表面强反射膜-多晶硅上进行亚微米光刻时,采用有机BARC(BottomAnti-ReflectiveCoating)工艺,降低了晶片表面的台阶高度,并有效地抑制了驻波效应,获得良好的光刻图形,从而使产品良率提高了6%～7%。

关键词 驻波效应 抗反射膜 亚微米 深亚微米光刻

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隔振器参数及高频驻波效应对浮筏隔振性能的影响 被引量：2

11

作者 宋金明 张乔斌 +1 位作者 尹成彬 吴开峰 《船电技术》 2012年第12期4-7,共4页

建立了船用浮筏的有限元模型,计算分析了隔振器刚度、阻尼对浮筏隔振性能的影响,定性分析了驻波效应对隔振效果的影响。结果表明:隔振器刚度的变化主要影响系统低频部分的隔振性能,对高频部分影响不大,增加隔振器刚度会降低浮筏的隔振性... 建立了船用浮筏的有限元模型,计算分析了隔振器刚度、阻尼对浮筏隔振性能的影响,定性分析了驻波效应对隔振效果的影响。结果表明:隔振器刚度的变化主要影响系统低频部分的隔振性能,对高频部分影响不大,增加隔振器刚度会降低浮筏的隔振性能;隔振器阻尼的增加不利于浮筏减振降噪,尤其在高频段;隔振器的高频驻波效应对浮筏的隔着效果造成严重影响,且频率越高影响越大。 展开更多

关键词 浮筏 隔振器参数 驻波效应 FEM

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扫描干涉场曝光中光栅掩模槽形轮廓的预测 被引量：1

12

作者 鲁森 杨开明 +2 位作者 朱煜 王磊杰 张鸣 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第5期28-34,共7页

根据扫描干涉场曝光的特点,针对光刻胶层内曝光量的驻波效应,建立了动态曝光模型。基于快速推进法建立了显影模型,得到了光栅掩模槽形的演变规律。为减弱驻波效应的影响,提出了一种抗反射层最优厚度的设计方法。仿真结果表明,建立的曝... 根据扫描干涉场曝光的特点,针对光刻胶层内曝光量的驻波效应,建立了动态曝光模型。基于快速推进法建立了显影模型,得到了光栅掩模槽形的演变规律。为减弱驻波效应的影响,提出了一种抗反射层最优厚度的设计方法。仿真结果表明,建立的曝光和显影模型能有效预测光栅掩模的槽形轮廓,同时可优化抗反射膜的厚度。 展开更多

关键词 光栅 扫描干涉场曝光 曝光模型 显影模型 快速推进法 驻波效应

原文传递

微光刻中的驻波效应研究

13

作者 冯伯编 张锦 +1 位作者 范建兴 陈芬 《微细加工技术》 1998年第2期51-60,共10页

本文阐述了驻波效应的成因及其对微细图形光刻，特别是对深亚微米和亚半微米光刻的影响；分析了驻波强度分布；根据抗蚀剂的物理和化学机制，建立了抗蚀剂显影过程的数学和物理模型，并开展了计算机模拟和光刻曝光实验；研究了减小驻波... 本文阐述了驻波效应的成因及其对微细图形光刻，特别是对深亚微米和亚半微米光刻的影响；分析了驻波强度分布；根据抗蚀剂的物理和化学机制，建立了抗蚀剂显影过程的数学和物理模型，并开展了计算机模拟和光刻曝光实验；研究了减小驻波效应的方法；给出了部分模拟和实验结果。 展开更多

关键词 驻波效应 光刻技术 集成电路

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微细图形光刻计算机模拟软件

14

作者 范建兴 冯伯儒 +2 位作者 张锦 陈芬 崔铮 《微细加工技术》 1998年第2期61-66,共6页

本文介绍了新近开发成功的ＢＥＨＡＶＥ软件。该软件具有良好的交互式界面，全面高效的计算模拟功能，是研究探讨微细图形光刻中的驻波效应以及整个微细图形光刻工艺计算模拟的强有力工具。

关键词 驻波效应 计算机模拟 光刻技术 BEHAVE软件

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一种新型谐振腔增强型光电探测器的性能分析

15

作者 赵维 《电子设计工程》 2010年第5期78-80,共3页

通过理论探讨和实验仿真,分析了一种新型谐振腔增强型光电探测器RCEP(Resonant Cavity Enhanced Photodetector)的结构及性能,该RCEP的基本结构是将吸收层插入到谐振腔当中,并指出这种新型器件较传统器件可获得较高的量子效率和响应速度... 通过理论探讨和实验仿真,分析了一种新型谐振腔增强型光电探测器RCEP(Resonant Cavity Enhanced Photodetector)的结构及性能,该RCEP的基本结构是将吸收层插入到谐振腔当中,并指出这种新型器件较传统器件可获得较高的量子效率和响应速度,而其具有的波长选择特性,使这种新型器件可在光波分复用WDM(Wavelength Division Multiplexing)系统中获得广泛应用。 展开更多

关键词 谐振腔增强型(RCE) 光电探测器 量子效率 驻波效应

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多分支管路脉动有源控制误差传感器匹配设计

16

作者 赵佳锡 何琳 徐荣武 《海军工程大学学报》 CAS 北大核心 2020年第1期108-112,共5页

为解决多分支管路系统中驻波效应给管路脉动有源控制效果带来的影响,首先从理论上分析了随着分支管路之间切换管内驻波分布的变化规律,以及驻波变化给脉动有源控制效果带来的影响;然后,依据理论分析结果,设计了“单次级源+多误差传感器... 为解决多分支管路系统中驻波效应给管路脉动有源控制效果带来的影响,首先从理论上分析了随着分支管路之间切换管内驻波分布的变化规律,以及驻波变化给脉动有源控制效果带来的影响;然后,依据理论分析结果,设计了“单次级源+多误差传感器”的系统架构,并在控制算法中增加了误差传感器选择匹配的环节,以达到较好的脉动控制效果;最后,搭建了实验系统,进行了脉动有源控制的实验,并对比了系统改进前后脉动的控制效果。实验结果验证了该设计方法的有效性。 展开更多

关键词 多分支管路 脉动有源控制 驻波效应 误差信号

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悬架弹性元件对悬架振动传递特性的影响 被引量：7

17

作者 张立军 余卓平 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 2002年第2期121-126,共6页

为了分析研究橡胶元件减振隔振的机理 ,在线性假设的前提下 ,用复刚度表示悬架弹性元件的刚度 ,在车身车轮双质量 1/ 4车振动模型的基础上建立了考虑悬架系统中的橡胶弹性支承元件影响的 1/ 4车振动模型 ,并利用该模型详细论述了橡胶元... 为了分析研究橡胶元件减振隔振的机理 ,在线性假设的前提下 ,用复刚度表示悬架弹性元件的刚度 ,在车身车轮双质量 1/ 4车振动模型的基础上建立了考虑悬架系统中的橡胶弹性支承元件影响的 1/ 4车振动模型 ,并利用该模型详细论述了橡胶元件对悬架振动传递特性的总体影响 ,指出其能减小车身部分固有频率附近的传递系数 ,增大车轮部分固有频率附近的传递系数 ,明显改善高频段的隔振性能。 展开更多

关键词 弹性元件 振动传递特性 影响 悬架 橡胶支承元件 驻波效应 隔振 汽车

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大面积VHF-PECVD用多点馈入平行板电极馈入点优化的数值研究 被引量：5

18

作者 葛洪 张晓丹 +3 位作者 岳强 张发荣 赵影 赵颖 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期281-285,共5页

本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间真空电势分布均匀性的影响。研究结果表明:对于给定激发频率... 本文采用二维准平面电路模型,对大面积甚高频等离子体增强化学气相沉积(VHF-PECVD)用多点馈入平行板电极馈入点的优化进行了数值研究,讨论了不同的多点馈入模式对平行板电极间真空电势分布均匀性的影响。研究结果表明:对于给定激发频率和尺度的大面积平行板电极,功率馈入连接点位置分布和数量成为影响电极间电势分布均匀性的两个重要可控参量,通过优化功率馈入连接点数量和连接点位置分布,可以抑制电势驻波效应及功率馈入点对数奇点效应,很大程度上有效地改善了电极间电势分布的均匀性。本文数值计算结果在一定程度上为VHF-PECVD技术用平行板电极实现大面积薄膜均匀沉积的系统设计提供了理论指导。 展开更多

关键词 多点功率馈入 甚高频等离子体增强化学气相沉积 电势驻波效应 电报效应

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超声电机在南京航空航天大学的研究与发展 被引量：12

19

作者 赵淳生 《振动．测试与诊断》 EI CSCD 2005年第3期167-173,共7页

介绍了南京航空航天大学超声电机研究概况;叙述了南京航空航天大学超声电机研究中心在超声电机技术方面所取得的研究进展和成果;列举了该中心在研究超声电机中所解决的若干关键技术;总结了取得这些进展和成果的主要原因和经验。最后,提... 介绍了南京航空航天大学超声电机研究概况;叙述了南京航空航天大学超声电机研究中心在超声电机技术方面所取得的研究进展和成果;列举了该中心在研究超声电机中所解决的若干关键技术;总结了取得这些进展和成果的主要原因和经验。最后,提出了本中心当前的研究任务,展望了超声电机未来的发展。 展开更多

关键词 超声电机 行波 驻波 逆压电效应

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