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石英玻璃与HF酸反应动力学的研究 被引量:48
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作者 苏英 周永恒 +1 位作者 黄武 顾真安 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期287-293,共7页
为控制石英玻璃与HF酸的反应 ,实现石英玻璃精密元件的化学蚀刻 ,系统研究 3类石英玻璃与HF酸反应的动力学过程。研究表明 :石英玻璃与HF酸的反应速度由化学反应控制 ,其中≡Si—O—Si≡网络中Si—O键的断裂决定反应速率 ;影响反应速率... 为控制石英玻璃与HF酸的反应 ,实现石英玻璃精密元件的化学蚀刻 ,系统研究 3类石英玻璃与HF酸反应的动力学过程。研究表明 :石英玻璃与HF酸的反应速度由化学反应控制 ,其中≡Si—O—Si≡网络中Si—O键的断裂决定反应速率 ;影响反应速率的主要因素包括反应温度、HF酸中活性成分与浓度以及石英玻璃结构。Ⅰ类石英玻璃在金属坩埚中熔制 ,金属杂质含量高 ,结构中存在较多缺陷 ,导致反应速率最快 ;而Ⅲ类石英玻璃中羟基含量高是反应速率高于II类石英玻璃的主要原因 ;各类石英玻璃在HF酸中的反应活性依次是Ⅰ >Ⅲ >Ⅱ类。反应过程中 ,HF酸中的活性成分 (HF) 2 或HF- 2 吸附于石英玻璃表面 ,对Si原子产生亲核性侵蚀使Si—O键断裂 ,而H+ 对反应起催化作用。在HF酸高浓度区 (>7mol/L)反应速率快速增长的原因是溶液中生成更多活性较大的 (HF) nF- 离子。 展开更多
关键词 石英玻璃 氢氟酸 动力学 反应机理
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不同形态石英玻璃的析晶动力学研究 被引量:25
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作者 温广武 雷廷权 周玉 《材料科学与工艺》 EI CAS CSCD 2001年第1期1-5,共5页
应用XRD技术对三种形态 (块状 ,粉末和纤维 )石英玻璃在 12 0 0~ 15 0 0℃范围内的等温析晶动力学过程进行了实验研究 .实验结果表明 ,不同形态石英玻璃的析晶产物都是低温方石英 ,但形态不同的石英玻璃的析晶开始温度 ,同一温度下的... 应用XRD技术对三种形态 (块状 ,粉末和纤维 )石英玻璃在 12 0 0~ 15 0 0℃范围内的等温析晶动力学过程进行了实验研究 .实验结果表明 ,不同形态石英玻璃的析晶产物都是低温方石英 ,但形态不同的石英玻璃的析晶开始温度 ,同一温度下的析晶量及析晶量随温度的变化关系是不同的 .三种形态石英玻璃析晶动力学可较好地用Avrami方程表示 ,其中块状 ,粉末和纤维的平均n值分别为 1.6 5 ,1.6 8和 1.92 ,活化能分别为 495 ,44 5和 430kJ/mol .析晶中的成核为表面成核机制 .晶体生长受扩散和重排双重控制 ,随比表面和杂质含量的增大 (块状→粉末→纤维 ) ,控制因素中扩散的比例降低 ,而重排的比例上升 ,因而n值上升而活化能下降 ,析晶倾向增大 . 展开更多
关键词 石英玻璃 析晶动力学 XRD技术 Avrami方程 析晶产物
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石英玻璃的结构缺陷及其形成机理 被引量:17
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作者 苏英 贺行洋 +1 位作者 向在奎 余刚 《武汉理工大学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第8期50-54,共5页
采用不同工艺制备4种石英玻璃,分析其结构缺陷及形成机理。结果表明,水晶粉为原料、石墨坩埚中熔制的Ⅰ类玻璃气泡、颗粒、条纹最多;高纯SiCl4原料、CVD工艺制备的Ⅲ、Ⅳ类玻璃无颗粒缺陷,气泡与条纹明显少于Ⅰ、Ⅱ类。Ⅱ、Ⅳ类玻璃经... 采用不同工艺制备4种石英玻璃,分析其结构缺陷及形成机理。结果表明,水晶粉为原料、石墨坩埚中熔制的Ⅰ类玻璃气泡、颗粒、条纹最多;高纯SiCl4原料、CVD工艺制备的Ⅲ、Ⅳ类玻璃无颗粒缺陷,气泡与条纹明显少于Ⅰ、Ⅱ类。Ⅱ、Ⅳ类玻璃经高温拉棒形成较大热应力,Ⅲ类玻璃熔体降温速度慢、热应力小。微观结构上,Ⅰ类玻璃金属杂质含量最高,Ⅱ类次之,Ⅲ、Ⅳ类都小于5×10-6。Ⅳ类玻璃在无氢的等离子火焰中熔制、羟基含量极低,Ⅱ、Ⅲ类在H2-O2焰中熔制导致羟基含量高。Ⅰ、Ⅱ、Ⅳ类玻璃氧空位含量较高,Ⅲ类玻璃基本不存在氧空位。 展开更多
关键词 石英玻璃 宏观缺陷 微观缺陷 形成机理
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高浓度Er^(3+)/Yb^(3+)掺杂硅酸盐玻璃波导放大器的增益特性研究 被引量:6
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作者 陈海燕 官周国 刘永智 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2001年第5期391-394,共4页
本文分析了高浓度Er3+/Yb3+掺杂硅酸盐玻璃波导放大器,通过优化Er3+、Yb3+离子的浓度,Er3+/Er3+离于对的影响可忽略,每个 Er3+离子可认为只与周围的 Yb3+离子配对.数值结果表明,制作高增益和超... 本文分析了高浓度Er3+/Yb3+掺杂硅酸盐玻璃波导放大器,通过优化Er3+、Yb3+离子的浓度,Er3+/Er3+离于对的影响可忽略,每个 Er3+离子可认为只与周围的 Yb3+离子配对.数值结果表明,制作高增益和超短长度(厘米量级)的 Er3+/Yb3+混合掺杂波导放大器是可能的.获得了 25 dB/cm的增益. 展开更多
关键词 硅酸盐玻璃 光波导 光放大器 掺杂
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不同养护条件下含石英玻璃地质聚合物砂浆的变形行为 被引量:14
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作者 刘永道 卢都友 +1 位作者 郑彦增 许仲梓 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2012年第5期696-702,共7页
为阐明典型活性组分(无定型SiO2)在地质聚合物中的作用行为和效应,探索地质聚合物体系中碱-集料反应评价方法,研究常温(23℃)和38℃湿气养护(相对湿度>95%)、80℃在1 mol/L NaOH溶液浸泡及150℃在10%(质量分数)的KOH溶液压蒸下,含石... 为阐明典型活性组分(无定型SiO2)在地质聚合物中的作用行为和效应,探索地质聚合物体系中碱-集料反应评价方法,研究常温(23℃)和38℃湿气养护(相对湿度>95%)、80℃在1 mol/L NaOH溶液浸泡及150℃在10%(质量分数)的KOH溶液压蒸下,含石英玻璃集料地质聚合物砂浆的变形行为,采用扫描电镜、电子散射能谱研究产物的组成和微观结构。结果表明:4种养护条件下,特别是在传统普通硅酸盐水泥(OPC)体系所规定的养护条件和龄期内,含石英玻璃集料地质聚合物砂浆没有发生有害膨胀;但是随养护条件不同,地质聚合物基体和石英玻璃可能经历不同的化学反应过程,进而导致不同的变形行为,特别是在高温且有外碱介入时,地质聚合物基体在后期会产生膨胀效应。不宜采用单一的适于OPC体系的高温、高碱快速检测混凝土碱-集料反应的检测方法来评价地质聚合物体系中的碱-集料反应行为。 展开更多
关键词 地质聚合物 石英玻璃 “碱-硅酸”反应 变形行为
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石英玻璃与铝液的反应 被引量:9
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作者 张守魁 王丹虹 +1 位作者 赵红 苗华明 《机械工程材料》 CAS CSCD 北大核心 2001年第1期28-30,34,共4页
探讨了石英玻璃与铝液的反应机制 ,可用 Si O2 原位反应模式来描述 ,反应产物 Al2 O3在 Si O2 一方原位生长 ,反应包括孕育期、反应期及反应完了期。在反应过程中 ,Si原子进入铝液 ,Al原子被输送到反应前沿。原子的迁移主要通过原子扩... 探讨了石英玻璃与铝液的反应机制 ,可用 Si O2 原位反应模式来描述 ,反应产物 Al2 O3在 Si O2 一方原位生长 ,反应包括孕育期、反应期及反应完了期。在反应过程中 ,Si原子进入铝液 ,Al原子被输送到反应前沿。原子的迁移主要通过原子扩散通道 (空隙、裂纹、晶界 )来完成。对复合材料制品进行了 X射线、能谱分析 ,测试了制品反应前后的尺寸、导电性和表面粗糙度。利用 Si O2 原位反应模式可以制备出与石英玻璃制品形状、几何特征一样的 Al/Al2 展开更多
关键词 石英玻璃 反应 孕育 铝液 复合材料
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等离子体化学气相沉积法合成石英玻璃(英文) 被引量:12
7
作者 宋学富 孙元成 +2 位作者 钟海 王宏杰 顾真安 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2008年第4期531-534,共4页
用高频等离子体作为热源,采用化学气相沉积法合成了石英玻璃样品。实验分别使用O2和空气作为等离子体电离气体和冷却保护气体,改变等离子体电离工作气体种类时,等离子体火焰长度和石英玻璃沉积温度变化较大,而灯具冷却保护气体的改变对... 用高频等离子体作为热源,采用化学气相沉积法合成了石英玻璃样品。实验分别使用O2和空气作为等离子体电离气体和冷却保护气体,改变等离子体电离工作气体种类时,等离子体火焰长度和石英玻璃沉积温度变化较大,而灯具冷却保护气体的改变对等离子火焰长度和石英玻璃沉积温度的影响不大。当等离子体电离气体和灯具保护气体均为O2时,等离子体火焰长度为12cm,石英基体温度为1300℃,当等离子体电离气体和灯具保护气体均为空气时,等离子体火焰长度可达24cm,石英基体温度升高到1840℃,可确保气相沉积过程进行,合成的石英玻璃在波长190nm处光透过率达84%,羟基含量3.5×10–6,可达到全光谱透过的要求。 展开更多
关键词 等离子火焰 化学气相沉积 石英玻璃
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CVD合成石英玻璃的结构均匀性研究 被引量:11
8
作者 隋梅 孙元成 +1 位作者 宋学富 王宏杰 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第22期106-110,共5页
高纯石英玻璃在光学、光通信及惯性导航中的应用要求其具备高的结构均匀性。CVD(化学气相沉积法)合成高纯石英玻璃的工艺条件决定了它具备的结构状态。对使用卧式和立式两种工艺合成高纯石英玻璃的结构均匀性进行了研究,通过应力测试和... 高纯石英玻璃在光学、光通信及惯性导航中的应用要求其具备高的结构均匀性。CVD(化学气相沉积法)合成高纯石英玻璃的工艺条件决定了它具备的结构状态。对使用卧式和立式两种工艺合成高纯石英玻璃的结构均匀性进行了研究,通过应力测试和假想温度测试,测得卧式工艺制得玻璃在平行于沉积面方向具有环状不均匀结构,并导致结构应力的环状分布,在垂直于沉积面方向结构均匀;立式工艺制得玻璃在垂直于沉积面方向存在层状结构分布,每层厚度为0.16 cm,在平行于沉积面方向结构均匀性好,直径8 cm范围内无结构应力。 展开更多
关键词 石英玻璃 结构均匀性 化学气相沉积
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超纯石英玻璃制备工艺研究 被引量:9
9
作者 王玉芬 宋学富 +2 位作者 孙元成 徐驰 王蕾 《武汉理工大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2010年第22期98-101,共4页
采用高频等离子体化学气相沉积(PCVD)方法合成超纯石英玻璃,通过对化学反应、质量输送、穿越边界层、微粒沉积和玻璃熔融及气体解吸5个阶段的化学、物理机理的分析,提出了PCVD过程模型,计算各阶段所需时间,确定气体解吸阶段所需时间最长... 采用高频等离子体化学气相沉积(PCVD)方法合成超纯石英玻璃,通过对化学反应、质量输送、穿越边界层、微粒沉积和玻璃熔融及气体解吸5个阶段的化学、物理机理的分析,提出了PCVD过程模型,计算各阶段所需时间,确定气体解吸阶段所需时间最长,为PCVD过程中的控制反应。控制先驱体四氯化硅流量,在沉积温度1 860℃、沉积速率97.5 g/h条件下成功制备出无宏观气泡的超纯石英玻璃,190 nm处光谱透过率达到84%,羟基含量≤5 ppm,可达到全光谱通过的要求。 展开更多
关键词 石英玻璃 PCVD 沉积速率
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使用长脉冲高能激光对石英玻璃打孔 被引量:7
10
作者 戴罡 陆建 +2 位作者 刘剑 张梁 倪晓武 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第2期380-386,共7页
为了实现玻璃上的高效快速打孔,研究了使用长脉冲激光在石英玻璃上打孔的方法。通过在玻璃表面镀制ZrO2,解决了石英玻璃对1 064 nm激光吸收弱的问题。使用脉宽为1 ms、波长为1 064 nm的Nd∶YAG激光在石英玻璃上打出了深为1.55 mm的锥形... 为了实现玻璃上的高效快速打孔,研究了使用长脉冲激光在石英玻璃上打孔的方法。通过在玻璃表面镀制ZrO2,解决了石英玻璃对1 064 nm激光吸收弱的问题。使用脉宽为1 ms、波长为1 064 nm的Nd∶YAG激光在石英玻璃上打出了深为1.55 mm的锥形孔。研究了激光打孔的能效比,结果显示,当激光的能量密度为6.8 kJ/cm2左右时,打孔的效能比最大,并分析了可能的原因。根据膜层及基底的吸收系数随温度增加而增加的特性,分析了形成锥形深孔的机理。采用在玻璃的双面都增加吸收层的方法,在玻璃上加工出柱状通孔。最后,分析和讨论了吸收层的热学性质和光学性质对打孔的影响,为提高打孔效率提供了设计方案。实验结果表明,使用单脉冲ms激光能够高效地在玻璃上打出小深孔,为提高玻璃打孔效率提供了新的思路。 展开更多
关键词 激光打孔 高能激光 长脉冲激光 石英玻璃
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石英玻璃高温分子动力学模拟中的势函数 被引量:7
11
作者 丁元法 张跃 +2 位作者 张凡伟 张大海 李仲平 《物理化学学报》 SCIE CAS CSCD 北大核心 2008年第5期788-792,共5页
根据石英玻璃高温下的分子动力学研究,分析了势函数中多体势在高温应用下的局限性,认为离子型对势在模拟石英玻璃高温结构方面优于多体势.在原子电荷转移方面,计算并分析了Si和O原子电荷大小对计算原子自扩散系数的影响,发现用原子电荷... 根据石英玻璃高温下的分子动力学研究,分析了势函数中多体势在高温应用下的局限性,认为离子型对势在模拟石英玻璃高温结构方面优于多体势.在原子电荷转移方面,计算并分析了Si和O原子电荷大小对计算原子自扩散系数的影响,发现用原子电荷转移较少的Morse势函数计算的原子自扩散激活温度比BKS势函数计算的低,而且在同一温度下,自扩散系数的计算值也随着原子电荷的减小而增大,因此,较小的原子电荷转移应该有利于石英玻璃在高温下的动力学性能的研究. 展开更多
关键词 石英玻璃 高温 分子动力学 多体势 电荷转移
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惯性导航系统用石英玻璃材料 被引量:6
12
作者 孙元成 宋学富 +1 位作者 张晓强 杜秀蓉 《导航与控制》 2019年第5期1-10,48,共11页
石英玻璃是高精度挠性加速度计、半球谐振陀螺的核心材料。随着我国在航天、航空、航海等多领域中所取得的技术进步,高精度惯性导航系统对石英玻璃的性能提出了越来越高的要求,但目前行业缺乏针对性的技术标准、性能指标体系。系统介绍... 石英玻璃是高精度挠性加速度计、半球谐振陀螺的核心材料。随着我国在航天、航空、航海等多领域中所取得的技术进步,高精度惯性导航系统对石英玻璃的性能提出了越来越高的要求,但目前行业缺乏针对性的技术标准、性能指标体系。系统介绍了各类石英玻璃的制备工艺及特点,并针对石英玻璃在惯性导航系统中的具体应用,详细介绍了石英玻璃的相关性能指标及加工方式,为石英玻璃的材料选择提供了参考。 展开更多
关键词 石英玻璃 惯性导航 半球谐振子 石英摆片
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G.657光纤的性能特点 被引量:6
13
作者 胡先志 林佩锋 《光通信研究》 北大核心 2007年第5期42-44,共3页
文章首先根据光纤接入网的建设特点,提出了研究弯曲不敏感单模光纤(ITU-T G.657光纤)的必要性,然后阐述了G.657光纤的结构特点和性能参数,概括了G.657A光纤和G.657B光纤的不同用途,最后对G.657光纤与G.652光纤的模场直径、截止波长和弯... 文章首先根据光纤接入网的建设特点,提出了研究弯曲不敏感单模光纤(ITU-T G.657光纤)的必要性,然后阐述了G.657光纤的结构特点和性能参数,概括了G.657A光纤和G.657B光纤的不同用途,最后对G.657光纤与G.652光纤的模场直径、截止波长和弯曲损耗等性能参数进行了比较。 展开更多
关键词 接入网 石英玻璃 单模光纤 G.657光纤
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火焰水解法制作SiO_2平面波导材料 被引量:4
14
作者 吴远大 邢华 +4 位作者 张乐天 韦占雄 郑伟 刘国范 张玉书 《半导体光电》 CAS CSCD 北大核心 2001年第2期117-120,共4页
采用火焰水解法在Si基上淀积SiO2 /GeO2 :SiO2 预制材料 ,然后在真空中 /空气气氛中高温处理 ( 1380℃ )后 ,制得玻璃化的SiO2 /GeO2 :SiO2 膜材料。该材料膜厚适中 ( 10~ 30μm)、平整度好、光滑透明和适合制作单模、多模列阵平面波... 采用火焰水解法在Si基上淀积SiO2 /GeO2 :SiO2 预制材料 ,然后在真空中 /空气气氛中高温处理 ( 1380℃ )后 ,制得玻璃化的SiO2 /GeO2 :SiO2 膜材料。该材料膜厚适中 ( 10~ 30μm)、平整度好、光滑透明和适合制作单模、多模列阵平面波导光栅。利用XRD ,SEM和台阶仪等仪器对SiO2 展开更多
关键词 火焰水解法 光波导 二氧化硅 平面波导材料
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纳米级微孔SiO_2玻璃材料制备技术研究 Ⅱ.纳米级微孔SiO_2玻璃体材的研制 被引量:3
15
作者 曾庭英 邱勇 +2 位作者 杜金环 陈柳生 宋心琦 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 1997年第3期272-274,共3页
采用溶胶-凝胶法,以正硅酸乙酯为原料,在酸催化下,用草酸化作学添加剂助剂(DCCA),着重研究了草权用量对产品性能的影响,在此基础上,成功地研制出本体尺寸较大的纳米级微孔玻璃体材,其孔径分布主要范围在1~2nm之间,... 采用溶胶-凝胶法,以正硅酸乙酯为原料,在酸催化下,用草酸化作学添加剂助剂(DCCA),着重研究了草权用量对产品性能的影响,在此基础上,成功地研制出本体尺寸较大的纳米级微孔玻璃体材,其孔径分布主要范围在1~2nm之间,比表面积可达215.39m^2/g密度几站石英玻璃的1/2,在紫外-可见光区透光性好,是一种很好的功能性纳米级基质材料。 展开更多
关键词 溶胶-凝胶法 石英玻璃 纳米级微孔材料正硅酸乙酯
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磷酸盐激光玻璃在干燥和潮湿空气下的磨损性能 被引量:5
16
作者 张文利 余家欣 +3 位作者 蔡勇 蒋刚 黄文 吉方 《硅酸盐学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第7期1008-1016,共9页
在往复式摩擦磨损试验机上采用石英玻璃球作为对摩副,研究了干燥和潮湿空气下磷酸盐激光玻璃的磨损性能。结果表明:磷酸盐激光玻璃在潮湿空气下比干燥空气下表现出更好的耐磨性,应力腐蚀几乎不能促进该玻璃的材料去除。此外,低载磨损时... 在往复式摩擦磨损试验机上采用石英玻璃球作为对摩副,研究了干燥和潮湿空气下磷酸盐激光玻璃的磨损性能。结果表明:磷酸盐激光玻璃在潮湿空气下比干燥空气下表现出更好的耐磨性,应力腐蚀几乎不能促进该玻璃的材料去除。此外,低载磨损时磷酸盐激光玻璃在潮湿空气中比干燥空气中更容易出现Hertz裂纹,然而高载下该玻璃表面的Hertz裂纹在潮湿空气中却表现得更为轻微。与磷酸盐玻璃相反,石英玻璃球在潮湿空气下的磨损程度远高于干燥空气下,应力腐蚀对潮湿空气下石英玻璃球的磨损起到了主导作用。 展开更多
关键词 磷酸盐钕玻璃 石英玻璃 磨损 应力腐蚀 摩擦化学反应
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Effect of Different Forms of Silica on Sintering, Microstructure and Properties of Borosilicate Glass/Al_2O_3 Composites 被引量:1
17
作者 刘明 ZHOU Hongqing +2 位作者 ZHU Haikui YUE Zhenxing ZHAO Jianxin 《Journal of Wuhan University of Technology(Materials Science)》 SCIE EI CAS 2014年第1期58-64,共7页
The effects of the introduction of silica glass and silica ceramic into Ca-Al-B-Si-O glass/ Al2O3 composites on decreasing the shrinkage and the dielectric constant of samples were investigated by FTIR, DSC, XRD and S... The effects of the introduction of silica glass and silica ceramic into Ca-Al-B-Si-O glass/ Al2O3 composites on decreasing the shrinkage and the dielectric constant of samples were investigated by FTIR, DSC, XRD and SEM. The results show that silica ceramic filler can better improve the formation of Si- O-Si network in the composites under high temperature, which leads to increased continuity of glass network at high temperature, and deduces the increase of viscosity of composites and further results in the decrease in the shrinkage of samples. Densification, three-point strength, and dielectric constant of samples decrease with the increase of silica glass or silica ceramic content. By contrast, Ca-Al-B-Si-O glass/Al2O3 composites with 4 wt% silica ceramic exhibit better properties of a bulk density of 2.81 g.cm-3, a porosity of 0.3%, a 3dp value of 202 MPa, a er value of 7.41 , a tan d value of 8.3 ×10^-4 at 10 MHz and a well matching with Ag electrodes. This material is suitable to be used as the LTCC material for the application in wireless communications. 展开更多
关键词 LTCC Ca-AI-B-Si-O glass AL2O3 silica glass silica ceramic microstructure
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飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的研究 被引量:5
18
作者 梁德志 王敏 +1 位作者 杜晨林 伍晓宇 《激光技术》 CAS CSCD 北大核心 2017年第2期174-177,共4页
为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量,通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验。采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量,并分析了微通道的形貌。结果表明,在飞秒激光功率为50mW、刻蚀... 为了获得飞秒激光背部湿刻石英玻璃微通道的最佳参量,通过分别改变飞秒激光的功率、刻蚀速率和显微物镜的放大倍数进行了实验。采用超景深显微镜对加工样品进行观察和测量,并分析了微通道的形貌。结果表明,在飞秒激光功率为50mW、刻蚀速率为0.010mm/s、20~×显微物镜聚焦的实验条件下,可以制备出深度为1466μm、深宽比为32的石英玻璃微通道。此研究对3维结构维纳制造技术有一定的应用价值。 展开更多
关键词 超快光学 微通道 激光诱导背部湿刻 石英玻璃
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抛光石英玻璃亚表面缺陷研究 被引量:5
19
作者 杜秀蓉 张晓强 +3 位作者 王慧 孙元成 宋学富 隋镁深 《硅酸盐通报》 CAS CSCD 北大核心 2017年第S1期47-49,77,共4页
针对抛光石英玻璃表面经氢氟酸溶液刻蚀后,出现麻点、划痕等缺陷;本文对出现的亚表面缺陷进行了分类,并研究了各种缺陷经氢氟酸溶液刻蚀后形态变化;结合石英玻璃加工过程对各类亚表缺陷的成因进行了分析。
关键词 石英玻璃 亚表面缺陷 研磨抛光 刻蚀
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极化光纤器件及其应用 被引量:4
20
作者 陈哲 廖延彪 +2 位作者 胡永明 孟洲 周沐 《光电子.激光》 EI CAS CSCD 1999年第2期175-178,共4页
本文综述了新型有源光纤器件-极化光纤,阐述了极化光纤器件实验的关键技术及实现方法,介绍了极化光纤的应用领域。
关键词 极化光纤 非线性光学 石英玻璃 光纤有源器件
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