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Al/Ti摩尔比对(CrTiAl)N硬质膜相结构和硬度的影响
1
作者
张钧
彭立静
+3 位作者
王宇
王晓阳
王楠
王美涵
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期55-61,共7页
采用多弧离子镀技术,设计沉积工艺和调整阴极弧源靶组合以及对应的弧源电流,制备出以CrN为基形貌和厚度相同、Al/Ti摩尔比不同的系列(CrTiAl)N硬质膜。测试膜的成分、组织形貌、相组成和表面硬度,研究了Al/Ti摩尔比对其相结构和硬度的...
采用多弧离子镀技术,设计沉积工艺和调整阴极弧源靶组合以及对应的弧源电流,制备出以CrN为基形貌和厚度相同、Al/Ti摩尔比不同的系列(CrTiAl)N硬质膜。测试膜的成分、组织形貌、相组成和表面硬度,研究了Al/Ti摩尔比对其相结构和硬度的影响。结果表明:不同Al/Ti摩尔比的(CrTiAl)N膜其相组成相同,都呈现(200)和(111)晶面择优生长。随着膜层的Al/Ti摩尔比从0.38提高到0.85,其硬度表现出规律性的变化。Al/Ti摩尔比为0.49的(CrTiAl)N膜硬度最高(达到HV4200),Al/Ti摩尔比为0.85时硬度降到HV2600。在膜层组织形貌、膜层厚度以及CrN含量基本不变的条件下,Al/Ti摩尔比直接影响膜层的硬度并呈现出非单调关系。在较大的Al/Ti摩尔比范围内(CrTiAl)N膜层的相结构不变,均为置换式面心立方固溶体。优化Al/Ti摩尔比,可使(CrTiAl)N膜的硬度显著高于(CrTi)N膜而具有超硬性。
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关键词
金属材料
(
crtial
)
n
硬
质膜
多弧离子镀
Al/Ti摩尔比
硬
度
相结构
原文传递
题名
Al/Ti摩尔比对(CrTiAl)N硬质膜相结构和硬度的影响
1
作者
张钧
彭立静
王宇
王晓阳
王楠
王美涵
机构
沈阳大学机械工程学院
辽宁省多组硬质膜研究及应用重点实验室
出处
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022年第1期55-61,共7页
基金
辽宁省高等学校创新人才支持计划(LR2019044)。
文摘
采用多弧离子镀技术,设计沉积工艺和调整阴极弧源靶组合以及对应的弧源电流,制备出以CrN为基形貌和厚度相同、Al/Ti摩尔比不同的系列(CrTiAl)N硬质膜。测试膜的成分、组织形貌、相组成和表面硬度,研究了Al/Ti摩尔比对其相结构和硬度的影响。结果表明:不同Al/Ti摩尔比的(CrTiAl)N膜其相组成相同,都呈现(200)和(111)晶面择优生长。随着膜层的Al/Ti摩尔比从0.38提高到0.85,其硬度表现出规律性的变化。Al/Ti摩尔比为0.49的(CrTiAl)N膜硬度最高(达到HV4200),Al/Ti摩尔比为0.85时硬度降到HV2600。在膜层组织形貌、膜层厚度以及CrN含量基本不变的条件下,Al/Ti摩尔比直接影响膜层的硬度并呈现出非单调关系。在较大的Al/Ti摩尔比范围内(CrTiAl)N膜层的相结构不变,均为置换式面心立方固溶体。优化Al/Ti摩尔比,可使(CrTiAl)N膜的硬度显著高于(CrTi)N膜而具有超硬性。
关键词
金属材料
(
crtial
)
n
硬
质膜
多弧离子镀
Al/Ti摩尔比
硬
度
相结构
Keywords
metallic materials
(
crtial
)
n
hard film
multi-arc io
n
plati
n
g
Al/Ti molar ratio
hard
n
ess
phase structure
分类号
TG430.40 [金属学及工艺—焊接]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
Al/Ti摩尔比对(CrTiAl)N硬质膜相结构和硬度的影响
张钧
彭立静
王宇
王晓阳
王楠
王美涵
《材料研究学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2022
0
原文传递
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