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多层式金刚石薄膜的制备工艺研究
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作者 阮建锋 夏义本 +5 位作者 王林军 刘健敏 蒋丽雯 崔江涛 苏青峰 史伟民 《功能材料与器件学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第2期91-94,共4页
利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜。场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.8... 利用热丝化学气相沉积(HFCVD)技术,通过逐次调整气压、碳源浓度等生长参数,沉积了晶粒尺寸逐层减小的多层式金刚石薄膜。场发射扫描电镜(FE-SEM)和原子力显微镜(AFM)测试显示其表层晶粒平均尺寸约为20nm,厚度和表面平均粗糙度分别为35.81μm和18.8nm(2μm×2μm),皆能满足高频声表面波器件用衬底的要求。实验结果表明,多层式生长方法是制备声表面波器件用金刚石衬底的理想方法。 展开更多
关键词 纳米金刚石 HFCVD 表面粗糙度 声表面波
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