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真空双排气系统在正柱型He-Cd激光器制造中的应用 被引量:1
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作者 吴平 王欲知 王祖源 《激光杂志》 CAS CSCD 北大核心 1999年第2期41-43,共3页
本文提出了一种制造正柱型He-Cd激光器的排气工艺新方法-真空双排气法。文章从理论和实验两方面证明了制造正柱型He-Cd激光器,真空双排气法比真空单排气法优越。真空双排气法可有效地除去阴极和Cd金属中所含杂质气体,改... 本文提出了一种制造正柱型He-Cd激光器的排气工艺新方法-真空双排气法。文章从理论和实验两方面证明了制造正柱型He-Cd激光器,真空双排气法比真空单排气法优越。真空双排气法可有效地除去阴极和Cd金属中所含杂质气体,改善激光器的寿命。 展开更多
关键词 真空双排气法 正柱型 He-Cd激光器 除气
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