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题名石英音叉陀螺芯片工艺误差的影响分析
被引量：1
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作者
路文一
崔芳
闫海
冯立辉
孙雨南
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机构
北京理工大学信息科学与技术学院光电工程系
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出处
《微细加工技术》
EI
2008年第5期41-44,共4页
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基金
国防预研项目资助
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文摘
加工高质量的石英音叉需要解决工艺误差导致的机械耦合误差及频率漂移等问题。使用测量显微镜对石英音叉驱动叉指的长度和宽度在主要工艺过程中的变化进行了测量,其中以石英音叉化学腐蚀引入的尺寸误差较大。采用有限元法建立了引入工艺误差的仿真模型,得到的仿真结果更接近实际测试数据。质量平衡调节可以有效地补偿工艺误差,消除机械耦合误差,提高石英音叉陀螺的性能。
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关键词
石英音叉
化学腐蚀
工艺误差
有限元法
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Keywords
tuning fork
chemical etching
machining error
finite element method
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分类号
TN212.12
[电子电信—物理电子学]
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题名基于AE数值模拟的压电元件传感特性研究
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作者
沈毅
骆英
赵国旗
顾建祖
朱步银
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机构
江苏大学理学院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2005年第9期47-48,共2页
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基金
国家自然科学基金项目(50375069)
江苏省自然科学重点资助项目(BK2001213)
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文摘
建立结构与压电材料传感元件的二维有限元模型,模拟结构中一种声发射(AE)的产生和传播。通过读取结构表面特定位置节点加速度与压电相节点电压时域信号,实现了结构中微观的AE波传播与宏观的输出电压信号的有机结合,并讨论这种无噪声影响理想条件下1-3型压电复合材料(1-3型PCM)、压电偶极子对、普通PZT材料用于模拟的AE检测时,对AE波径向共振与厚度共振的响应特性。
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关键词
声发射
压电传感器
有限元
数值模拟
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Keywords
Acoustic Emission
Piezoelectric Transducer
FEM
Numerical Simulation
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分类号
TN212.12
[电子电信—物理电子学]
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题名储液软包密封性检测传感器电路设计
被引量：1
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作者
程鑫鑫
黄志辉
涂开武
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机构
中南大学机电工程学院
高性能复杂制造国家重点实验室
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出处
《计算机测量与控制》
北大核心
2013年第1期177-179,共3页
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文摘
储液软包密封性是软包设备的一个重要参数;本研究以检测储液软包密封性为目的,探索设计一款基于AD620的高精度应变式传感器;对应变片桥路供电方式、传感器调零方式及传感器调理电路做了认真分析;经实验验证,在最小模拟泄漏情况下(1N变化),传感器超差大于千分之三的判定级别,能够检测到泄漏信号,无泄漏情况下(小于1N)则远小于千分之三的判定级别,能有效地避免误判;所以,该电路能够满足传感器的高精度、高稳定性、低噪声输出,为数据处理端提供一个可靠的采样数据。
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关键词
信号调理
泄漏检测
调零方式
桥路供电
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Keywords
signal condition
leakage detection
zero way
power supply of bridge circuit
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分类号
TN212.12
[电子电信—物理电子学]
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