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题名基于空间光耦合系统的芯片温度传感器
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作者
章喆
李明宇
肖泽华
潘伦
包晟
杨志平
李秋顺
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机构
长春理工大学光电工程学院
浙江光尖电子技术有限公司
浙江大学现代光学仪器国家重点实验室
齐鲁工业大学(山东省科学院)山东省科学院生物研究所
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出处
《光学仪器》
2023年第5期79-86,共8页
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基金
国家自然科学基金项目(62027825)
国家重点研发计划项目(2020YFC2004600)
+2 种基金
吉林省自然科学基金(20220101130JC)
山东省自然科学基金(ZR2019MC069)
高等学校学科创新引智计划(111计划D21009)。
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文摘
研究了一种硅光子芯片空间光耦合系统,简化了集成光子芯片用光纤阵列耦合的方式,通过将1550 nm附近波段的光通过空间光学系统,经光栅耦合器垂直耦合进入集成光子芯片,经过波导与微环谐振腔实现光学传感,采用多模光纤收集出射能量,并进行温度传感测试。实验结果表明,用波长探测方式,得到自由光谱范围(FSR)为0.85 nm,Q值为16321的环形谐振腔直通端透射谱线。在温度传感测试中,其灵敏度达到127 pm/℃。通过进一步对比测试表明,空间光耦合与光纤阵列光耦合只在插入损耗方面有所差距,耦合系统可得到较好的温度传感测试结果。空间光耦合具有更换传感器芯片便捷,容易实现多通道测试等优点。
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关键词
集成光子芯片
光耦合系统
光栅耦合器
光谱扫描
温度传感
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Keywords
integrated photonic chip
optical coupling system
grating coupler
spectrum scanning
temperature sensor
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分类号
TH477
[机械工程—机械制造及自动化]
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