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电泳砂轮加工机理及其试验研究
被引量:
1
1
作者
姚春燕
彭伟
鲁建厦
《浙江工业大学学报》
CAS
1998年第1期23-27,共5页
微细磨粒砂轮的试验研究是当前砂轮试制的主要发展趋势。本文叙述了超微细磨粒的电泳特性,并利用该特性试验研制一种新型的高密度低结合度超微细磨粒电泳砂轮,在MM7 120H精密磨床上,应用该砂轮对单晶硅片进行实际磨削加工,...
微细磨粒砂轮的试验研究是当前砂轮试制的主要发展趋势。本文叙述了超微细磨粒的电泳特性,并利用该特性试验研制一种新型的高密度低结合度超微细磨粒电泳砂轮,在MM7 120H精密磨床上,应用该砂轮对单晶硅片进行实际磨削加工,试验结果表明,通过控制磨削参数,可以降低工件表面粗糙度。
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关键词
微细磨粒
电泳砂轮
硅片
下载PDF
职称材料
含磨粒海绵体组成的清净材料
2
作者
李信达(译)
《磨料磨具通讯》
2006年第3期8-10,共3页
发明所属技术领域本发明是关于清净玻璃、电子部件等表面的海绵状清净材料,特别是关于在海绵状清净材料里固定了具有研磨能力的微细磨粒海绵体组成的清净材料。
关键词
微细磨粒
海绵状
体组成
清净
材料
电子部件
研磨能力
发明
原文传递
题名
电泳砂轮加工机理及其试验研究
被引量:
1
1
作者
姚春燕
彭伟
鲁建厦
机构
浙江工业大学机电工程学院
出处
《浙江工业大学学报》
CAS
1998年第1期23-27,共5页
基金
国家自然科学基金!59575070
浙江省自然科学基金!595081
文摘
微细磨粒砂轮的试验研究是当前砂轮试制的主要发展趋势。本文叙述了超微细磨粒的电泳特性,并利用该特性试验研制一种新型的高密度低结合度超微细磨粒电泳砂轮,在MM7 120H精密磨床上,应用该砂轮对单晶硅片进行实际磨削加工,试验结果表明,通过控制磨削参数,可以降低工件表面粗糙度。
关键词
微细磨粒
电泳砂轮
硅片
Keywords
Ultra-fine abusive grains
Electrophoresis
Grinding wheel
Silicon wafer
分类号
TG594.011 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
下载PDF
职称材料
题名
含磨粒海绵体组成的清净材料
2
作者
李信达(译)
出处
《磨料磨具通讯》
2006年第3期8-10,共3页
文摘
发明所属技术领域本发明是关于清净玻璃、电子部件等表面的海绵状清净材料,特别是关于在海绵状清净材料里固定了具有研磨能力的微细磨粒海绵体组成的清净材料。
关键词
微细磨粒
海绵状
体组成
清净
材料
电子部件
研磨能力
发明
分类号
TG594.011 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
TQ322.43 [化学工程—合成树脂塑料工业]
原文传递
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
电泳砂轮加工机理及其试验研究
姚春燕
彭伟
鲁建厦
《浙江工业大学学报》
CAS
1998
1
下载PDF
职称材料
2
含磨粒海绵体组成的清净材料
李信达(译)
《磨料磨具通讯》
2006
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