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题名等离子聚合薄膜技术及其应用
被引量:1
- 1
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作者
张蕾
万平
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机构
辽宁大学化学科学与工程学院
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出处
《表面技术》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第5期20-23,共4页
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文摘
介绍了当今深受关注的等离子聚合薄膜的制备技术。其中 ,重点探讨了在低能通量和高能通量条件下制备等离子聚合物的沉积过程、膜的结构形态及主要性能 ,并对近来人们在中等能量通量下制备的等离子聚合体的研究情况做了简要描述。与此同时 。
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关键词
等离子
等离子聚合体
溅射薄膜
低能量通量
高能量通量
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Keywords
Plasma
Plasma polymers
Sputtering
Thin films
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分类号
Q484.1
[生物学—生理学]
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题名TeO_x薄膜结构及短波长静态记录特性的研究
被引量:3
- 2
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作者
李青会
顾冬红
干福熹
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机构
中国科学院上海光学精密机械研究所
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出处
《光子学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2001年第4期468-472,共5页
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基金
国家自然科学基金重点项目!( 59832 0 60 )
上海市自然科学基金!( 98JC1 4 0 2 2 )资助项目
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文摘
以真空蒸镀法在 K9玻璃基底上制备了 Te Ox 单层薄膜 .使用 X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪 (XRD)、原子力显微镜 (AFM)对薄膜的结构进行了分析 .实验结果表明 ,薄膜是由晶态 Te分散在非晶态 Te O2 基体中形成的混合体系 ,Te O2 基体的存在增强了Te的抗氧化性能 ;薄膜具有精细粒状结构和粗糙的表面 ;退火后薄膜的反射率增加和 Te向表面的偏析、重聚集及表面粗糙度的降低有关 .采用波长为 51 4.4nm的短波长静态记录仪对薄膜静态记录性能的测试结果表明 :薄膜具有良好的记录灵敏性 ,在记录功率 1 .5m W、脉宽50 ns时就可产生较高的反射率衬比 (度 ) .研究结果为选择合适掺和物使 Te Ox
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关键词
TeOx薄膜
静态记录
高密度光存储
真空蒸镀法
XPS
XRD
AFM
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Keywords
TeO x thin films
X ray photo electron spectroscopy
Static recording
High density optical storage
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分类号
Q484.1
[生物学—生理学]
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题名YBCO高温超导带材熔融行为研究
- 3
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作者
徐一鲡
赵睿鹏
苟继涛
陶伯万
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机构
电子科技大学电子薄膜与集成器件国家重点实验室
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出处
《电子元件与材料》
CAS
CSCD
北大核心
2019年第6期50-55,共6页
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基金
国家自然科学基金(51872040)
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文摘
对于第二代高温超导带材,超导接头的实现与超导层的直接熔融互连有关。为了研究YBa2Cu3O7-x(YBCO)高温超导带材在热处理时的熔融行为,在真空下对一段梯形的YBCO带材通电使其形成不同的温区,通过不同的测试手段研究薄膜经过热处理后成分、结构以及超导性能的变化。结果表明YBCO超导层在经过一个合适的温度和4h的氧气退火处理后,能够恢复或部分恢复其超导性能。经分析认为此过程中超导薄膜能够恢复超导性能的原因是Y123相没有分解。但是,如果热处理温度过高会导致Y123相分解为Y211相和钡铜氧化物,这种相变会导致超导性能无法恢复。
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关键词
YBCO
高温超导带材
热处理
熔融
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Keywords
YBCO
high temperature superconducting tape
heat treatment
melting
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分类号
Q484.1
[生物学—生理学]
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