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静电场辅助的微压印光刻技术
被引量：
7
1
作者
刘民哲
王泰升
+3 位作者
李和福
刘震宇
陈佐龙
鱼卫星
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期663-671,共9页
介绍了一种静电场辅助的新型微压印光刻技术,并对其工艺过程进行了深入的理论研究。首先,采用数值仿真软件COMSOL^(TM) Multiphysics,建立了静电场辅助的压印光刻瞬态仿真分析模型,讨论了不同时域微结构的演化过程。然后,详细分析了微...
介绍了一种静电场辅助的新型微压印光刻技术,并对其工艺过程进行了深入的理论研究。首先,采用数值仿真软件COMSOL^(TM) Multiphysics,建立了静电场辅助的压印光刻瞬态仿真分析模型,讨论了不同时域微结构的演化过程。然后,详细分析了微结构的成型与仿真实验参数的定性关系,发现:适当地减小极板间距、模板凸起结构周期,同时增加模板的凸起高度、初始聚合物薄膜厚度和电压有助于微纳结构的成型。最后,通过仿真实验参数优化,得到了带有31μm中空结构的球冠微结构。与传统压印方法相比,静电场辅助的微压印技术工艺过程简单且成本较低,能够广泛应用于微电子机械系统、光子学、遗传学和组织系统等。
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关键词
静电场
压印
微纳结构
两相流
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职称材料
基于区块链技术的船载集装箱危险货物溯源管理研究
被引量：
1
2
作者
钱缘
左龙宇
《中国海事》
2020年第3期35-37,共3页
因谎报瞒报船载集装箱危险货物引发爆炸、泄漏的事故屡见不鲜,给海洋环境、生命财产造成重大损失。在海事管理部门开展集装箱货物开箱检查的高压态势下,发现查处的危险货物谎报瞒报违法行为仍呈逐年上升态势。对集装箱危险货物进行溯源...
因谎报瞒报船载集装箱危险货物引发爆炸、泄漏的事故屡见不鲜,给海洋环境、生命财产造成重大损失。在海事管理部门开展集装箱货物开箱检查的高压态势下,发现查处的危险货物谎报瞒报违法行为仍呈逐年上升态势。对集装箱危险货物进行溯源管理研究,为海事管理部门获取货物信息、把好危险货物“出口关”提供了新的解决思路。
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关键词
区块链
船载集装箱危险货物
谎报瞒报
海事监管
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职称材料
题名
静电场辅助的微压印光刻技术
被引量：
7
1
作者
刘民哲
王泰升
李和福
刘震宇
陈佐龙
鱼卫星
机构
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
中国科学院大学
中国人民解放军
中国科学院西安光学精密机械研究所
出处
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017年第3期663-671,共9页
基金
国家自然科学基金资助项目(No.61475156
No.61361166004
+3 种基金
No.51275504)
吉林省基金资助项目(No.20140519002JH
No.20140519007JH)
深圳市科创委基金资助项目(No.KQCX2015032416183981)
文摘
介绍了一种静电场辅助的新型微压印光刻技术,并对其工艺过程进行了深入的理论研究。首先,采用数值仿真软件COMSOL^(TM) Multiphysics,建立了静电场辅助的压印光刻瞬态仿真分析模型,讨论了不同时域微结构的演化过程。然后,详细分析了微结构的成型与仿真实验参数的定性关系,发现:适当地减小极板间距、模板凸起结构周期,同时增加模板的凸起高度、初始聚合物薄膜厚度和电压有助于微纳结构的成型。最后,通过仿真实验参数优化,得到了带有31μm中空结构的球冠微结构。与传统压印方法相比,静电场辅助的微压印技术工艺过程简单且成本较低,能够广泛应用于微电子机械系统、光子学、遗传学和组织系统等。
关键词
静电场
压印
微纳结构
两相流
Keywords
electrostatic field
imprint
micro-nanostructures
two-phase flow
分类号
O359.1 [理学—流体力学]
O442 [理学—力学]
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职称材料
题名
基于区块链技术的船载集装箱危险货物溯源管理研究
被引量：
1
2
作者
钱缘
左龙宇
机构
南山海事局
出处
《中国海事》
2020年第3期35-37,共3页
文摘
因谎报瞒报船载集装箱危险货物引发爆炸、泄漏的事故屡见不鲜,给海洋环境、生命财产造成重大损失。在海事管理部门开展集装箱货物开箱检查的高压态势下,发现查处的危险货物谎报瞒报违法行为仍呈逐年上升态势。对集装箱危险货物进行溯源管理研究,为海事管理部门获取货物信息、把好危险货物“出口关”提供了新的解决思路。
关键词
区块链
船载集装箱危险货物
谎报瞒报
海事监管
Keywords
Block chain
packed dangerous goods carried by ships
concealed and false declaration of dangerous cargo
maritime administration
分类号
U695.2+2 [交通运输工程—港口、海岸及近海工程]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
静电场辅助的微压印光刻技术
刘民哲
王泰升
李和福
刘震宇
陈佐龙
鱼卫星
《光学精密工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2017
7
下载PDF
职称材料
2
基于区块链技术的船载集装箱危险货物溯源管理研究
钱缘
左龙宇
《中国海事》
2020
1
下载PDF
职称材料
已选择
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参考文献
引证文献
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