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题名微铣刀在位制备方法研究
被引量：1
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作者
杨正杰
张勇斌
徐凌羿
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机构
中国工程物理研究院机械制造工艺研究所
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出处
《机械科学与技术》
CSCD
北大核心
2017年第9期1396-1401,共6页
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基金
国家自然科学基金项目(51475439)
中物院超精密加工技术重点实验室项目(ZZ14005)
四川省科技厅应用基础类(重点)项目(2016JY0109)资助
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文摘
提出基于WEDG技术的微铣刀在位制备方法,将微铣刀的制备与使用结合起来,在同一台微细电火花加工机床上完成微铣刀的在位制备与在位铣削过程,可实现微铣刀的低成本高精度制备,同时避免微铣刀的二次装夹所造成的倾斜和偏心误差,提高微铣削整体质量。为验证基于WEDG技术的微铣刀在位制备工艺方法的可行性,基于自研μEM-200CDS2型双主轴三工位微细组合电加工机床平台,进行了微铣刀在位制备与在位铣削的实验研究。结合WEDG工艺特点对微铣刀进行材料选用与构型设计,实现了直径小于100μm、刃口锋利的D型微铣刀的制备,并利用所制备微铣刀在位铣削出最小壁厚小于20μm的一组薄壁结构。实验结果表明:基于WEDG技术的微铣刀在位制备方法在原理和技术上是可行的。
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关键词
微铣刀
WEDG
在位制备
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Keywords
micro-milling tool
WEDG
on-site preparation
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分类号
TG661
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名楔形导模共振滤波片的光谱分析
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作者
周红艳
盛斌
倪争技
黄元申
张大伟
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机构
上海理工大学光电信息与计算机工程学院上海市现代光学系统重点实验室
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出处
《中国激光》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第10期247-252,共6页
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基金
国家重点基础研究发展计划(2015CB352001)
国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ14014704)
+1 种基金
国家自然科学基金(61378060,61205156)
上海市科学仪器重点项目(14142200902)
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文摘
针对通信波段设计并制作了楔形波导层的导模共振滤波片（GMRF），分析并研究了其光谱特性。采用三角掩模板的方法进行离子束刻蚀，刻蚀一定次数后获得楔形波导层。光栅线条方向分为平行于和垂直于楔形波导层变化的方向。实验结果表明，对于两种结构，共振峰的位置与滤波片上的位置呈近似线性关系。光栅刻槽平行于楔形层变化的方向时共振峰的半峰全宽较光栅刻槽垂直于楔形层变化的方向时大。最终在20 mm的样品上，获得了线性渐变的Ta2O5楔形薄膜，其反射谱在1560～1600 nm范围内近似于线性变化。
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关键词
光谱学
导模共振滤光片
楔形波导层
光谱特性
离子束刻蚀
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Keywords
spectroscopy
guided-mode resonance filter
wedged waveguide layer
ion beam etching
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分类号
O436
[机械工程—光学工程]
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