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亚纳米驱动分辨力的六自由度微动台 被引量:1
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作者 黄强先 程保林 +2 位作者 张弛斌 张帆 张连生 《光学精密工程》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第13期1933-1940,共8页
微位移工作台是实现高精度定位的关键部件,传统的工作台自由度少且分辨力不高,不能满足应用需求,因此提出一种六自由度高精度微位移工作台结构方案并验证了其性能。在整体结构上采用“串并联混合驱动”的方式和中空结构,将六个自由度的... 微位移工作台是实现高精度定位的关键部件,传统的工作台自由度少且分辨力不高,不能满足应用需求,因此提出一种六自由度高精度微位移工作台结构方案并验证了其性能。在整体结构上采用“串并联混合驱动”的方式和中空结构,将六个自由度的运动合理地分布在平动层,转动层和支撑层三层结构中,并设计开发了工作台的运动控制系统以及一套可搭配使用的运动控制软件。实验结果表明,X,Y,Z轴线位移分别优于20,20和37 μm,角位移行程分别优于39",33"和27";线位移分辨力均优于0.7 nm,角位移分辨力均优于0.1"。所提出的六自由度微位移工作台相比于传统工作台具有自由度多、极高分辨力等优点,有望在超精密加工,微电子制造等领域中获得广泛的应用。 展开更多
关键词 微动工作台 亚纳米分辨力 六自由度 运动控制系统
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基于器件内部参数差异的大功率IGBT并联均流控制方法 被引量:1
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作者 冯洪高 张赤斌 林宝德 《电气传动》 2022年第6期28-32,共5页
由于制造工艺和器件老化等原因,不同IGBT模块之间的阈值电压会存在一定差异,并对动态不均流产生很大影响。针对此问题,首先分析了阈值电压差异对并联均流的影响机理;然后建立了阈值电压差异与开通延迟时间之间的量化关系;最后以大功率I... 由于制造工艺和器件老化等原因,不同IGBT模块之间的阈值电压会存在一定差异,并对动态不均流产生很大影响。针对此问题,首先分析了阈值电压差异对并联均流的影响机理;然后建立了阈值电压差异与开通延迟时间之间的量化关系;最后以大功率IGBT模块并联为测试对象,通过对驱动延迟时间进行补偿的方法进行双脉冲测试,验证该方法的有效性。结果表明,该方法最大可以将不均流度从14.04%降低到2.21%。 展开更多
关键词 内部参数差异 延迟时间补偿 大功率IGBT模块 动态均流
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基于PLC和模糊神经网络的压铸控制系统优化研究 被引量:5
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作者 冯洪高 张赤斌 《热加工工艺》 CSCD 北大核心 2018年第17期108-111,共4页
压铸工艺参数受铸件材料、结构和压铸机等因素影响。为了优化压铸工艺参数,利用模糊神经网络递推压铸参数,设计了上、下位机系统。上位机建立已知压铸经验与被控工艺参数间的非线性映射。通过PROFINET通信将建立的压铸经验与被控参数间... 压铸工艺参数受铸件材料、结构和压铸机等因素影响。为了优化压铸工艺参数,利用模糊神经网络递推压铸参数,设计了上、下位机系统。上位机建立已知压铸经验与被控工艺参数间的非线性映射。通过PROFINET通信将建立的压铸经验与被控参数间的映射关系写入下位机模糊控制规则。下位机设计以S7-300 PLC主站和ET 200S从站的压铸机过程控制系统,开发的梯形图程序实现了递推压铸参数的模糊控制。测试表明,模糊神经网络递推效率高,基本满足压铸参数在线优化控制需求。 展开更多
关键词 压力铸造 可编程逻辑控制器(PLC) 模糊神经网络 控制系统 优化
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