GaSb基PECVD法制备SiO_2薄膜的应力研究 被引量：5

1

作者 王志伟 郝永芹 +5 位作者 李洋 谢检来 王霞 晏长岭 魏志鹏 马晓辉 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第7期935-941,共7页

为了实现在GaSb衬底上获得低应力的SiO_2薄膜,研究了等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在晶格失配较大的GaSb衬底上沉积SiO_2薄膜的应力情况。通过改变薄膜沉积时的工艺条件,如反应温度、射频功率、反应压强、气体流量比,并基于曲率法... 为了实现在GaSb衬底上获得低应力的SiO_2薄膜,研究了等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在晶格失配较大的GaSb衬底上沉积SiO_2薄膜的应力情况。通过改变薄膜沉积时的工艺条件,如反应温度、射频功率、反应压强、气体流量比,并基于曲率法模型,对镀膜前后的曲率半径进行了实验测量,利用Stoney公式计算相关应力值并绘制应力变化曲线。详细讨论了PECVD工艺条件的改变对SiO_2薄膜应力所产生的影响。同时通过在Si衬底上沉积SiO_2薄膜,对比分析了导致薄膜应力产生的因素及变化过程。实验结果表明,在沉积温度为300℃、射频功率为20 W、腔体压强为90 Pa、气体流量比SiH_4/N_2O为125/70 cm^3·min^(-1)的工艺参数下,PECVD法在GaSb衬底上沉积的SiO_2薄膜应力相对较小。 展开更多

关键词 GASB PECVD SIO2薄膜 应力

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光学器件对全光纤电流互感器温度稳定性影响研究 被引量：2

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作者 朱长银 阎嫦玲 +4 位作者 罗苏南 丁晔 刘东超 赵森林 须雷 《光学与光电技术》 2023年第5期52-60,共9页

为研究光学器件对全光纤电流互感器温度稳定性的影响,分析了起偏器、直波导相位调制器、延时光纤线的偏振串扰对全光纤电流互感器的精度的影响。对每种光学器件,在其环境温度变化范围为-40~+70℃时,测试了起偏器输出光消光比变化,以及... 为研究光学器件对全光纤电流互感器温度稳定性的影响,分析了起偏器、直波导相位调制器、延时光纤线的偏振串扰对全光纤电流互感器的精度的影响。对每种光学器件,在其环境温度变化范围为-40~+70℃时,测试了起偏器输出光消光比变化,以及直波导相位调制器、延时光纤线的偏振串音变化情况;也测试了对应的全光纤电流互感器的精度变化情况。测试结果表明,直波导相位调制器、延时光纤线因环境温度变化引起的偏振串扰会引起全光纤电流互感器的精度变化,其中直波导相位调制器是决定全光纤电流互感器的温度稳定性的关键器件。 展开更多

关键词 全光纤电流互感器 温度稳定性 偏振串扰 相位调制器 起偏器 延时光纤线

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GaSb基垂直腔面发射激光器P面反射镜优化设计 被引量：3

3

作者 郝永芹 岳光礼 +3 位作者 邹永刚 王作斌 晏长岭 马晓辉 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期228-233,共6页

针对当前2. 0μm GaSb基垂直腔面发射激光器发展中由于传统的P面分布布拉格反射镜(P-DBRs)带来的高电阻和严重光吸收这一瓶颈问题,采用严格耦合波方法仿真设计了含高对比度亚波长光栅(HCG)的P面反射镜.实验结果表明,这种制备工艺简单的... 针对当前2. 0μm GaSb基垂直腔面发射激光器发展中由于传统的P面分布布拉格反射镜(P-DBRs)带来的高电阻和严重光吸收这一瓶颈问题,采用严格耦合波方法仿真设计了含高对比度亚波长光栅(HCG)的P面反射镜.实验结果表明,这种制备工艺简单的反射镜在2. 0μm中心波长附近,TM波入射时反射率超过99. 5%的高反射带宽为278 nm,反射率99. 9%以上的高反射带宽达到148 nm,完全能够满足VCSEL对谐振腔镜的要求,且能有效避免因异质外延等造成反射镜衍射特性劣化等问题. 展开更多

关键词 垂直腔面发射激光器 锑化镓 分布布拉格反射镜 高对比度亚波长光栅

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一种具有低折射率的高对比度光栅反射镜的设计 被引量：2

4

作者 谢检来 郝永芹 +4 位作者 张家斌 晏长岭 马晓辉 王志伟 王霞 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2018年第6期855-861,共7页

设计并研究了一种工作于2μm波段的Ga Sb基亚波长高对比度光栅反射镜,其具有低折射率光栅层结构。通过严格耦合波理论优化结构,以最大限度地满足VCSEL腔面反射镜对反射率带宽的要求。反射镜对2μm波段的TM模式具有优良的反射效率,带宽... 设计并研究了一种工作于2μm波段的Ga Sb基亚波长高对比度光栅反射镜,其具有低折射率光栅层结构。通过严格耦合波理论优化结构,以最大限度地满足VCSEL腔面反射镜对反射率带宽的要求。反射镜对2μm波段的TM模式具有优良的反射效率,带宽与设计波长之比达15%(反射率R>99%),在反射率R>99.9%的部分Δλ/λ_0>9.5%,带宽中心波长为2.003μm,与此同时TE模的反射率不超过70.20%。该反射镜结构中几个参数的制作容差较大,且厚度低于1.1μm,有利于在垂直腔面发射半导体激光器上的单片集成。 展开更多

关键词 亚波长光栅 反射镜 垂直腔面发射激光器 GASB

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一种新型环形上DBR刻蚀微结构VCSEL及其空心光束

5

作者 逄超 晏长岭 +2 位作者 杨静航 钱冉 李奕霏 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2023年第4期462-467,共6页

设计了带有质子注入高阻区的刻蚀微结构面发射半导体激光器结构,使得从出光口到上DBR形成环形波导,进而直接产生空心激光束输出。使用FDTD软件计算了刻蚀微结构VCSEL的光场分布,得到的环形模式图样在不同模式数目下都能保持空心光束的... 设计了带有质子注入高阻区的刻蚀微结构面发射半导体激光器结构,使得从出光口到上DBR形成环形波导,进而直接产生空心激光束输出。使用FDTD软件计算了刻蚀微结构VCSEL的光场分布,得到的环形模式图样在不同模式数目下都能保持空心光束的特性。制备了室温下激射波长为848 nm的微结构VCSEL,并测试其输出特性。阈值电流为0.27 A,峰值功率最高可达170 mW。不同电流下的近场图都显示出非常明显的空心环形光斑,远场光强分布曲线也符合空心光束的特性。该新型VCSEL技术为空心光束甚至阵列器件的发展提供了一种新的方法。 展开更多

关键词 垂直腔面发射半导体激光器 空心激光束 刻蚀结构 质子注入

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高功率单高阶模倒置表面浮雕结构垂直腔面发射激光器（英文） 被引量：1

6

作者 王霞 郝永芹 +5 位作者 晏长岭 王作斌 王志伟 谢检来 马晓辉 姜会林 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2018年第2期168-172,共5页

提出并研究了一种带有环形出光孔的倒置表面浮雕结构垂直腔面发射激光器.该器件最突出的结构特点在于,支持稳定的单高阶横向模式激射.在输入电流为六倍阈值电流时,输出功率高达9.8 m W,边模抑制比将近30 d B.在外界为360 K高温时,输出... 提出并研究了一种带有环形出光孔的倒置表面浮雕结构垂直腔面发射激光器.该器件最突出的结构特点在于,支持稳定的单高阶横向模式激射.在输入电流为六倍阈值电流时,输出功率高达9.8 m W,边模抑制比将近30 d B.在外界为360 K高温时,输出功率仍可达4 m W.且其远场表现出的高斯光束发散角较小. 展开更多

关键词 半导体激光器 垂直腔面发射激光器 单高阶模 高温 倒置表面浮雕

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用于VCSEL的Si基零对比度光栅反射镜研究 被引量：1

7

作者 郭帅 晏长岭 +1 位作者 方铉 郝永芹 《红外》 CAS 2022年第12期30-36,共7页

利用严格耦合波理论和时域有限差分方法设计了一种应用于940 nm垂直腔面发射激光器的Si基零折射率对比度光栅反射镜。对零对比度亚波长光栅(Zero-index-Contrast subwavelength Grating,ZCG)的高反射特性进行了研究,分析了ZCG实现宽带... 利用严格耦合波理论和时域有限差分方法设计了一种应用于940 nm垂直腔面发射激光器的Si基零折射率对比度光栅反射镜。对零对比度亚波长光栅(Zero-index-Contrast subwavelength Grating,ZCG)的高反射特性进行了研究,分析了ZCG实现宽带高反射的条件。此外,讨论了光栅结构参数对反射性能的影响并计算了制作公差,模拟分析了ZCG尺寸与垂直腔面发射激光器(Vertical-Cavity Surface-Emitting Laser,VCSEL)氧化孔径尺寸对镜面损耗的影响。所设计的ZCG带宽可达280 nm,Δλ/λ_(0)=29.8%。该反射镜可以替代VCSEL中传统的分布式布拉格反射镜,降低了工艺难度和生长成本,同时有利于VCSEL与其他Si基光电子器件的集成。 展开更多

关键词 垂直腔面发射激光器 零折射率对比度光栅 严格耦合波理论 时域有限差分

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InN量子点的液滴外延及物性表征

8

作者 陈启明 晏长岭 曲轶 《发光学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第2期171-176,共6页

由于1. 55μm波段广泛应用于通信领域,为了探索不同生长温度对InN量子点的形貌影响,并且实现自组装InN量子点在1. 55μm通信波段的发光,对InN量子点的液滴外延及物性进行了相关研究。首先利用射频等离子体辅助分子束外延(PA-MBE)技术在... 由于1. 55μm波段广泛应用于通信领域,为了探索不同生长温度对InN量子点的形貌影响,并且实现自组装InN量子点在1. 55μm通信波段的发光,对InN量子点的液滴外延及物性进行了相关研究。首先利用射频等离子体辅助分子束外延(PA-MBE)技术在GaN模板上,采用液滴外延方法在3种温度下生长了InN量子点结构。生长过程中靠反射高能电子衍射(RHEED)对样品进行原位监控。原子力显微镜(AFM)表征结果表明随着生长温度升高,量子点尺寸变大,密度减小。在生长温度350℃和400℃下,观测到了量子点;当温度高于450℃时,未观测到InN量子点。当生长温度为400℃时,量子点形貌最好,密度为6×10~8/cm^2,对400℃下生长的InN量子点进行了变温PL测试,成功得到InN量子点在1. 55μm波段附近的光致发光,并且随着测试温度的升高,量子点的发光峰位发生了先红移后蓝移最后又红移的S型曲线变化,这种量子点有望在未来应用于量子通信领域。 展开更多

关键词 氮化铟 量子点 分子束外延 液滴外延

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线缆混合输电线路故障区段判别用光学电流互感器

9

作者 刘子寰 罗苏南 +3 位作者 王耀 阎嫦玲 丁晔 李亚会 《电工电气》 2020年第6期47-49,53,共4页

针对海南联网工程500kV线缆混合输电线路存在的故障区段难以判别的问题,介绍了一种利用柔性光学电流互感器实现对线缆混合输电线路故障区段进行准确判别的新方法。阐述了柔性光学电流互感器的原理、构成及线缆混合输电线路故障区段识别... 针对海南联网工程500kV线缆混合输电线路存在的故障区段难以判别的问题,介绍了一种利用柔性光学电流互感器实现对线缆混合输电线路故障区段进行准确判别的新方法。阐述了柔性光学电流互感器的原理、构成及线缆混合输电线路故障区段识别方案。实际应用表明,将柔性光学电流互感器用于线缆混合输电线路能够准确判断故障区段,有效提高故障位置检测速度,加快故障后系统恢复供电能力,降低维护检修人员负担。 展开更多

关键词 光学电流互感器 Faraday磁光效应 线缆混合输电线路 故障区段判别

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矿山边坡地质灾害工程治理技术方法分析 被引量：6

10

作者 严昌领 《世界有色金属》 2023年第3期202-204,共3页

近些年,随着我国社会经济的快速发展,能源物资的消耗逐年增加。在此背景下,矿山开采工作也进入了全新的阶段,与之相关的各类技术工艺变得愈发先进,而安全生产更是整个行业的核心话题。然而,矿山边坡地质灾害十分常见,尤其是在各类露天... 近些年,随着我国社会经济的快速发展,能源物资的消耗逐年增加。在此背景下,矿山开采工作也进入了全新的阶段,与之相关的各类技术工艺变得愈发先进,而安全生产更是整个行业的核心话题。然而,矿山边坡地质灾害十分常见,尤其是在各类露天矿产开采环节中。一旦现场安全保障措施未能全面落实,矿山边坡就很容易出现失稳问题,进而会产生滑坡、落石或崩塌等安全事故。因此,边坡地质灾害在当前的矿山开采工作中十分常见,相关企业应及时采取管控手段,结合矿山边坡的地质特征,采取合适且有效的处置方案,最大限度地避免边坡地质灾害的发生。在本文中,笔者将会对矿山边坡地质灾害工程治理技术方法进行初步分析与探讨,希望能对相关从业人员起到一定的借鉴价值。 展开更多

关键词 边坡地质灾害 工程治理技术 技术方法

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940 nm VCSEL高折射率对比度亚波长光栅反射镜的设计 被引量：3

11

作者 罗妍 郝永芹 晏长岭 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2021年第6期834-839,共6页

研究了一种940 nm GaAs基VCSEL的高折射率对比度亚波长光栅反射镜(HCG),采用GaAs/AlOx光栅结构,讨论了TE偏振时光栅结构中各参数对反射光谱的作用规律,分析TE、TM不同偏振时反射镜的结构特点,及形貌误差对高反射带的影响。设计的TE-HCG... 研究了一种940 nm GaAs基VCSEL的高折射率对比度亚波长光栅反射镜(HCG),采用GaAs/AlOx光栅结构,讨论了TE偏振时光栅结构中各参数对反射光谱的作用规律,分析TE、TM不同偏振时反射镜的结构特点,及形貌误差对高反射带的影响。设计的TE-HCG的高反射带中心为940 nm,在0.888~0.985μm波长范围内,TE波反射率大于99.5%,TM波反射率低于90%,高反射带宽97 nm,Δλ/λ_(0)>10%。该反射镜可以与VCSEL采用一次性外延生长技术制作,且具有结构简单,制作容差大,且偏振稳定的优势,不仅有利于改善器件性能,且大大降低VCSEL的制作难度和成本。 展开更多

关键词 高折射率对比度 亚波长光栅 垂直腔面发射激光器 严格耦合波理论

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