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正性光敏型聚酰亚胺的研究和应用进展
1
作者
王思恩
张嘉豪
+5 位作者
傅智楠
罗雄科
陶克文
王杰
王义明
郭旭虹
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第10期173-181,共9页
随着光刻工艺的发展,光敏型聚酰亚胺(PSPI)已成为当下电子化学品领域的研究热点,并且广泛应用于芯片制造领域。文中综述了具备正性光刻功能的正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)近年来的研究与应用进展,介绍了目前各种p-PSPI的结构特点、合成路...
随着光刻工艺的发展,光敏型聚酰亚胺(PSPI)已成为当下电子化学品领域的研究热点,并且广泛应用于芯片制造领域。文中综述了具备正性光刻功能的正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)近年来的研究与应用进展,介绍了目前各种p-PSPI的结构特点、合成路线、性能指标以及提高其性能的工艺方法。系统分析了功能基团修饰、光敏剂、添加剂等对p-PSPI光刻胶的灵敏度、对比度、分辨率、力学性能、热稳定性等的影响。以低温固化型p-PSPI为实例,介绍了可以在低温下发生亚胺化反应的p-PSPI制备工艺。最后,总结了目前国内p-PSPI产品与世界先进水平间存在的差距。
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关键词
光敏型聚酰亚胺
正性光刻
光敏剂
低温固化
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职称材料
基于SVPWM和模糊PI参数自整定的Z源逆变器并网研究
被引量：
5
2
作者
杨旭红
杨峰峰
+2 位作者
郭凯
薛冰
王阗姝
《电机与控制应用》
北大核心
2017年第7期59-65,共7页
相比于传统的电压/电流型逆变器,Z源逆变器能实现升降压变换的功能,同时桥臂不需要死区时间,变换器可靠性更高。在传统SVPWM调制方法里,通过在零矢量中插入直通状态(同一桥臂同时导通),使其应用在逆变器中。Z源逆变器在实现更好交流输...
相比于传统的电压/电流型逆变器,Z源逆变器能实现升降压变换的功能,同时桥臂不需要死区时间,变换器可靠性更高。在传统SVPWM调制方法里,通过在零矢量中插入直通状态(同一桥臂同时导通),使其应用在逆变器中。Z源逆变器在实现更好交流输出的同时,实现了对直流侧电压任意倍数的升压。对于Z源逆变器传统的控制策略是采用电压外环和电流内环构成的双环PI控制,但双环PI控制无法达到较高的控制精度并且并网电流谐波畸变率较高。针对PI控制的局限性,提出了模糊PI控制器。该控制器利用模糊控制技术,根据误差大小对PI参数进行实时在线调整,从而满足最优的性能要求。通过仿真研究,试验结果证实了所提方法的有效性和正确性。
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关键词
Z源逆变器
空间矢量脉宽调制
模糊PI控制器
直通占空比
解耦
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职称材料
题名
正性光敏型聚酰亚胺的研究和应用进展
1
作者
王思恩
张嘉豪
傅智楠
罗雄科
陶克文
王杰
王义明
郭旭虹
机构
华东理工大学化工学院
上海泽丰半导体科技有限公司
绿色能源化工国际联合研究中心
出处
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023年第10期173-181,共9页
基金
中央高校基本科研业务费专项资金(JKA01221712)。
文摘
随着光刻工艺的发展,光敏型聚酰亚胺(PSPI)已成为当下电子化学品领域的研究热点,并且广泛应用于芯片制造领域。文中综述了具备正性光刻功能的正性光敏聚酰亚胺(p-PSPI)近年来的研究与应用进展,介绍了目前各种p-PSPI的结构特点、合成路线、性能指标以及提高其性能的工艺方法。系统分析了功能基团修饰、光敏剂、添加剂等对p-PSPI光刻胶的灵敏度、对比度、分辨率、力学性能、热稳定性等的影响。以低温固化型p-PSPI为实例,介绍了可以在低温下发生亚胺化反应的p-PSPI制备工艺。最后,总结了目前国内p-PSPI产品与世界先进水平间存在的差距。
关键词
光敏型聚酰亚胺
正性光刻
光敏剂
低温固化
Keywords
photosensitive polyimide
positive lithography
photoactive compound
low-temperature curing
分类号
TQ323.7 [化学工程—合成树脂塑料工业]
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职称材料
题名
基于SVPWM和模糊PI参数自整定的Z源逆变器并网研究
被引量：
5
2
作者
杨旭红
杨峰峰
郭凯
薛冰
王阗姝
机构
上海电力学院自动化工程学院
出处
《电机与控制应用》
北大核心
2017年第7期59-65,共7页
基金
国家自然科学基金(61203224)
上海自然科学基金项目(13ZR1417800)
+2 种基金
上海市电站自动化技术重点实验室开放课题(13DZ2273800)
上海市科技创新行动技术高新技术领域重点项目(14511101200)
上海市重点科技攻关计划(上海市科委地方院校能力建设项目)(14110500700)
文摘
相比于传统的电压/电流型逆变器,Z源逆变器能实现升降压变换的功能,同时桥臂不需要死区时间,变换器可靠性更高。在传统SVPWM调制方法里,通过在零矢量中插入直通状态(同一桥臂同时导通),使其应用在逆变器中。Z源逆变器在实现更好交流输出的同时,实现了对直流侧电压任意倍数的升压。对于Z源逆变器传统的控制策略是采用电压外环和电流内环构成的双环PI控制,但双环PI控制无法达到较高的控制精度并且并网电流谐波畸变率较高。针对PI控制的局限性,提出了模糊PI控制器。该控制器利用模糊控制技术,根据误差大小对PI参数进行实时在线调整,从而满足最优的性能要求。通过仿真研究,试验结果证实了所提方法的有效性和正确性。
关键词
Z源逆变器
空间矢量脉宽调制
模糊PI控制器
直通占空比
解耦
Keywords
Z-source inverter
space vector pulse width modulation （SVPWM）
fuzzy PI control
shoot-through duty ratio
decouple
分类号
TM464 [电气工程—电器]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
正性光敏型聚酰亚胺的研究和应用进展
王思恩
张嘉豪
傅智楠
罗雄科
陶克文
王杰
王义明
郭旭虹
《高分子材料科学与工程》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2023
0
下载PDF
职称材料
2
基于SVPWM和模糊PI参数自整定的Z源逆变器并网研究
杨旭红
杨峰峰
郭凯
薛冰
王阗姝
《电机与控制应用》
北大核心
2017
5
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职称材料
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