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X射线干涉仪实现扫描探针显微镜样板线间距纳米测量 被引量：1
1
作者 王林 李达成 +4 位作者 曹芒 曹世志 L.Koenders u.kuetgens P.Becker 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2000年第12期1675-1679,共5页
X射线干涉仪以非常稳定的单晶硅晶格作为长度单位 ,可以实现亚纳米精度的微位移测量。提出了将 X射线干涉仪和扫描隧道显微镜结合起来 ,利用单晶硅的晶格尺度测量扫描探针显微镜样板节距的技术方案 。
关键词 纳米测量 扫描隧道显微镜 X射线干涉仪
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