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深紫外光栅反常偏振器件的设计与分析 被引量：10
1
作者 张冲 胡敬佩 +4 位作者 周如意 刘铁诚 sergey avakaw 曾爱军 黄惠杰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第3期41-47,共7页
为实现金属光栅偏振器件在光刻机偏振照明系统中的应用,基于共振域光栅的反常偏振效应,提出一种以二氧化硅为基底、铝与氟化镁作为栅线材料的介质-金属光栅偏振器。与传统的亚波长金属光栅偏振器相比,该偏振器的光栅周期接近入射波长(0.... 为实现金属光栅偏振器件在光刻机偏振照明系统中的应用,基于共振域光栅的反常偏振效应,提出一种以二氧化硅为基底、铝与氟化镁作为栅线材料的介质-金属光栅偏振器。与传统的亚波长金属光栅偏振器相比,该偏振器的光栅周期接近入射波长(0.19~0.20μm),表现出透射TE偏振光、反射TM偏振光的反常特性。由时域有限差分算法(FDTD)的数值模拟结果可得,当波长为0.193μm的光垂直入射时,该光栅偏振器对TE偏振光的透过率大于60%,偏振消光比大于180。与具有相同结构参数和栅线材料的单层金属光栅偏振器相比,该介质-金属光栅偏振器在深紫外波段具有良好的偏振性能,TE偏振光透过率提升了约10%,偏振消光比提升了4.5倍左右(在0.193μm波长下)。 展开更多
关键词 激光光学 深紫外波段 共振域光栅 反常偏振效应 光栅偏振器件 偏振性能
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微反射镜阵列角位置检测中的光斑串扰抑制算法 被引量：1
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作者 王婷 胡敬佩 +3 位作者 黄立华 曾爱军 黄惠杰 sergey avakaw 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第23期154-160,共7页
针对微反射镜阵列(MMA)微反射镜集中度高、尺寸小,在实际检测过程中相邻镜面反射光容易出现串扰的问题,提出了一种用于微反射镜阵列角位置检测的光斑串扰抑制算法。对照射到阵列中待测微反射镜及邻域微反射镜上的光强进行标定,通过求解... 针对微反射镜阵列(MMA)微反射镜集中度高、尺寸小,在实际检测过程中相邻镜面反射光容易出现串扰的问题,提出了一种用于微反射镜阵列角位置检测的光斑串扰抑制算法。对照射到阵列中待测微反射镜及邻域微反射镜上的光强进行标定,通过求解光强矩阵方程获得每个微反射镜的角位置信息。仿真结果显示,在检测光斑尺寸大于单个微反射镜尺寸的串扰情况下,该方法的检测精度可保持10μrad以上,满足光刻机使用指标需求。所提出的检测方法可有效解决MMA检测过程中的串扰问题,对光刻机自由光瞳照明模块的角位置检测具有重要意义。 展开更多
关键词 测量 自由光瞳照明 微反射镜阵列(MMA) 角位置检测 光斑串扰抑制算法
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激光光强波动无关的248 nm退偏器检测方法 被引量：1
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作者 张灵浩 夏克贵 +4 位作者 马兴华 朱玲琳 曾爱军 黄惠杰 sergey avakaw 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2022年第4期20-28,共9页
退偏器在深紫外光刻机照明系统中具有重要作用。尽管相关的设计、制造、性能评估已有一些报道,但是,相应的检测手段大多工作在可见光波段,目前仍缺乏直接对深紫外特定波长应用的退偏器进行性能检测的方法。本文提出了一种与激光光强波... 退偏器在深紫外光刻机照明系统中具有重要作用。尽管相关的设计、制造、性能评估已有一些报道,但是,相应的检测手段大多工作在可见光波段,目前仍缺乏直接对深紫外特定波长应用的退偏器进行性能检测的方法。本文提出了一种与激光光强波动无关的248 nm退偏器检测方法,使用248.372 nm波长的KrF准分子激光器作为光源,利用预起偏和偏振分光设计克服了激光光强波动造成的不利影响。误差分析表明,该方法适用于退偏器性能检测,绝对系统误差小于0.1226%,随机误差约0.2000%。验证实验和稳定性实验表明,测量偏振度均值与理论值高度一致,重复性水平与分析预期相当,再现性水平仅略差于重复性水平。这一方法为248 nm光刻机照明系统中使用的退偏器提供了一种稳定有效的离线性能检测手段。 展开更多
关键词 测量 偏振检测 退偏器 深紫外 光刻 误差分析
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