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纳米岛光刻技术及其应用
被引量：
1
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作者
伊福廷
mino
green
《微细加工技术》
2004年第4期22-26,共5页
介绍了一种基于微加工技术的新方法———纳米岛光刻技术。利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构。该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构...
介绍了一种基于微加工技术的新方法———纳米岛光刻技术。利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构。该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构(最高覆盖率可达50%以上),且开发成本低,工艺性能优越,是一种有效制造纳米岛结构的专业方法。
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关键词
光刻
纳米岛
纳米技术
微加工
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职称材料
题名
纳米岛光刻技术及其应用
被引量：
1
1
作者
伊福廷
mino
green
机构
中科院高能物理研究所
Department of Electrical and Electronic Engineering
出处
《微细加工技术》
2004年第4期22-26,共5页
基金
英国皇家协会王宽城基金资助项目(ART/CN/XFI/KCW/13452)
国家自然科学基金资助项目(50375150)
文摘
介绍了一种基于微加工技术的新方法———纳米岛光刻技术。利用该技术制造出几十纳米到微米尺度的岛结构,然后利用剥离、刻蚀等微加工技术,将该岛转化成纳米孔、纳米岛、纳米井等结构。该技术的特点是能够制造出具有各种密度的纳米结构(最高覆盖率可达50%以上),且开发成本低,工艺性能优越,是一种有效制造纳米岛结构的专业方法。
关键词
光刻
纳米岛
纳米技术
微加工
Keywords
lithography
nano island
nano technology
micro fabrication
分类号
TN3 [电子电信—物理电子学]
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1
纳米岛光刻技术及其应用
伊福廷
mino
green
《微细加工技术》
2004
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