-
题名单晶Si Nd∶YAG激光连续退火的数值计算
- 1
-
-
作者
傅仁武
陈朝
markevichmi
-
机构
厦门大学物理系
白俄罗斯科学院电子学研究所
-
出处
《发光学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2000年第4期320-323,共4页
-
基金
国家自然科学基金重大项目!(6 98870 0 2 )
-
文摘
应用固相外延模型来模拟单晶Si的连续Nd∶YAG激光退火过程 ,在低功率密度连续激光退火下 ,用准静态模型模拟辐照区向非辐照区的径向传导散热。在数值计算中 ,应用部分线性法处理非线性非齐次热传导方程 ,得到相应的隐格式差分方程 ,再用追赶法求解隐格式差分方程 ,得出绝热边界条件下的温度的时间和空间分布 ,从而得出激光退火的再结晶厚度。当激光波长λ =1 0 6 μm、功率密度i0 =70 0W /cm2 ,预热温度T0=5 2 3K时 ,经过 0 7秒 ,表面温度度升到 12 90K左右 ,再结晶厚度约为 0 5
-
关键词
单晶硅
激光退火
固相外延
准静态模型
YAG激光器
热传导方程
隐格式差分方程
再结晶厚度
离子注入技术
-
Keywords
monocrystalline silicon
laser annealing
solid phase epitaxy
quasi static model
hidden form differential equation
-
分类号
O472.3
[理学—半导体物理]
-
