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三江源区多尺度水文干旱特征及植被的响应 被引量:25
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作者 肖祖香 朱双 +4 位作者 罗显刚 娄连惠 李江 罗顺根 操丽 《河海大学学报(自然科学版)》 CAS CSCD 北大核心 2021年第6期515-520,582,共7页
采用标准化降水指数SPI和遥感植被指数(NDVI、EVI)量化1961—2018年三江源区的生长季植被和水文干旱的演化特性,基于Mann-Kendall趋势检验法分析了三江源区1961—2018年干旱与植被的时空演变趋势,并基于斯皮尔曼等级相关系数进行了不同... 采用标准化降水指数SPI和遥感植被指数(NDVI、EVI)量化1961—2018年三江源区的生长季植被和水文干旱的演化特性,基于Mann-Kendall趋势检验法分析了三江源区1961—2018年干旱与植被的时空演变趋势,并基于斯皮尔曼等级相关系数进行了不同干旱变量与植被指数的相关性分析。结果表明:三江源区季度干旱事件发生于1963年、1966年、1984年、1992年、2000年和2017年;春季有显著湿润化现象(平均趋势特征值Z=2.28),秋季澜沧江源和长江源中部有不显著干旱威胁;5月黄河源以北地区有显著植被增加趋势,9月长江源中部与澜沧江源有不显著植被退化趋势,2000—2018年植被变化趋势是北部强于南部、西部强于东部;21世纪以来,干旱事件与植被有一定的响应关系,SPI3与植被指数显著正相关。 展开更多
关键词 水文干旱 SPI 植被指数 Mann-Kendall趋势检验 三江源区
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北江流域土地利用/覆盖变化对水文过程影响研究 被引量:10
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作者 李建庆 罗显刚 +5 位作者 朱双 张炜 徐战亚 霍志彬 田壮 霍光杰 《人民长江》 北大核心 2020年第8期89-94,129,共7页
随着社会经济的快速发展,土地利用也发生了剧烈转变。通过采集北江流域2000年和2015年的土地利用/覆盖数据(L1和L2),基于2000年的土地利用情况,假设农业用地被建设用地取代(S1)和农业用地被森林取代(S2)两种极端土地利用情景;并构建分... 随着社会经济的快速发展,土地利用也发生了剧烈转变。通过采集北江流域2000年和2015年的土地利用/覆盖数据(L1和L2),基于2000年的土地利用情况,假设农业用地被建设用地取代(S1)和农业用地被森林取代(S2)两种极端土地利用情景;并构建分布式水文模型,研究了不同土地利用/覆盖对水文过程的影响。结果表明:农业用地和森林转换为建设用地,导致了径流、产水量和地表径流的增加,以及侧流量、地下水含量和蒸发量的减少;S1是L2情景的极端假设,因此各水文成分相对于L2情景变化更为明显,而S2情景相对于S1情景下的水文过程变化效果相反。不同土地利用情景下的水文响应表明,城市化以及退耕还林导致的土地利用变化都会对水文过程造成巨大影响。 展开更多
关键词 水文响应 土地利用/覆盖变化 SWAT模型 北江流域
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气候变化和都市化双重驱动下流域未来水文响应 被引量:5
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作者 朱双 李建庆 +3 位作者 罗显刚 雷晓辉 王超 胡国丰 《人民长江》 北大核心 2021年第11期86-91,127,共7页
近年来,受气候变化和人类活动的共同影响,流域的气候和水文状况发生了显著改变,分析变化环境下未来水资源演化格局成为当前国内外学者关注的重点研究内容之一。以柘溪水库流域为研究区域,利用人文因素和自然因素作为土地利用变化的驱动... 近年来,受气候变化和人类活动的共同影响,流域的气候和水文状况发生了显著改变,分析变化环境下未来水资源演化格局成为当前国内外学者关注的重点研究内容之一。以柘溪水库流域为研究区域,利用人文因素和自然因素作为土地利用变化的驱动因子构建土地利用模型,采用MIROC5气候模式多个情景作为未来气候典型代表,利用分布式水文模型分析了气候变化和都市化双重驱动下的流域未来水文响应。结果表明:都市化发展明显增加了流域地表径流,减少了地下径流;而气候变化对水文响应驱动力比都市化对水文响应的驱动作用更强。 展开更多
关键词 水文响应 分布式水文模型 气候变化 未来情景模拟 土地利用 柘溪水库流域
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构建综合性现代化研究所的实践探索
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作者 罗先刚 《科技导报》 CAS CSCD 北大核心 2023年第8期1-2,共2页
党的二十大报告提出,要以中国式现代化全面推进中华民族伟大复兴,并明确指出“健全新型举国体制,强化国家战略科技力量”,着重强调了创新在中国式现代化中的核心地位。人类社会的现代化是利用现代科学技术,全面改造人类生存的物质条件... 党的二十大报告提出,要以中国式现代化全面推进中华民族伟大复兴,并明确指出“健全新型举国体制,强化国家战略科技力量”,着重强调了创新在中国式现代化中的核心地位。人类社会的现代化是利用现代科学技术,全面改造人类生存的物质条件和精神条件的过程。纵观现代化发展史,前3次科学革命和产业革命的演进表明,与时俱进的科研院所的组织模式和运行机制的改革调整是科学技术现代化的关键要素,直接影响着一个时期人类的现代化进程和发展水平。 展开更多
关键词 科学技术现代化 中国式现代化 实践探索 社会的现代化 产业革命 改革调整 运行机制 科研院所
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右美托咪定对全身麻醉老年患者术后的临床效果及对早期认知功能的影响 被引量:4
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作者 罗显刚 肖倩兰 《中外医学研究》 2021年第8期120-122,共3页
目的:探索右美托咪定在全身麻醉的老年患者术中的效果及对患者术后早期认知功能的影响。方法:选取本院2019年2月-2020年6月收诊的130例手术治疗老年患者为研究对象,按照随机数字表法分为对照组和观察组,各65例。对照组给予气管插管全身... 目的:探索右美托咪定在全身麻醉的老年患者术中的效果及对患者术后早期认知功能的影响。方法:选取本院2019年2月-2020年6月收诊的130例手术治疗老年患者为研究对象,按照随机数字表法分为对照组和观察组,各65例。对照组给予气管插管全身麻醉,观察组在对照组基础上应用右美托咪定,对比两组术后认知功能障碍发生率、MMSE评分及麻醉诱导前15 min(t0)、输注右美托咪定或生理盐水负荷剂量完成时(t1)、气管插管即刻(t2)、切皮时(t3)、手术结束时(t4)、拔管即刻(t5)的血流动力学指标。结果:观察组t1时的HR低于对照组(P<0.05);对照组t2、t5时的HR均高于观察组(P<0.05);两组t2、t3时MAP较t0时明显提高,观察组低于对照组(P<0.05);对照组t5时MAP高于观察组(P<0.05)。观察组术后1、7 d的MMSE评分均高于对照组(P<0.05);术后1、7 d的认知功能障碍发生率低于对照组(P<0.05)。两组术后自主呼吸恢复时间比较差异无统计学意义(P>0.05),观察组苏醒时间早于对照组(P<0.05)。结论:右美托咪定在老年手术患者全麻中应用能有效维持术中血流动力学稳定,促进术后尽早苏醒,预防认知功能障碍发生,值得推广。 展开更多
关键词 老年患者 气管插管全麻 右美托咪定 认知功能 MMSE评分 血流动力学
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罗哌卡因与布比卡因在剖宫产腰硬联合麻醉中的疗效及安全性比较 被引量:3
6
作者 罗显刚 肖倩兰 《临床合理用药杂志》 2021年第26期34-36,共3页
目的 比较罗哌卡因与布比卡因在剖宫产术麻醉中的效果及安全性。方法 回顾性分析2019年3月-2020年6月于黄冈市妇幼保健院行剖宫产术分娩的产妇200例临床资料,根据术中麻醉用药不同分为罗哌卡因组和布比卡因组,各100例。比较2组产妇麻醉... 目的 比较罗哌卡因与布比卡因在剖宫产术麻醉中的效果及安全性。方法 回顾性分析2019年3月-2020年6月于黄冈市妇幼保健院行剖宫产术分娩的产妇200例临床资料,根据术中麻醉用药不同分为罗哌卡因组和布比卡因组,各100例。比较2组产妇麻醉效果,感觉神经与运动神经麻醉起效和恢复时间,麻醉前5 min、麻醉后5 min、麻醉后10 min时血流动力学[心率(HR)、平均动脉压(MAP)]指标及不良反应(恶心呕吐、低血压、头痛及心动过缓)发生情况。结果 2组产妇麻醉优良率比较差异无统计学意义(P>0.05);罗哌卡因阻断感觉神经和运动神经的阻滞起效时间均长于布比卡因组(P<0.01);2组感觉神经恢复时间比较差异无统计学意义(P>0.05),罗哌卡因组运动神经恢复时间短于布比卡因组(P<0.01);2组产妇MAP和HR均表现为先降后升,2组各时点MAP比较差异均无统计学意义(P>0.05),罗哌卡因组麻醉后5 min、麻醉后10 min时HR均高于布比卡因组(P<0.01);罗哌卡因组麻醉不良反应总发生率为4. 0%,低于布比卡因组的12.0%(χ^(2)=4. 348,P=0. 037)。结论 罗哌卡因与布比卡因应用于剖宫产术腰硬联合麻醉中均能获得满意的麻醉效果,但罗哌卡因对产妇术中血流动力学的干扰更小,安全性更高,术后运动神经功能恢复更快,值得临床推广应用。 展开更多
关键词 剖宫产 罗哌卡因 布比卡因 腰硬联合麻醉 血流动力学 不良反应
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基于ZYNQ的用于间隙测量的白光干涉信号处理系统 被引量:2
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作者 董晓璇 刘明刚 +1 位作者 罗先刚 高平 《光电子技术》 CAS 北大核心 2020年第4期277-283,共7页
为实现在表面等离子体光刻机中对掩模与基片间的间隙测量,提出一种基于白光干涉测量技术的掩模-基片间隙测量方法,并设计了以ZYNQ芯片为核心的信号处理系统。以ZYNQ芯片的片上ARM用作参数设定、驱动控制以及前端显示,以可编程逻辑资源... 为实现在表面等离子体光刻机中对掩模与基片间的间隙测量,提出一种基于白光干涉测量技术的掩模-基片间隙测量方法,并设计了以ZYNQ芯片为核心的信号处理系统。以ZYNQ芯片的片上ARM用作参数设定、驱动控制以及前端显示,以可编程逻辑资源用于实现光谱数据的小波处理和互相关解调。系统以分布并行结构运行,大大提高了测量速度,并实现了对掩模-基片间隙的实时测量。最后为了确定测量精度,搭建了激光干涉仪精度测试平台。测试实验表明,间隙测量的重复测量精度为4.4 nm,位移测量精度为6.7 nm,满足间隙测量性能稳定和精度高等要求。 展开更多
关键词 间隙测量 白光干涉 ZYNQ芯片 互相关算法
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矿山法施工铁路隧道衬砌拱部预制拼装拱部注浆施工工艺研究 被引量:1
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作者 房玉中 齐如见 +4 位作者 杨海航 刘盛 罗先刚 陈真 何亚涛 《隧道建设(中英文)》 CSCD 北大核心 2022年第S02期421-427,共7页
为解决矿山法施工铁路隧道衬砌拱部预制拼装中拱部管片和接头处背后空洞的问题,以重庆铁路枢纽东环线胡家沟隧道为依托,详细介绍隧道拱部拼装式拱部注浆施工工艺;同时对拱部径向注浆和纵缝注浆进行工艺试验,确定适用于隧道拱部拼装式拱... 为解决矿山法施工铁路隧道衬砌拱部预制拼装中拱部管片和接头处背后空洞的问题,以重庆铁路枢纽东环线胡家沟隧道为依托,详细介绍隧道拱部拼装式拱部注浆施工工艺;同时对拱部径向注浆和纵缝注浆进行工艺试验,确定适用于隧道拱部拼装式拱部注浆工艺的注浆参数。雷达检测样本分析研究揭示:按照注浆工艺试验确定的注浆压力、配合比以及单孔注浆量,能够将拱部和接头处的空洞充填密实,满足铁路隧道衬砌无损检测的要求。 展开更多
关键词 铁路隧道 拱部预制拼装 注浆工艺 效果检测
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基于共聚焦亚像素扫描的高分辨三维成像 被引量:4
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作者 黄远建 李晓银 +6 位作者 叶文怡 郭迎辉 杨龙飞 贺江 柯源 蒲明博 罗先刚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第8期255-264,共10页
激光雷达技术因具有高精度、高分辨率和工作距离远等优点被广泛应用于三维成像。然而,受光学系统衍射极限的限制,激光雷达的空间分辨率随着目标距离的增大而显著降低。为解决上述问题,结合共聚焦照明技术和亚像素扫描技术,提出一种聚焦... 激光雷达技术因具有高精度、高分辨率和工作距离远等优点被广泛应用于三维成像。然而,受光学系统衍射极限的限制,激光雷达的空间分辨率随着目标距离的增大而显著降低。为解决上述问题,结合共聚焦照明技术和亚像素扫描技术,提出一种聚焦照明亚像素扫描光子计数激光雷达,并在实验室内进行了10 m成像实验。结果表明,相较于准直照明光束,采用共聚焦照明光束可将系统空间分辨率由5.0 mm提高到0.9 mm,不仅实现了超光学系统衍射极限成像,还有效降低了多重回波的影响,增强了回波强度。 展开更多
关键词 光学设计 激光雷达 亚像素扫描 共聚焦照明 高分辨率
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平面光学元件超平整吸附装载的优化设计与分析
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作者 赵承伟 张文豪 +3 位作者 龚天诚 张逸云 王长涛 罗先刚 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第5期241-248,共8页
在平面光学元件加工和应用中,采用真空吸附方式进行装载,具有快速、稳定的优势,而真空吸附对平面光学元件的面形影响不可忽视。基于有限元分析方法,针对功能窗口限制、倒立装载等特殊需求,对真空吸盘气道进行优化设计,并通过实验对真空... 在平面光学元件加工和应用中,采用真空吸附方式进行装载,具有快速、稳定的优势,而真空吸附对平面光学元件的面形影响不可忽视。基于有限元分析方法,针对功能窗口限制、倒立装载等特殊需求,对真空吸盘气道进行优化设计,并通过实验对真空吸盘的实际效果进行分析。实验结果表明,在吸盘不锁紧状态下吸附,平面光学元件在中心Ф10 mm、Ф20 mm和Ф40 mm范围内,面形PV分别为1.2 nm、5.1 nm和20.8 nm。在此基础上,论文进一步分析了装载平台平整度、吸盘装载方式和吸盘锁紧力对吸附结果的影响,结果表明:平面光学元件吸面型随着装载平台平整度的提升而提升;装载平台平整度2μm条件下,采用四螺钉、2.5 N·m扭矩进行边沿固定,吸附效果达到最好,在中心Ф10 mm、Ф20 mm和Ф40 mm范围内,面形PV平均值分别为7.8 nm、27.7 nm和114.2 nm,装载重复性标准差为0.93 nm、3.2 nm和10.6 nm。 展开更多
关键词 真空吸附 气道优化 有限元分析 面形测量 扭矩控制
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基于飞秒激光加工的高阈值高阶贝塞尔光束产生器件 被引量:2
11
作者 张作蛟 方瑶 +4 位作者 王青松 李雄 蒲明博 马晓亮 罗先刚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第13期268-276,共9页
高阶贝塞尔光束能够携带轨道角动量,且具有无衍射特性,在粒子操控、激光微纳加工及非线性光学等领域具有重要应用价值。目前产生高阶贝塞尔光束的方式无法同时满足集成化和高功率场景的应用需求。基于飞秒激光诱导的双折射纳米光栅结构... 高阶贝塞尔光束能够携带轨道角动量,且具有无衍射特性,在粒子操控、激光微纳加工及非线性光学等领域具有重要应用价值。目前产生高阶贝塞尔光束的方式无法同时满足集成化和高功率场景的应用需求。基于飞秒激光诱导的双折射纳米光栅结构,提出一种高损伤阈值的集成化光场调控器件制备方法。通过调控纳米光栅的光轴方向和相位延迟量,在石英玻璃内部写入光轴取向空间变化的多层纳米光栅结构,制备的器件可以实现不同光场调控功能的叠加和不同工作波长的设计。基于所提方法制备了中心波长为532 nm、拓扑荷值为4的高阶贝塞尔光束产生器件。器件产生的高阶贝塞尔光束携带的轨道角动量与设计值相符,在4 m距离内光斑大小保持基本不变。器件的零几率激光损伤阈值为28.5 J/cm^(2)(6 ns),在高功率激光光束整形等领域具有极大的应用潜力。 展开更多
关键词 激光光场调控 高阶贝塞尔光束 集成化光学元件 飞秒激光 纳米光栅 激光损伤阈值
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超构表面偏振调控最新研究进展(特邀)
12
作者 许丽佳 郑宇晗 +4 位作者 郭迎辉 蒲明博 李雄 马晓亮 罗先刚 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第10期202-213,共12页
作为光波和电磁波的基本参量之一,偏振态的高效调控是电磁波操纵的核心内容,在成像、通信、显示、光学加密、光力操纵等领域至关重要。超构表面可以在亚波长尺度上操控偏振态,因此成为偏振调控和矢量光束生成的强大工具。本综述首先简... 作为光波和电磁波的基本参量之一,偏振态的高效调控是电磁波操纵的核心内容,在成像、通信、显示、光学加密、光力操纵等领域至关重要。超构表面可以在亚波长尺度上操控偏振态,因此成为偏振调控和矢量光束生成的强大工具。本综述首先简单介绍了偏振调控超构表面的基本原理和典型结构,然后重点总结了它在传播方向偏振转换、矢量涡旋光束生成、矢量全息和加密、矢量偏振测量和动态调控等方面的最新应用进展,最后对该领域未来可能的发展方向进行了展望。 展开更多
关键词 物理光学 超构表面 涡旋光 偏振 全息 偏振测量 动态调控
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基于非对称光子自旋—轨道相互作用的超构表面 被引量:6
13
作者 张飞 郭迎辉 +3 位作者 蒲明博 李雄 马晓亮 罗先刚 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第10期30-39,共10页
光子自旋—轨道相互作用是经典光学所忽略的重要现象,近年来研究发现该现象可通过人工亚波长结构显著增强并进行按需调控。传统超构表面仅支持对称光子自旋—轨道相互作用,存在共轭对称性限制,难以将不同自旋态用于多功能集成、复杂光... 光子自旋—轨道相互作用是经典光学所忽略的重要现象,近年来研究发现该现象可通过人工亚波长结构显著增强并进行按需调控。传统超构表面仅支持对称光子自旋—轨道相互作用,存在共轭对称性限制,难以将不同自旋态用于多功能集成、复杂光场调控、信息加密及存储等领域。非对称光子自旋—轨道相互作用能够使左右旋圆偏振光解耦,为突破上述理论和应用限制带来新契机。本文首先介绍了非对称光子自旋—轨道相互作用的原理及实现方法,其次介绍非对称光子自旋—轨道相互作用的代表性应用以及特点,最后对非对称光子自旋—轨道相互作用研究面临的挑战和未来的研究方向进行展望。 展开更多
关键词 超构表面 光子自旋—轨道相互作用 轨道角动量 光学悬链线
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基于传输相位和几何相位协同调控的消色差超透镜 被引量:6
14
作者 申益佳 谢鑫 +6 位作者 蒲明博 张飞 马晓亮 郭迎辉 李雄 王长涛 罗先刚 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第10期108-116,共9页
超透镜是超表面在成像领域中具有较大应用潜力的平面光学器件,但限于色差和较窄的工作带宽,通常难以应用于彩色成像及显示技术。本文设计了一种相位调控型透射式超透镜,实现了400 nm^650 nm波段的宽带消色差聚焦功能,带宽范围内焦平面... 超透镜是超表面在成像领域中具有较大应用潜力的平面光学器件,但限于色差和较窄的工作带宽,通常难以应用于彩色成像及显示技术。本文设计了一种相位调控型透射式超透镜,实现了400 nm^650 nm波段的宽带消色差聚焦功能,带宽范围内焦平面处的平均聚焦效率约为29%。该方法利用具有低损耗、高折射率优势的二氧化钛(TiO2)介质柱结构,在可见光波段内获得了类似截断波导产生的传输相位响应。同时分析了几何相位和传输相位相结合的色散调控机制,并使用粒子群算法对构建的相位响应仿真数据库进行优化,完成了实际波面与理想聚焦波面的相位匹配。设计的宽带消色差器件有望在显微成像、计算机视觉和机器视觉等领域发挥作用。 展开更多
关键词 超透镜 可见光 消色差 宽带
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基于矢量光场的光学加工技术(特邀)
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作者 许丽佳 王青松 +4 位作者 付小芳 张其 何琼 赵泽宇 罗先刚 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2024年第12期191-205,共15页
作为光的基本属性,偏振、振幅和相位提供的自由度对于光场调控具有重要作用。具有空间结构偏振态、振幅和相位分布的矢量光场因具有不同于传统光场的独特性质而被应用于诸多领域。近年来,时空分布特性更加丰富的新型矢量光场逐渐得到关... 作为光的基本属性,偏振、振幅和相位提供的自由度对于光场调控具有重要作用。具有空间结构偏振态、振幅和相位分布的矢量光场因具有不同于传统光场的独特性质而被应用于诸多领域。近年来,时空分布特性更加丰富的新型矢量光场逐渐得到关注,它们的出现丰富了矢量光场的种类并提供了新的调控自由度,为光学加工带来了新的契机。综述了近年来发展迅速的基于矢量光场的光学加工技术,包括基于矢量光场的激光微纳制造和基于矢量光场曝光的几何相位液晶平面器件加工等技术,并对其发展趋势和前景进行了展望。 展开更多
关键词 矢量光场 光学加工 激光微纳制造 光场曝光 液晶平面器件 悬链线光学
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基于相关性选择的微型计算光谱探测技术 被引量:4
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作者 杨港 郭迎辉 +2 位作者 蒲明博 李雄 罗先刚 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2022年第10期51-61,共11页
得益于体积小、结构紧凑、易集成等优势,基于超构表面的微型光谱探测技术近年来被广泛研究。然而,现有基于超构表面的微型光谱探测系统设计过程中,通常缺乏对超构表面透射光谱相关性均值与重建质量的定量分析。现有设计过程中采用随机... 得益于体积小、结构紧凑、易集成等优势,基于超构表面的微型光谱探测技术近年来被广泛研究。然而,现有基于超构表面的微型光谱探测系统设计过程中,通常缺乏对超构表面透射光谱相关性均值与重建质量的定量分析。现有设计过程中采用随机选择方法,无法保证重建质量最优。本文定量分析了超构表面透射光谱的相关性均值与重建质量的关系,提出了一种用于微型光谱探测的超构表面设计方法。此外,本文还验证了基于超构表面的微型光谱探测技术的光谱特性,相较于随机选择设计方法,本文所提出方法可提高宽带光谱和图像光谱的重建质量。 展开更多
关键词 量化分析 超构表面 方法 微型光谱探测
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用于可见光波段切趾成像的宽带消色差超表面滤波器 被引量:4
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作者 李柱 王长涛 +6 位作者 孔维杰 王彦钦 郭迎辉 李雄 马晓亮 蒲明博 罗先刚 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2021年第5期74-82,共9页
切趾在成像和光通信领域得到了重要的应用。传统的切趾方法基于相位或者振幅调制,存在工作带宽窄或者分辨力低的问题。本文提出了一种宽带消色差的超表面滤波器,可以在不损失空间分辨力的情况下实现切趾成像。通过该滤波器在整个可见光... 切趾在成像和光通信领域得到了重要的应用。传统的切趾方法基于相位或者振幅调制,存在工作带宽窄或者分辨力低的问题。本文提出了一种宽带消色差的超表面滤波器,可以在不损失空间分辨力的情况下实现切趾成像。通过该滤波器在整个可见光波段完成了几乎无色散的相位调制。仿真结果表明,超表面滤波器的聚焦效率是相位滤波器的两倍;其成像对比度可以提升至高斯滤波器的三倍。通过我们的方法,在400 nm到700 nm的可见光波段内,点扩散函数的旁瓣能被压缩到10^(-5)数量级,同时能够实现衍射极限甚至超衍射的分辨力。 展开更多
关键词 切趾 宽带 无色散 超表面
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晶圆金属表面纳米颗粒暗场检测系统设计
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作者 邓泉 赵泽宇 +4 位作者 林鹤 刘玲 李夏楚秦 杨根森 罗先刚 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2023年第22期90-100,共11页
缺陷检测是基于金属膜层激发表面等离子体进行超衍射加工前的重要工艺流程,但目前先进空白晶圆缺陷检测设备光源多位于深紫外波段,恰好在KrF等深紫外光刻胶的感光范围内,检测带有该光刻胶的晶圆表面时易导致光刻胶感光而改性失效。针对... 缺陷检测是基于金属膜层激发表面等离子体进行超衍射加工前的重要工艺流程,但目前先进空白晶圆缺陷检测设备光源多位于深紫外波段,恰好在KrF等深紫外光刻胶的感光范围内,检测带有该光刻胶的晶圆表面时易导致光刻胶感光而改性失效。针对此问题,笔者提出并设计了一种基于可见光波段的激光偏振暗场检测装置。该装置利用晶圆表面顶层银膜的偏振转换特性,通过调控入射光的偏振态与入射角,使微粗糙银膜表面的弱散射光偏振态与膜层表面颗粒的散射光偏振态产生差异,然后利用偏振器件对来自银膜表面的散射光进行部分滤除,有效提高了颗粒信号的信噪比。实验结果表明:所设计的装置在不影响光刻胶的同时还可以减少金属膜层表面散射所带来的缺陷误检。在对百纳米级颗粒进行检测时,由于使用了激光照明及高灵敏度的sCMOS作为探测器件,本装置单次曝光时间仅为150μs,是奥林巴斯公司基于白光的DSX1000暗场显微镜的4‰左右。通过抑制噪声,笔者采用该装置实测了均方根(RMS)粗糙度为3.4 nm的银膜表面上直径为61 nm的聚苯乙烯乳胶颗粒,结果显示,该装置在探测极限和探测效率上较DSX1000均有较大提升。 展开更多
关键词 测量 光学检测 散射测量 表面粗糙度 偏振调控 纳米颗粒 信噪比
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一种新型贝塞尔光束器件的设计方法 被引量:3
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作者 代成伟 闫超 +5 位作者 曾庆玉 李雄 郭迎辉 蒲明博 王长涛 罗先刚 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第6期10-16,共7页
悬链线型亚波长结构可以实现连续的相位调控。但是,普通悬链线孔径两端较窄,不易于加工。另外,以往直接在仿真软件CST中建立复杂模型较为困难,仿真过程较为繁琐。本文提出了用等宽悬链线狭缝替代普通悬链线狭缝,并设计了用于产生贝塞尔... 悬链线型亚波长结构可以实现连续的相位调控。但是,普通悬链线孔径两端较窄,不易于加工。另外,以往直接在仿真软件CST中建立复杂模型较为困难,仿真过程较为繁琐。本文提出了用等宽悬链线狭缝替代普通悬链线狭缝,并设计了用于产生贝塞尔光束的等宽悬链线超表面,为二维光电器件的设计提供了新思路。在建模仿真过程中使用Matlab调用CST进行联合仿真,直接在Matlab中完成所有建模、仿真、修改参数等操作。该方法可以用于设计复杂结构,同时结合Matlab数值优化能力得到更理想的仿真效果。 展开更多
关键词 超表面 悬链线 贝塞尔光束 CST MATLAB
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弱手性超表面中的超常极化旋转 被引量:3
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作者 崔建华 马晓亮 +2 位作者 蒲明博 郭迎辉 罗先刚 《光电工程》 CAS CSCD 北大核心 2020年第7期10-17,共8页
本文介绍了一种能够产生超强旋光性的弱手性极薄(λ/10)亚波长结构的超表面。该超表面的单元结构由介质层以及设置在介质层上下表面的两层椭圆金属贴片组成,两层椭圆金属贴片之间存在一个扭转角的关系。当扭转角为80°时,超表面在... 本文介绍了一种能够产生超强旋光性的弱手性极薄(λ/10)亚波长结构的超表面。该超表面的单元结构由介质层以及设置在介质层上下表面的两层椭圆金属贴片组成,两层椭圆金属贴片之间存在一个扭转角的关系。当扭转角为80°时,超表面在谐振频点11.89 GHz处能将入射线偏振电磁波转换为交叉极化透射波,其透过率超过94%。这种超表面重量轻、体积小,为极化旋转提供了一种可靠的方法。若将其拓展到光波波段,该超表面在弱手性分子的生物学检测中有潜在的应用。 展开更多
关键词 超表面 手性 超常 旋光性
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