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基于连续激光的纳米结构研制
被引量：
2
1
作者
王凯歌
张琛
+6 位作者
王爽
赵伟
冯晓强
孙聃
李红福
范连斌
白晋涛
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期165-173,共9页
基于激光受激辐射损耗原理的远场光学超分辨成像技术,当圆形入射高斯激光经过涡旋相位板调制后,将转变为中心光强为零的圆环形光束,该形状的激光束与光敏聚合物作用,能够制备出具有一定功能的纳米结构。介绍了自主搭建的基于圆环连续激...
基于激光受激辐射损耗原理的远场光学超分辨成像技术,当圆形入射高斯激光经过涡旋相位板调制后,将转变为中心光强为零的圆环形光束,该形状的激光束与光敏聚合物作用,能够制备出具有一定功能的纳米结构。介绍了自主搭建的基于圆环连续激光光源的激光直写系统,以及利用该系统研制的复合纳米结构。当光源为532nm连续激光输出时,与正性光刻胶作用,得到直径<50nm的纳米柱复合结构,以及整齐均匀的纳米柱阵列结构;与负性光刻胶作用,得到直径<100nm的纳米通道,以及整齐均匀的中央有纳米通道的微米柱复合结构阵列。当光源为405nm连续光纤激光时,与正性光刻胶作用,也得到了直径小至153nm的纳米柱复合结构及其阵列。这些纳米结构的基本单元尺寸都突破了光学"阿贝衍射极限"的限制,具有实用潜力。
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关键词
光学衍射极限
连续激光直写技术
相位调制
纳米柱阵列
功能纳米复合结构
下载PDF
职称材料
题名
基于连续激光的纳米结构研制
被引量：
2
1
作者
王凯歌
张琛
王爽
赵伟
冯晓强
孙聃
李红福
范连斌
白晋涛
机构
西北大学光子学与光学技术研究所国家级光电技术与纳米功能材料国际科技合作研究中心光电技术与功能材料省部共建国家重点实验室培育基地
出处
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017年第2期165-173,共9页
基金
科技部国际科技合作项目(2011DFA12220)
国家自然科学重大研究计划项目(91123030)
+2 种基金
国家自然科学青年科学基金项目(11504294)
陕西省教育厅基金项目(2010JS110
14JS107)
文摘
基于激光受激辐射损耗原理的远场光学超分辨成像技术,当圆形入射高斯激光经过涡旋相位板调制后,将转变为中心光强为零的圆环形光束,该形状的激光束与光敏聚合物作用,能够制备出具有一定功能的纳米结构。介绍了自主搭建的基于圆环连续激光光源的激光直写系统,以及利用该系统研制的复合纳米结构。当光源为532nm连续激光输出时,与正性光刻胶作用,得到直径<50nm的纳米柱复合结构,以及整齐均匀的纳米柱阵列结构;与负性光刻胶作用,得到直径<100nm的纳米通道,以及整齐均匀的中央有纳米通道的微米柱复合结构阵列。当光源为405nm连续光纤激光时,与正性光刻胶作用,也得到了直径小至153nm的纳米柱复合结构及其阵列。这些纳米结构的基本单元尺寸都突破了光学"阿贝衍射极限"的限制,具有实用潜力。
关键词
光学衍射极限
连续激光直写技术
相位调制
纳米柱阵列
功能纳米复合结构
Keywords
Optical diffraction limit, CW laser direct writing lithography, phase modulation, nanopillar array, functional composite nanostructure
分类号
TN249 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
基于连续激光的纳米结构研制
王凯歌
张琛
王爽
赵伟
冯晓强
孙聃
李红福
范连斌
白晋涛
《应用光学》
CAS
CSCD
北大核心
2017
2
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