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题名磁控溅射法制备大晶粒铜锌锡硫薄膜的研究
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作者
刘思佳
郝瑞亭
赵其琛
杨敏
陆熠磊
王书荣
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机构
云南师范大学太阳能研究所
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出处
《云南师范大学学报（自然科学版）》
2017年第2期21-24,共4页
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基金
国家自然科学基金资助项目(61176127
61006085
+1 种基金
11474248)
国家国际科技合作计划重点资助项目(2011DFA62380)
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文摘
采用磁控溅射Cu、Sn、Zn金属单质靶制备铜锌锡(CZT)金属预制层,在220℃下合金,然后在高温610℃硫化配合低速升温工艺对CZT前驱体进行退火,制备出晶粒尺寸为1~2μm的Cu_2ZnSnS_4(CZTS)薄膜.利用X射线衍射仪(XRD)、扫描电镜(SEM)、能谱仪(EDS)对薄膜样品进行结构、表面形貌和组分表征.最后沉积缓冲层、ZnO窗口层,蒸镀Al电极,制备出CZTS薄膜太阳电池,测量得到电池开路电压(V_(oc))为574 mV,短路电流密度(J_(sc))为8.98 mA/cm^2,填充因子(FF)为37.8%,电池转换效率为1.95%.
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关键词
CZTS薄膜
太阳电池
磁控溅射
硫化
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Keywords
CZTS thin films
Solar cell
Magnetron sputtering
Sulfurize
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分类号
TM914.42
[电气工程—电力电子与电力传动]
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