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干式排气的进展
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作者 黎晓琴 A.p.troup 《真空与低温》 1992年第4期212-214,共3页
介绍了1984年至1990年期间干式排气技术所取得的进展情况。干式排气泵研制方面日本处于世界领先地位。在解决了粉尘、腐蚀性蒸气以及泵内残存物的抽除等问题之后,干气排气技术被认为是在半导休工业中最有用的排气技术之一。介绍了在半... 介绍了1984年至1990年期间干式排气技术所取得的进展情况。干式排气泵研制方面日本处于世界领先地位。在解决了粉尘、腐蚀性蒸气以及泵内残存物的抽除等问题之后,干气排气技术被认为是在半导休工业中最有用的排气技术之一。介绍了在半导体工业中的应用情况,也介绍了在特种排气工艺中的应用。 展开更多
关键词 干式 泵 半导体 真空泵 排气
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