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题名基于微系统IPD工艺的功分网络制造技术
被引量：1
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作者
崔凯
李浩
谢迪
张兆华
齐昆仑
孙毅鹏
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机构
南京电子技术研究所
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出处
《电子机械工程》
2021年第4期40-43,共4页
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文摘
集成无源器件(Integrated Passive Device,IPD)具有高集成度、高精度、高可靠性的优势,在射频微波领域极具应用前景,但薄膜多层电路及高精度电阻制作是限制其广泛应用的关键问题。文中基于IPD技术设计制作了毫米波Wilkinson带状线功率分配/合成器,通过薄膜多层技术实现了2层苯并环丁烯(BCB)介质、3层布线的多层结构,最小线宽和线距皆为20μm。通过反应磁控溅射方法在BCB介质表面制备了50Ω/□和100Ω/□的TaN高精度薄膜电阻。片上集成的功分网络的工作频率为30-40 GHz,频带内各个端口的回波损耗为-15dB,插入损耗为(4.6±0.2)dB。该研究突破了硅基薄膜多层高密度布线技术,制作了功分器并对其进行了测试,为射频微系统无源网络一体化集成提供了有效的解决方案。
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关键词
射频微系统
集成无源器件
功分器
多层薄膜
氮化钽薄膜电阻
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Keywords
radio frequency microsystem
integrated passive device(IPD)
power divider
multilayer film
tantalum nitride film resistance
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分类号
TN402
[电子电信—微电子学与固体电子学]
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