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题名抑制相干噪声的照明系统仿真与误差分析
被引量：1
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作者
齐先豪
韩森
张凌华
吴先钰
程俊
边小月
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机构
上海理工大学光电信息与计算机工程学院
苏州慧利仪器有限责任公司
苏州科技大学物理科学与技术学院
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出处
《应用光学》
CAS
北大核心
2023年第3期533-538,共6页
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基金
国家自然科学基金(62127901)。
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文摘
提出通过离轴照明系统抑制相干噪声的方案,设计了一种具有抑制相干噪声能力的照明系统。通过Zemax的非序列模式对照明系统进行仿真,得到了厚度为90μm的离轴环形光斑,验证了此照明系统对相干噪声的抑制能力。将其作为19.05 mm(3/4英寸)Fizeau干涉仪的光源,设置对比实验,光源波长为632 nm,设置圆形噪点尺寸为120μm~500μm和尺寸为100μm×350μm的划痕。对设计的照明系统进行误差分析,优化照明系统成像质量,调整干涉系统参数,最终在照明光环宽度为42μm、干涉腔长为15 mm情况下,干涉条纹的对比度提升至97.60%。
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关键词
干涉测量
相干噪声
照明仿真
条纹对比度
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Keywords
interferometry
coherent noise
illumination simulation
streak contrast
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分类号
TN202
[电子电信—物理电子学]
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