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半导体厂酸性含氟生产废水处理系统 被引量：7
1
作者 郭莉 李杨 +1 位作者 李旭鹏 黄旺城 《环境工程》 CAS CSCD 北大核心 2016年第S1期247-249,共3页
介绍了调节池-二级反应池-絮凝池-沉淀池-生物滤池工艺用于半导体厂酸性含氟废水的处理系统及其主要构筑物。半导体生产废水中氟化物浓度较高,呈酸性p H值为1~3。自2013年12月调试正常运行以来,效果良好,出水各项指标完全达到设计和排... 介绍了调节池-二级反应池-絮凝池-沉淀池-生物滤池工艺用于半导体厂酸性含氟废水的处理系统及其主要构筑物。半导体生产废水中氟化物浓度较高,呈酸性p H值为1~3。自2013年12月调试正常运行以来,效果良好,出水各项指标完全达到设计和排放要求。 展开更多
关键词 半导体酸性含氟废水 反应池 沉淀池
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功率半导体芯片类项目中工艺管理对厂务系统成本的影响
2
作者 尤新勇 郭莉 黄旺城 《洁净与空调技术》 2024年第3期103-104,98,共3页
通过对功率半导体芯片类项目中暖通系统、纯水制备输配系统和高纯化学品输配系统需要关注的一些成本要素进行探讨,介绍了项目工艺团队在在项目设计需求提出和运营阶段针对不同系统需要关注的参考建议。
关键词 半导体 芯片 工艺 厂务 成本
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