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微型电容式压力传感器中的温度效应 被引量：4
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作者 黄哲琳 冯勇建 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2006年第05B期1807-1809,共3页
主要介绍了利用硅?硅键合技术制作的微型电容式温度传感器的温度效应,给出了详细的制作工艺.文中对测试装置进行了详细介绍和深入分析.最后对制作的传感器器件进行了测试,并对测试结果进行分析.结果表明这种微传感器的温度影响需要校正... 主要介绍了利用硅?硅键合技术制作的微型电容式温度传感器的温度效应,给出了详细的制作工艺.文中对测试装置进行了详细介绍和深入分析.最后对制作的传感器器件进行了测试,并对测试结果进行分析.结果表明这种微传感器的温度影响需要校正,否则影响传感器的的线性工作范围. 展开更多
关键词 传感器 电容式 温度测试 MEMS
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