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对准标记处理的改进亚象素细分定位算法 被引量：5
1
作者 陈伟明 杨维全 +4 位作者 胡松 魏相惠 杨澍 赵立新 郭春玲 《微细加工技术》 2001年第3期56-59,共4页
提出一种新的适合对准标记图像处理的改进亚象素细分定位算法 ,并提供了完善这种定位算法的缩小检测窗口的方法。
关键词 图像处理 对准系统 光刻机 亚象素定位 算法
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掩模一样片对准台
2
作者 郭春玲 胡松 魏相惠 《光电工程》 CAS CSCD 1999年第S1期87-90,共4页
介绍一种用于接近式曝光机的掩摸一样片对准机构，讨论了系统组成及结构设计，对主要部分作了精度分析，并给出了系统各部分的主要技术指标。
关键词 接近式光刻机 掩模对准系统 结构设计 精度分析
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GFP自动调焦光栅动态光刻头系统
3
作者 魏相惠 《光电工程》 CAS CSCD 1992年第2期23-30,共8页
本文论述首次在光栅刻划机中,应用自动调焦传感技术的光栅动态光刻头系统(获得国家发明专利)。它具有调焦精度高,范围大,适用于研制生产高精度的光栅母尺以及高精度大尺寸的光栅尺。从而为刻划高分辨率、大量程的优质光栅尺找出了新途... 本文论述首次在光栅刻划机中,应用自动调焦传感技术的光栅动态光刻头系统(获得国家发明专利)。它具有调焦精度高,范围大,适用于研制生产高精度的光栅母尺以及高精度大尺寸的光栅尺。从而为刻划高分辨率、大量程的优质光栅尺找出了新途径。文章对动态光刻头系统设计参数的选择,主要技术途径及研制结果作了介绍。 展开更多
关键词 刻线机 光学头 光栅刻划 自动调焦
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