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进气压力对真空发生器性能的影响 被引量：6
1
作者 刘宝 韩威震 +1 位作者 张业明 张柯 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2019年第4期304-309,共6页
为研究进气压力对真空发生器性能的影响,利用Fluent软件对真空发生器内部流场进行数值模拟。仿真范围内,通过对真空口处压强、引射效率、气体沿轴线的速度与压强,以及发生器失效的讨论分析,得到如下结论:真空口封闭的瞬态条件下,对真空... 为研究进气压力对真空发生器性能的影响,利用Fluent软件对真空发生器内部流场进行数值模拟。仿真范围内,通过对真空口处压强、引射效率、气体沿轴线的速度与压强,以及发生器失效的讨论分析,得到如下结论:真空口封闭的瞬态条件下,对真空口处压强而言,进气压力存在临界值与最优值,超过临界值后真空口处压强出现周期性震荡,达到最优值时,能以最优进气压力达到高于该压力所能维持的真空度;基于等压混合假设的稳态条件下,对引射流量、引射效率而言,分别存在相应的进气压力最优值,并于对应最优值时达到最大的引射流量与引射效率。 展开更多
关键词 真空 数值仿真 进气压力 震荡 真空度
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