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题名金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模
被引量：3
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作者
马岩
袁慧珠
鞠仁忠
孙家全
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机构
沈阳仪表科学研究院
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2009年第5期74-77,共4页
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文摘
介绍了硅片加工过程中三种划片方法。对金刚石砂轮刀片进行了力学分析,应用有限元分析软件建立了砂轮刀片回转模型,得到了刀片的应力图。通过仿真得到,砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处。并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型。为进一步基于参数化与智能化的划片机设计打下基础。
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关键词
金刚石砂轮刀片
硅片划切
有限元分析
三维建模
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Keywords
diamond blade
wafer dicing
finite element analysis
three-dimensional modeling
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分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
TQ164
[化学工程—高温制品工业]
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题名金刚石砂轮刀片划切过程性能分析与三维建模
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作者
马岩
袁慧珠
鞠仁忠
孙家全
夏宗群
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机构
沈阳仪表科学研究院
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出处
《仪表技术与传感器》
CSCD
北大核心
2009年第B11期274-276,共3页
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文摘
介绍了硅片加工过程中3种划片方法及划片机国内外发展趋势。对金刚石砂轮刀片进行力学分析,应用有限元分析软件建立砂轮刀片回转模型,得到刀片的应力图。通过仿真得到:砂轮刀片切向应力总是大于径向应力,切向应力的最大值发生在砂轮刀片孔壁处。并且,应用基于特征的实体造型系统Pro/Engineer,建立了划片机划切过程模拟模型。为进一步进行参数化设计打下基础。
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关键词
金刚石砂轮刀片
划切过程
有限元分析
三维建模
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Keywords
diamond blade
progress of slicing
finite element analysis
three-dimensional modeling
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分类号
TP21
[自动化与计算机技术—检测技术与自动化装置]
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