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题名单晶硅切片加工技术研究进展
被引量：11
- 1
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作者
葛培琪
陈自彬
王沛志
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机构
山东大学机械工程学院
山东大学
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2020年第4期12-18,共7页
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基金
国家自然科学基金(51775317)
山东省重点研发计划(2019JZZY020209,2019GGX104007)。
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文摘
单晶硅切片加工是集成电路产业和光伏产业的重要环节,其加工方式和加工质量直接影响到晶片的出片率、晶圆衬底和光伏太阳能电池板的生产成本。随着晶片尺寸的不断增大,线锯切片技术已成为目前单晶硅片的主流切片加工技术。为实现单晶硅片高效、精密、低裂纹损伤的切片加工,阐述了线锯切片技术的分类及其加工特点,总结了金刚石线锯切片加工机理的研究现状,探讨了对金刚石线锯切片加工过程的微观分析,概括了单晶硅切片加工引起的裂纹损伤及其抑制措施,指出了单晶硅切片加工技术的发展趋势和面临的挑战。
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关键词
单晶硅
金刚石线锯
切片技术
晶圆衬底
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Keywords
monocrystalline silicon
diamond wire saw
slicing technology
wafer substrate
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分类号
TG58
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名单晶硅裂纹萌生的刻划深度研究
被引量：5
- 2
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作者
陈自彬
葛梦然
毕文波
张晨政
葛培琪
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机构
山东大学机械工程学院
山东建筑大学机电工程学院
山东大学
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2021年第3期55-59,共5页
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基金
国家自然科学基金(51775317,52005301)
山东省重点研发计划(2019GGX104007)。
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文摘
单晶硅作为典型的脆性材料,实现其塑性域去除加工的关键是使切削深度小于裂纹萌生切削深度。采用断裂强度理论,建立单晶硅刻划加工时的径向裂纹、中位裂纹和横向裂纹萌生刻划深度计算方法,计算得到裂纹萌生的刻划深度和划痕深度。设计高速刻划单晶硅的玻氏压头试验装置,并进行单晶硅片刻划试验,实测其径向裂纹萌生的划痕深度,其划痕深度计算值与试验测量值一致性较好。
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关键词
单晶硅
裂纹萌生
刻划深度
划痕深度
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Keywords
monocrystalline silicon
crack initiation
scratching depth
scratch depth
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分类号
TG58
[金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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题名电镀金刚石线锯使用性能的试验研究
被引量：4
- 3
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作者
张晨政
葛培琪
陈自彬
郑楚夕
毕文波
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机构
山东大学机械工程学院
山东大学
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出处
《金刚石与磨料磨具工程》
CAS
北大核心
2021年第6期74-79,共6页
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基金
国家自然科学基金(51775317)
山东省重点研发计划(2019JZZY020209,2019GGX104007)。
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文摘
为评价电镀金刚石线锯的使用性能,搭建恒力进给式金刚石线锯性能评价试验机,对编号为Ⅰ、Ⅱ的2种基体直径相同的电镀金刚石线锯进行单晶硅切片试验,记录切片时间,计算锯切效率,利用粗糙度仪、光学显微镜、扫描电子显微镜分别测量硅片表面粗糙度、锯缝宽度及锯丝表面磨粒脱落率。试验结果表明:金刚石线锯性能评价试验机能够定量评价电镀金刚石线锯的使用性能;Ⅰ号线锯的锯切效率比Ⅱ号线锯的高13.6%;用Ⅱ号线锯切片得到的硅片走丝方向、进给方向的表面粗糙度分别比用Ⅰ号线锯的小17.5%、10.8%;Ⅰ号线锯的锯缝宽度比Ⅱ号线锯的小3.8%;Ⅱ号线锯的使用寿命比Ⅰ号线锯的长;Ⅰ号线锯的磨粒脱落率是Ⅱ号线锯的2.1倍。
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关键词
电镀金刚石线锯
使用性能
恒力进给
锯切效率
磨粒脱落率
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Keywords
electroplated diamond wire saw
application performance
constant force feed
sawing efficiency
abrasive shedding rate
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分类号
TG74
[金属学及工艺—刀具与模具]
TQ153
[化学工程—电化学工业]
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题名浅析电力基建工程项目的进度管理
被引量：2
- 4
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作者
陈自彬
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机构
国网四川省电力公司甘孜供电公司
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出处
《山东工业技术》
2015年第19期132-132,共1页
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文摘
随着我国社会与经济的高速发展,电力行业工程的需求程度对我们来说显得越发的迫切。在电力工程的实际建设过程中,工期进度和施工质量这两项内容是决定整个电力工程安全性和稳定性的关键因素。在其基础设施建设施工活动中,勘察、设计、施工和验收等环节都存在着一定程度的管理问题,特别是设计到工期进度的管理问题。本文就电力基建工程项目进度管理中存在的问题进行了分析,并提出了相应的应对措施,已达到提高整体工程项目管理水平的目的。
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关键词
电力基建
项目进度
管理
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分类号
TU722
[建筑科学—建筑技术科学]
TM7
[电气工程—电力系统及自动化]
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题名输变电安装工程施工阶段工程造价因素浅析
被引量：1
- 5
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作者
陈自彬
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机构
国网四川省电力公司甘孜供电公司
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出处
《电工技术（下半月）》
2015年第8期2-2,共1页
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文摘
为了能够使输变电安装工程施工阶段的工程造价控制在预算范围之内，应该具有主观能动控制的意识。本文对影响施工阶段工程造价的各类因素进行了全面细致的分析，将主要因素分为建设方因素、设计方因素以及施工方因素三个方面，并提出了相应的解决措施，从而为输变电安装工程施工阶段工程预算的控制提供了一定的参考价值。
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关键词
输变电工程
施工阶段
工程造价
控制措施
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分类号
TU723.3
[建筑科学—建筑技术科学]
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