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多层薄膜二次电子发射特性的理论研究
被引量：
2
1
作者
陈
凤
郭金川
+1 位作者
陈
泗
方
周彬
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期417-421,共5页
为提高硅基微通道板(silicon-based microchannel plate,Si-MCP)的增益特性,提出采用复合发射层结构取代常规的单发射层结构以改善微通道内壁的二次电子发射特性.计算了Si O2/Si、Al2O3/Si、Mg O/Si双层薄膜在不同厚度下的二次电子发射...
为提高硅基微通道板(silicon-based microchannel plate,Si-MCP)的增益特性,提出采用复合发射层结构取代常规的单发射层结构以改善微通道内壁的二次电子发射特性.计算了Si O2/Si、Al2O3/Si、Mg O/Si双层薄膜在不同厚度下的二次电子发射系数与初电子能量的关系曲线,并对结果进行了比对验证.该计算结果对设计制作硅基MCP具有一定参考价值.
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关键词
薄膜物理学
硅基微通道板
二次电子发射
数值模拟
发射系数
薄膜厚度
下载PDF
职称材料
题名
多层薄膜二次电子发射特性的理论研究
被引量：
2
1
作者
陈
凤
郭金川
陈
泗
方
周彬
机构
深圳大学光电工程学院
出处
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015年第4期417-421,共5页
基金
国家自然科学基金资助项目(11074172)
国家重点基础研究发展计划资助项目(2102CB825804)~~
文摘
为提高硅基微通道板(silicon-based microchannel plate,Si-MCP)的增益特性,提出采用复合发射层结构取代常规的单发射层结构以改善微通道内壁的二次电子发射特性.计算了Si O2/Si、Al2O3/Si、Mg O/Si双层薄膜在不同厚度下的二次电子发射系数与初电子能量的关系曲线,并对结果进行了比对验证.该计算结果对设计制作硅基MCP具有一定参考价值.
关键词
薄膜物理学
硅基微通道板
二次电子发射
数值模拟
发射系数
薄膜厚度
Keywords
thin-film physics
silicon-based microchannel plate
secondary electron emission
numerical simula- tion
emission coefficient
thickness of film
分类号
TN101 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
多层薄膜二次电子发射特性的理论研究
陈
凤
郭金川
陈
泗
方
周彬
《深圳大学学报（理工版）》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2015
2
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