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硅基电光调制器研究进展(特邀)
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作者 李科 +1 位作者 赵奕儒 虞绍良 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2024年第19期88-99,共12页
电光调制器作为光互连、光通信、光传感等系统中的核心器件,负责电-光信号转换的关键功能。基于绝缘体上硅(SOI)的硅基电光调制器,具有尺寸紧凑、调制效率高、兼容CMOS工艺等优势,不仅一直是学术研究的热点,并且已经实现了大规模的商用... 电光调制器作为光互连、光通信、光传感等系统中的核心器件,负责电-光信号转换的关键功能。基于绝缘体上硅(SOI)的硅基电光调制器,具有尺寸紧凑、调制效率高、兼容CMOS工艺等优势,不仅一直是学术研究的热点,并且已经实现了大规模的商用部署。人工智能技术的普及和大型数据中心的兴起,则进一步推动电光调制技术的发展和创新。本文将从自由载流子等离子色散效应和直流克尔效应两种硅基电光调制的基本原理出发,介绍目前广泛采用的调制机制和经典的器件形式,然后着重介绍近年面向高速光互连、微波光子和光传感等应用的典型创新性研究成果。最后,总结硅基电光调制器发展现状和机遇,并对存在的挑战进行讨论,指出在调制原理方面原始创新的重要性。 展开更多
关键词 硅基光电子 电光调制器 光互连 微波光子 光传感
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