肋骨环抱器内固定治疗多发肋骨骨折疗效观察 被引量：17

1

作者 解明德 于善海 +3 位作者 孙力彬 严国荣 陈修国 王理想 《山东医药》 CAS 2013年第16期42-43,共2页

目的观察肋骨环抱器内固定治疗多发肋骨骨折的临床效果。方法对104例多发肋骨骨折患者采用切开复位肋骨环抱器内固定术治疗。结果本组手术时间l～2.5 h,术中出血50～1 500 mL,平均200 mL。术后1～2 d拔除胸腔闭式引流管,延迟拔管7例。... 目的观察肋骨环抱器内固定治疗多发肋骨骨折的临床效果。方法对104例多发肋骨骨折患者采用切开复位肋骨环抱器内固定术治疗。结果本组手术时间l～2.5 h,术中出血50～1 500 mL,平均200 mL。术后1～2 d拔除胸腔闭式引流管,延迟拔管7例。本组死亡2例,均为严重颅脑合并胸腹部联合伤。本组术后因排痰困难致肺部感染2例,胸腔积液10例,切口渗液5例,均经相应处理后治愈。结论肋骨环抱器内固定治疗多发肋骨骨折操作简便,固定可靠,手术效果好。 展开更多

关键词 肋骨环抱器 内固定术 肋骨骨折

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集成电路制造在线光学测量检测技术:现状、挑战与发展趋势 被引量：10

2

作者 陈修国 王才 +3 位作者 杨天娟 刘佳敏 罗成峰 刘世元 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2022年第9期403-426,共24页

在线测量检测技术与装备是保证集成电路(IC)制造质量和良率的唯一有效技术手段,在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差,以及缺陷等进行快速、非破坏、精确测量与检测。本文首先从尺寸测量和缺陷检测两个方面介绍了IC制造... 在线测量检测技术与装备是保证集成电路(IC)制造质量和良率的唯一有效技术手段,在IC制造过程中必须对IC纳米结构的关键尺寸、套刻误差,以及缺陷等进行快速、非破坏、精确测量与检测。本文首先从尺寸测量和缺陷检测两个方面介绍了IC制造在线光学测量检测技术的研究现状。在此基础上,进一步分析了先进技术节点中所面临的一些新的纳米测量挑战,如更小的特征尺寸、更复杂的三维结构。最后,展望了IC制造在线光学测量检测技术的未来发展趋势。 展开更多

关键词 测量 集成电路制造 纳米测量 光学测量 光学检测 关键尺寸 套刻误差 缺陷

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基于Mueller矩阵椭偏仪的纳米压印模板与光刻胶光栅结构准确测量 被引量：5

3

作者 陈修国 刘世元 +4 位作者 张传维 吴懿平 马智超 孙堂友 徐智谋 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第18期148-159,共12页

在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵... 在纳米压印工艺中,对模板和压印结构的几何参数进行快速、低成本、非破坏性地准确测量具有非常重要的意义.与传统光谱椭偏仪只能改变波长和入射角2个测量条件并且在每一组测量条件下只能获得振幅比和相位差2个测量参数相比,Mueller矩阵椭偏仪可以改变波长、入射角和方位角3个测量条件,而且在每一组测量条件下都可以获得一个4×4阶Mueller矩阵共16个参数,因此可以获得更为丰富的测量信息.通过选择合适的测量条件配置,充分利用Mueller矩阵中的测量信息,有望实现更为准确的纳米结构测量.基于此,本文利用自主研制的Mueller矩阵椭偏仪对硅基光栅模板和纳米压印光刻胶光栅结构进行了测量.实验结果表明,通过对Mueller矩阵椭偏仪进行测量条件优化配置,并且在光学特性建模时考虑测量过程中出现的退偏效应,可以实现压印工艺中纳米结构线宽、线高、侧壁角以及残胶厚度等几何参数更为准确的测量,同时对于纳米压印光刻胶光栅结构还可以直接得到光斑照射区域内残胶厚度的不均匀性参数. 展开更多

关键词 纳米压印 纳米测量 Mueller矩阵椭偏仪 测量准确度

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基于Mueller矩阵成像椭偏仪的纳米结构几何参数大面积测量 被引量：5

4

作者 陈修国 袁奎 +4 位作者 杜卫超 陈军 江浩 张传维 刘世元 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第7期69-79,共11页

为了实现有效的工艺监控,在批量化纳米制造中对纳米结构的关键尺寸等几何参数进行快速、低成本、非破坏性的精确测量具有十分重要的意义.光学散射仪目前已经发展成为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段.传统光学... 为了实现有效的工艺监控,在批量化纳米制造中对纳米结构的关键尺寸等几何参数进行快速、低成本、非破坏性的精确测量具有十分重要的意义.光学散射仪目前已经发展成为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段.传统光学散射测量技术只能获得光斑照射区内待测参数的平均值,而对小于光斑照射区内样品的微小变化难以准确分析.此外,由于其只能进行单点测试,必须要移动样品台进行扫描才能获得大面积区域内待测参数的分布信息,从而严重影响测试效率.为此,本文将传统光学散射测量技术与显微成像技术相结合,提出利用Mueller矩阵成像椭偏仪实现纳米结构几何参数的大面积快速准确测量.Mueller矩阵成像椭偏仪具有传统Mueller矩阵椭偏仪测量信息全、光谱灵敏度高的优势,同时又有显微成像技术高空间分辨率的优点,有望为批量化纳米制造中纳米结构几何参数提供一种大面积、快速、低成本、非破坏性的精确测量新途径. 展开更多

关键词 纳米结构 纳米测量 光学散射测量 Mueller矩阵成像椭偏仪

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LASIK术后角膜变形和应力的有限元分析 被引量：4

5

作者 陈修国 沈珉 +2 位作者 王雁 吴迪 张琳 《中华眼视光学与视觉科学杂志》 CAS CSCD 2019年第2期110-116,共7页

目的:研究准分子激光原位角膜磨镶术(LASIK)后角膜的变形及内力变化,探究矫正屈光度、术前角膜厚度对术后角膜生物力学的影响。方法:采用Gasser-Holzapfel-Ogden超弹性本构关系描述角膜材料的力学行为,建立术前和术后人眼角膜生物力学... 目的:研究准分子激光原位角膜磨镶术(LASIK)后角膜的变形及内力变化,探究矫正屈光度、术前角膜厚度对术后角膜生物力学的影响。方法:采用Gasser-Holzapfel-Ogden超弹性本构关系描述角膜材料的力学行为,建立术前和术后人眼角膜生物力学的有限元模型,计算LASIK术前、术后角膜后表面中央点的位移差,分析不同矫正屈光度和术前角膜厚度对术后角膜变形和Mises应力的影响。结果:LASIK手术前后角膜后表面中央点位移差随矫正屈光度的变化呈非线性递增。在矫正屈光度较低时,LASIK术前角膜厚度对手术前后角膜后表面中央点位移差影响较弱,在矫正屈光度较高时影响比较明显。结论:矫正高度数屈光度情况下角膜厚度对术后角膜生物力学稳定性影响较大,LASIK由于角膜瓣的存在容易引起术后角膜应力增加。 展开更多

关键词 准分子激光角膜原位磨镶术 有限元分析 矫正屈光度 术前角膜厚度

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洛铂诱导人肺腺癌A549细胞凋亡机制的实验研究 被引量：3

6

作者 解明德 王理想 +2 位作者 陈春芬 陈修国 孙力彬 《滨州医学院学报》 2013年第2期81-85,共5页

目的探讨洛铂(LBP)诱导人肺腺癌A549细胞凋亡作用机制。方法取对数生长期的A549细胞分为阴性对照组和实验组(分别加入2.5、5和10μmol/L LBP)。采用倒置相差显微镜观察各组A549细胞形态学改变,利用流式细胞仪检测各组A549细胞凋亡率,RT-... 目的探讨洛铂(LBP)诱导人肺腺癌A549细胞凋亡作用机制。方法取对数生长期的A549细胞分为阴性对照组和实验组(分别加入2.5、5和10μmol/L LBP)。采用倒置相差显微镜观察各组A549细胞形态学改变,利用流式细胞仪检测各组A549细胞凋亡率,RT-PCR检测凋亡A549细胞中Bax、Bcl-2的表达。结果显微镜下观察到LBP抑制A549细胞的增殖;流式细胞仪结果显示LBP诱导A549细胞凋亡,并呈浓度和时间依赖性;RT-PCR结果显示LBP可使A549细胞Bax基因表达上调,Bcl-2基因表达下调,二者呈负相关。结论 LBP明显诱导人肺腺癌A549细胞凋亡,通过线粒体途径参与其凋亡过程。 展开更多

关键词 洛铂 肺腺癌 A549细胞 凋亡 BAX Bcl-2

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不同还原性药物对两种方法测定血糖结果的影响 被引量：3

7

作者 苗霞 赵建强 陈修国 《潍坊医学院学报》 2002年第4期297-298,共2页

目的　比较多巴胺、复方丹参和VitC 3种药物对血糖氧化酶电极法和氧化酶偶联比色法 (GOD OR和GOD POD)测定结果的影响。方法　将多巴胺、复方丹参和VitC 3种药物分别掺入混合新鲜血清中 ,同时用GOD OR和GOD POD两种方法测定血糖结果 ,... 目的　比较多巴胺、复方丹参和VitC 3种药物对血糖氧化酶电极法和氧化酶偶联比色法 (GOD OR和GOD POD)测定结果的影响。方法　将多巴胺、复方丹参和VitC 3种药物分别掺入混合新鲜血清中 ,同时用GOD OR和GOD POD两种方法测定血糖结果 ,并进行两组间比较。结果　①GOD OR和GOD POD两法对未掺入多巴胺等三种药物的血糖测定结果基本相同 (P >0 .0 5 )。r=0 .997,相关性好。② 3种药物对GOD OR法测定结果基本无影响 ;对GOD POD法测定结果有影响 ,尤其当多巴胺浓度为 5 0mg L ,复方丹参浓度为 1.0mg L ,VitC为 10 0mg L时 ,影响显著。结论　GOD OR法抗还原性物质的干扰能力明显优于GOD POD法 ,提示临床服用多巴胺等还原性药物的患者 ,测定血糖时应使用GOD OR法。 展开更多

关键词 多巴胺 复方丹参 维生素C 方法

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基于关键词的文档层次查询 被引量：1

8

作者 尹文生 陈修国 +1 位作者 涂平晖 张恒喜 《情报杂志》 CSSCI 北大核心 2009年第1期47-51,55,共6页

文档查询是科学工作中的重要环节。从实现机理来看,文档查询是一种基于关键词的数据库查询过程,其核心就是构建查询语句即设计查询界面及向数据库查询语句转化。提出了一种面向文档查询的查询树概念,将每个叶结点对应于一条SQL语句,而... 文档查询是科学工作中的重要环节。从实现机理来看,文档查询是一种基于关键词的数据库查询过程,其核心就是构建查询语句即设计查询界面及向数据库查询语句转化。提出了一种面向文档查询的查询树概念,将每个叶结点对应于一条SQL语句,而分支结点则表示子结点之间的并交差集合运算关系和其他运算关系,便于表达复杂文档查询要求。设计了查询树向SQL语句转化算法,将整个查询树合并为一条SQL语句,充分发挥DBMS查询优化功能。 展开更多

关键词 文档查询 关键词查询 查询树 查询子句

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基于灵敏度分析的一维纳米结构光学散射测量条件优化配置 被引量：2

9

作者 董正琼 刘世元 +3 位作者 陈修国 石雅婷 张传维 江浩 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第1期116-122,共7页

在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于... 在光学散射测量中,除了实际测量光谱的质量外,模型的输出光谱对待测纳米结构参数的灵敏度也对最终测量结果的精度具有重大影响.由于不同的测量配置(入射波长、入射角和方位角的组合)下,纳米结构参数的灵敏度会不同,因此提出了一种基于灵敏度分析的测量条件优化配置方法来改善待测参数的灵敏度,以实现更高精度的纳米结构测量.实验表明,在理论预估的最优测量配置下,一维纳米结构所有待测参数的测量精确最优,验证了其有效性. 展开更多

关键词 光学散射测量 灵敏度 测量配置 精度

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POAD专家系统中的知识检索方法

10

作者 涂平晖 尹文生 +2 位作者 陈修国 徐帆 张恒喜 《计算机应用研究》 CSCD 北大核心 2009年第11期4218-4220,共3页

为了充分发挥面向问题分析与决策(POAD)专家系统在大容量知识库构建和以人为主导推理方面的优势,需要增强系统的知识检索能力。根据POAD专家系统的知识表示和推理方法设计了简单检索及层次检索方法,简单检索方便,用户不需要特别训练;层... 为了充分发挥面向问题分析与决策(POAD)专家系统在大容量知识库构建和以人为主导推理方面的优势,需要增强系统的知识检索能力。根据POAD专家系统的知识表示和推理方法设计了简单检索及层次检索方法,简单检索方便,用户不需要特别训练;层次检索则可以实现复杂知识检索,对于大容量知识系统效果尤为明显。此外还设计了模糊检索和结果中再检索等其他检索方法。应用实验表明,在POAD专家系统中设计和开发有效的知识检索方法可以极大地提高专家系统的推理速度。 展开更多

关键词 专家系统 面向问题分析与决策 推理 知识检索

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基于偏振态空间调制的紧凑型偏振光谱仪 被引量：2

11

作者 陶泽 刘佳敏 +3 位作者 张传维 陈修国 江浩 刘世元 《红外与毫米波学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2016年第5期557-563,583,共8页

提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证... 提出并实现了一种紧凑型偏振光谱仪,该仪器采用光谱仪阵列,使测量光谱范围覆盖可见光波段;采用部分平行光路设计,简化了测量配置和系统校准方法;运用入射面旋转效应,实现了偏振态的空间并行调制,减少了测量时间.对多组样品测量的结果证明了该紧凑型偏振光谱仪测量的准确性.由于测量速度快、结构简单且易于在线集成,该紧凑型偏振光谱仪作为一种实时在线测量工具极具潜力. 展开更多

关键词 偏振光谱仪 紧凑型 可见光谱

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基于POAD的公路工程质量分析与诊断专家系统 被引量：2

12

作者 尹文生 涂平晖 +1 位作者 张恒喜 陈修国 《公路》 北大核心 2009年第7期247-252,共6页

公路工程质量问题是多方面、多层次、与时间有关、具有大量隐含因素的复杂质量问题,建立公路工程质量智能分析与诊断专家系统对于保证公路工程质量具有较大意义。使用面向问题分析与决策(POAD)专家系统模型,以国家标准JTG F80/1-2004为... 公路工程质量问题是多方面、多层次、与时间有关、具有大量隐含因素的复杂质量问题,建立公路工程质量智能分析与诊断专家系统对于保证公路工程质量具有较大意义。使用面向问题分析与决策(POAD)专家系统模型,以国家标准JTG F80/1-2004为知识骨架建立了大容量公路工程质量知识系统,提出了公路工程质量知识的定义、获取和维护方法,设计了符合人类思维习惯的、以人为主导的知识引导和推理机制,并使用VC++6.0和ADO完成了公路工程质量智能分析与诊断专家系统RoadQuality的系统开发。 展开更多

关键词 公路工程质量 专家系统 面向问题分析与决策 知识获取 以人为主导的推理

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高血压脑病的临床诊治分析 被引量：2

13

作者 李凤梅 陈修国 《中国现代药物应用》 2014年第16期94-95,共2页

目的探讨高血压脑病的临床诊断及其治疗方法。方法高血压脑病患者100例,搜集其临床诊断及其治疗方法。结果 100例患者经过积极的临床治疗,85例患者于治疗5 d内恢复正常。15例患者由于临床症状较为严重,在治疗10 d后出院,并完全康复,无... 目的探讨高血压脑病的临床诊断及其治疗方法。方法高血压脑病患者100例,搜集其临床诊断及其治疗方法。结果 100例患者经过积极的临床治疗,85例患者于治疗5 d内恢复正常。15例患者由于临床症状较为严重,在治疗10 d后出院,并完全康复,无临床并发症及其临床死亡病例。结论高血压脑病早期诊断与治疗可以挽救患者的生命。 展开更多

关键词 高血压 脑病 临床诊治体会

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基于光谱椭偏仪的纳米光栅无损检测 被引量：1

14

作者 马智超 徐智谋 +7 位作者 彭静 孙堂友 陈修国 赵文宁 刘思思 武兴会 邹超 刘世元 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 2014年第3期482-486,共5页

本文制备了硅基和光刻胶两种材料的纳米光栅,利用光谱椭偏仪对该纳米结构的光栅进行了测量,随后利用建立的拟合模型对其测量数据进行了拟合,结果证明了运用该仪器进行纳米光栅结构无损检测的可行性,在入射角60?,方位角75?的测量条件下,... 本文制备了硅基和光刻胶两种材料的纳米光栅,利用光谱椭偏仪对该纳米结构的光栅进行了测量,随后利用建立的拟合模型对其测量数据进行了拟合,结果证明了运用该仪器进行纳米光栅结构无损检测的可行性,在入射角60?,方位角75?的测量条件下,纳米结构关键尺寸、侧壁角等三维形貌参数的测量精度最大可达99.97%,该技术对于无损检测有着一定的推动意义. 展开更多

关键词 纳米压印 光栅 无损检测 拟合

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依达拉奉联合醒脑静治疗脑梗死的临床效果观察 被引量：1

15

作者 李凤梅 陈修国 《中国现代药物应用》 2014年第15期152-153,共2页

目的探讨依达拉奉联合醒脑静治疗急性脑梗死的临床疗效。方法急性脑梗死患者140例,按照收治的单双日分成治疗组与对照组,各70例,治疗组采用依达拉奉联合醒脑静治疗,对照组采用单纯的依达拉奉治疗,观察临床效果。结果治疗组总有效率为90%... 目的探讨依达拉奉联合醒脑静治疗急性脑梗死的临床疗效。方法急性脑梗死患者140例,按照收治的单双日分成治疗组与对照组,各70例,治疗组采用依达拉奉联合醒脑静治疗,对照组采用单纯的依达拉奉治疗,观察临床效果。结果治疗组总有效率为90%;对照组的总有效率为60%,两组比较差异具有统计学意义(P<0.05)。结论依达拉奉联合醒脑静治疗急性脑梗死疗效显著,值得临床应用推广。 展开更多

关键词 依达拉奉 醒脑静 急性脑梗死 临床效果

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艾迪注射液对食管癌术后辅助化疗患者生活质量的影响分析

16

作者 于善海 孙力彬 +3 位作者 陈修国 李伟 刘相鼎 张华 《医药前沿》 2022年第31期81-83,共3页

目的:分析艾迪注射液对食管癌术后辅助化疗患者生活质量的影响。方法:选取2016年7月—2020年12月期间莒县人民医院收治的120例食管癌术后辅助化疗患者,按照治疗方式不同分为对照组与观察组各60例,对照组实施常规方法化疗,观察组在对照... 目的:分析艾迪注射液对食管癌术后辅助化疗患者生活质量的影响。方法:选取2016年7月—2020年12月期间莒县人民医院收治的120例食管癌术后辅助化疗患者,按照治疗方式不同分为对照组与观察组各60例,对照组实施常规方法化疗,观察组在对照组基础上加用艾迪注射液治疗,比较两组患者治疗前后的生活质量变化、外周血不良反应、临床症状改善情况。结果:治疗前后。对照组患者的卡氏评分比较,差异无统计学意义(P>0.05)。观察组患者在治疗后卡氏评分明显高于治疗前,且高于对照组患者,差异有统计学意义(P<0.05)。观察组患者治疗后卡氏评分升高,患者比例高于对照组,降低患者比率低于于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。治疗后,两组卡氏评分稳定比例比较,差异无统计学意义(P>0.05)。治疗后,观察组患者红细胞、白细胞毒性反应发生率低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05);两组血小板毒性反应发生率比较,差异无统计学意义(P>0.05)。治疗后,观察组出现乏力、疼痛、呕吐、厌食、盗汗等临床状况患者所占比例低于治疗前;对照组出现乏力、疼痛、盗汗等临床状况患者所占比例低于治疗前(P<0.05);治疗后,观察组疼痛、乏力、呕吐、厌食患者所占比例显著低于对照组(P<0.05)。治疗后,两组盗汗患者发生率对比,差异无统计学意义(P>0.05)。治疗后,观察组CA19-9、CA72-4、CEA低于对照组,差异有统计学意义(P<0.05)。结论:给予食管癌术后辅助化疗患者艾迪注射液配合治疗,能有效减少由于化疗引起的各种不良反应,改善患者的生活质量。 展开更多

关键词 食管癌 化疗 艾迪注射液

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肋骨内固定治疗创伤性连枷胸的临床观察

17

作者 于善海 陈修国 +1 位作者 李伟 刘相鼎 《医药前沿》 2022年第27期62-64,共3页

目的:探讨肋骨内固定治疗创伤性连枷胸的临床效果。方法:回顾性分析莒县人民医院胸外科在2013年1月—2021年7月进行肋骨内固定手术的96例连枷胸患者的临床资料,分析全部入组患者的一般临床资料(性别,年龄,致伤原因),手术治疗方法,手术... 目的:探讨肋骨内固定治疗创伤性连枷胸的临床效果。方法:回顾性分析莒县人民医院胸外科在2013年1月—2021年7月进行肋骨内固定手术的96例连枷胸患者的临床资料,分析全部入组患者的一般临床资料(性别,年龄,致伤原因),手术治疗方法,手术的相关指标(手术入路选择,手术具体操作分类,患者失血量,手术时间长度,住院时间长度等),最终的治疗结果等。结果:年龄19~75岁,平均42.5岁。肋骨骨折情况:单侧连枷胸72例,双侧连枷胸24例,胸壁塌陷畸形显著者13例,伴有急性呼吸窘迫综合征者38例。合并伤:合并肺破裂伤57例,右支气管断裂1例,血和(或)气胸67例,心包破裂1例,胸骨骨折8例,膈肌破裂5例,颅脑损伤38例,腹腔内脏器破裂者11例,锁骨骨折15例,肩胛骨骨折33例,椎体骨折29例,四肢骨折19例,骨盆骨折5例,创伤失血性休克7例。伤因分别是:交通伤53例(骑车者16例,司机10例,乘客4例),高处坠落伤23例,机械事故伤15例,挤压伤5例。全部患者均接受全身麻醉之后的肋骨内固定治疗手术。其中胸腔探查术10例,胸腔镜辅助手23例,肺叶切除术1列,手术时间平均1.5 h。术中出血平均约150 mL。住院时间平均14.7 d。拔管时间平均2.5d。ICU停留时间平均1.5 d。术后肺部感染1例。切口无感染病例。患者均获随访,随访时间平均8个月。96例患者痊愈94例,死亡2例。术后并发肺不张5例,均经相应处理后治愈。结论:肋骨环抱器是治疗连枷胸良好的方式,操作较为简便,固定效果可靠,可减少连枷胸的并发症。 展开更多

关键词 连枷胸 肋骨内固定 肋骨环抱器

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基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究

18

作者 陈修国 刘世元 《金属加工（冷加工）》 2015年第15期74-74,共1页

光学散射测量技术由于具有测量速度快、成本低、非破坏和易于集成等优点,目前已经发展为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段。传统光学散射测量技术基于光谱椭偏仪,只能改变波长和入射角2个测量条件且每次测量只... 光学散射测量技术由于具有测量速度快、成本低、非破坏和易于集成等优点,目前已经发展为批量化纳米制造中纳米结构几何参数在线测量的一种重要手段。传统光学散射测量技术基于光谱椭偏仪,只能改变波长和入射角2个测量条件且每次测量只能获得振幅比和相位差2个测量参数。 展开更多

关键词 椭偏仪 测量技术 传统光学 测量条件 测量速度 在线测量 几何参数 批量化 振幅比 参数提取

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533例乙型病毒性肝炎血清抗HAV-IgM检测分析

19

作者 孟庆艳 陈修国 《皖南医学院学报》 CAS 1997年第2期181-181,共1页

关键词 乙型肝炎 血清 HAV IGM 甲型肝炎 重叠感染

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基于广义椭偏仪的纳米结构测量理论与方法研究

20

作者 陈修国 刘世元 《机械工程学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2015年第10期7-7,共1页

纳米制造是指产品特征尺寸为纳米量级的制造技术。为了实现纳米制造工艺的可操纵性、可预测性、可重复性和可扩展性,保证基于纳米科技的产品满足可靠性、一致性、经济性及规模化生产等多方面的要求,在纳米制造过程中对纳米结构的几何特... 纳米制造是指产品特征尺寸为纳米量级的制造技术。为了实现纳米制造工艺的可操纵性、可预测性、可重复性和可扩展性,保证基于纳米科技的产品满足可靠性、一致性、经济性及规模化生产等多方面的要求,在纳米制造过程中对纳米结构的几何特征参数进行快速、低成本、非破坏性的精确测量具有重要的意义。尽管扫描电子显微镜和原子力显微镜都可以满足纳米级尺度的测量要求,但其显著缺点是速度慢、成本高、设备操作复杂、难以实现在线集成测量。与之相比,光学散射测量技术,由于其本身具有的快速、低成本、非破坏性和易于集成等优点,因而在先进工艺监测与优化领域获得了广泛的应用。 展开更多

关键词 椭偏仪 原子力显微镜 可操纵性 可重复性 测量技术 制造工艺 特征参数 扫描电子显微镜 制造过程 可扩展性

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