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大口径平面和非球面光学表面的纳米和纳弧度精度的测量--长行程外形仪的原理应用和发展 被引量：4
1
作者 钱石南 《激光与光电子学进展》 CSCD 北大核心 2008年第5期16-25,共10页
由于同步辐射光学发展的需要,发展了长行程外形仪。长行程外形仪是一个可以达到纳米和纳弧度灵敏度和精度的小角度和表面外形的测量仪器,适用于大口径光学表面的高精度测量。可测量的面形除了平面、球面外,还有所有非球面,如圆柱面、圆... 由于同步辐射光学发展的需要,发展了长行程外形仪。长行程外形仪是一个可以达到纳米和纳弧度灵敏度和精度的小角度和表面外形的测量仪器,适用于大口径光学表面的高精度测量。可测量的面形除了平面、球面外,还有所有非球面,如圆柱面、圆锥面、抛物面、椭球面、双曲面、超环面、各种旋转面和其他非标准非球面。介绍了长行程外形仪的原理、应用和各种不同用途的长行程外形仪,包括实验室专用长行程外形仪、扫描五角棱镜长行程外形仪、在线测量长行程外形仪和便携式长行程外形仪、垂直扫瞄长行程外形仪、多功能长行程外形仪和纳米光学机。还介绍了长行程外形仪的精度和最新发展趋向,如提高测量精度的方法,大幅度地增加外形仪的测量范围和方便地进行二维零件测量等。 展开更多
关键词 应用光学 长行程外形仪 非球面高精度测量 大口径
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轮廓仪法测量大镜面及纳精度表面轮廓仪研发
2
作者 李剑白 钱石南 +1 位作者 李小芸 Mourad Idir 《江西科学》 2023年第4期736-739,共4页
指出了表面轮廓仪法检测大尺寸光学反射镜的重要意义,论述高精度表面轮廓仪系列分类。新的第3代表面轮廓仪NSP研发解决了较深弯曲反射镜的超高精度测试难题。当ELCOMAT 3000/10自准直仪在50 mm固定距离精密较正后,NSP即可能达到50 nrad ... 指出了表面轮廓仪法检测大尺寸光学反射镜的重要意义,论述高精度表面轮廓仪系列分类。新的第3代表面轮廓仪NSP研发解决了较深弯曲反射镜的超高精度测试难题。当ELCOMAT 3000/10自准直仪在50 mm固定距离精密较正后,NSP即可能达到50 nrad rms检测精度。 展开更多
关键词 表面轮廓仪 大尺寸反射镜测试 纳精度 第3代表面轮廓仪
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一种激光多用干涉仪的光学系统设计 被引量：1
3
作者 钱石南 王景华 《仪器仪表学报》 EI CAS 1982年第1期34-39,共6页
利用激光的优点,研制了一种操作方便、用途广泛、精度高的偏振激光多用干涉仪。仪器采用了1/4波片、偏振分光镜系统,能调节干涉条纹反差和消除光学系统各表面剩余反射的影响。主要介绍了仪器的设计思想和若干试验结果。分析了以抛光面... 利用激光的优点,研制了一种操作方便、用途广泛、精度高的偏振激光多用干涉仪。仪器采用了1/4波片、偏振分光镜系统,能调节干涉条纹反差和消除光学系统各表面剩余反射的影响。主要介绍了仪器的设计思想和若干试验结果。分析了以抛光面为条件确定检偏器转角的方法,描述了利用可换物镜组方便地实现等倾干涉测量的方法,和为操作方便而设计的迅速形成干涉条纹装置及双菱形镜对准装置等问题。 展开更多
关键词 干涉条纹 等倾干涉 干涉仪 检偏器 波片 光学系统设计 光强 偏振分光镜 激光腔 偏振方向
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同步辐射光刻光束线的真空系统 被引量：2
4
作者 蒋迪奎 李贵和 +4 位作者 刘泽文 殷立新 钱石南 阚娅 吴冠原 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第3期174-178,共5页
第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系统要使镜箱内的压力分别小于6．7×10-8Pa（镜箱内有SR）和2．6×10-7（镜箱内无SR），以免... 第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系统要使镜箱内的压力分别小于6．7×10-8Pa（镜箱内有SR）和2．6×10-7（镜箱内无SR），以免暴露于SR的光学镜面遭受碳污染。一个装有可移动样品架的曝光室坐落在超净室中。曝光室内的压力约为10-4Pa。一个多级差分抽气系统实现了镜箱到曝光室的真空过渡。具有较大截面的差分管必须是良好的光通路。给出了差分抽气系统的计算公式和实验结果。描述了真空联锁系统的组成部分和功能。该光束线的功能还需扩展和提高，真空系统也有值得探讨和改进的问题。 展开更多
关键词 同步辐射 光刻 差分抽分 真空系统
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压电细分多光束干涉平面度测量方法
5
作者 钱石南 《仪器仪表学报》 EI CAS 1983年第1期5-10,共6页
高精度平板的平面度一般用等厚干涉条纹测量,它的一个条纹间距相应于二分之一波长的光程差,用目测可以判别的平面度最高仅1/20波长,但是F-P干涉板要求1/100～1/200波长的平面度。本文描述了压电细分多光束干涉法,用压电陶瓷平移干涉板... 高精度平板的平面度一般用等厚干涉条纹测量,它的一个条纹间距相应于二分之一波长的光程差,用目测可以判别的平面度最高仅1/20波长,但是F-P干涉板要求1/100～1/200波长的平面度。本文描述了压电细分多光束干涉法,用压电陶瓷平移干涉板从而建立一组参考干涉条纹,设原相邻两条纹的距离为α,而参考条纹与原条纹的距离为α/m,用距离为α/m的条纹作基准目视或照相测量平面度,因此精度提高了m倍.在m=10时用目测方法可以探测到近1/200波长的误差。调节压电陶瓷的电压可方便连续地调节m,采用普通低频信号发生器产生的方波来驱动压电陶瓷。 展开更多
关键词 多光束干涉 干涉条纹 平面度 光程差 低频信号发生器 楔角 光强 干涉仪测量 照相测量 时用
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双1/4波片调节同光路干涉条纹反差的研究
6
作者 钱石南 《仪器仪表学报》 EI CAS 1982年第4期412-417,共6页
同光路干涉方式虽可降低对光学系统调整的精度要求,但当用它测量不同反射率的光学零件时必须更换带不同反射率标准面的各部件,操作麻烦、附件繁多。本文提出了用两块1/4波片调整同光路参考光束与被测光束光强的方法。将两波片同时转动... 同光路干涉方式虽可降低对光学系统调整的精度要求,但当用它测量不同反射率的光学零件时必须更换带不同反射率标准面的各部件,操作麻烦、附件繁多。本文提出了用两块1/4波片调整同光路参考光束与被测光束光强的方法。将两波片同时转动一个相同的角度,即可得高反差的干涉条纹。此法不仅对高反射率的零件而且对低反射率的零件都适用。 展开更多
关键词 波片 干涉条纹 光强 高反射率 光学零件 检偏 迈克尔逊 偏振分光镜 光程差 偏振特性
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利用激光器纵模细分的高精度平面测量
7
作者 钱石南 《仪器仪表学报》 EI CAS 1983年第2期104-106,共3页
高精度平面的测量方法之一是多光束细分,Herriott利用多狭缝加单色仪得到多波长细分条纹[1],J.Schwider利用标准具得到多波长细分条纹[2],作者也介绍了压电细分的方法[3]。为了简化仪器及操作,本文介绍了直接用激光器的纵模作为多波长... 高精度平面的测量方法之一是多光束细分,Herriott利用多狭缝加单色仪得到多波长细分条纹[1],J.Schwider利用标准具得到多波长细分条纹[2],作者也介绍了压电细分的方法[3]。为了简化仪器及操作,本文介绍了直接用激光器的纵模作为多波长细分的光源进行平面度的测量。仪器装置原理如图1。由腔长L=250毫米的全内腔He-Ne激光器1发出的光束,经由显微物镜2与物镜3组成的扩束镜变成平行光,照明由两待比较的平板4和5组成的标准具,腔间隔L′是可以调整的,它们的平行度用三个压电陶瓷精密调整,经会聚物镜6和场镜7把标准具内的干涉条纹成象于投影屏8上。细分应该采用多光束干涉。 展开更多
关键词 纵模 平面测量 标准具 腔长 扩束 内腔 仪器装置 多光束干涉 平面度 干涉条纹
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