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多离子束反应共溅射技术制备(Pb,La)TiO3铁电薄膜及薄膜物化性能表征
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作者 肖定全 朱建国 +5 位作者 钱正洪 朱居木 郭华聪 谢必正 张文 采保金 《高技术通讯》 EI CAS CSCD 1994年第4期9-12,共4页
研制了多离子束反应溅射技术并运用该技术在多种衬底上制备晶态（Ｐｂ，Ｌａ）ＴｉＯ３铁电薄膜。运用多种分析技术对铁电薄膜的物化性能进行了表征。发现在铁电薄膜的近表面有富铅层。测试了铁电薄膜的电滞回线、矫顽场、折射率、吸收... 研制了多离子束反应溅射技术并运用该技术在多种衬底上制备晶态（Ｐｂ，Ｌａ）ＴｉＯ３铁电薄膜。运用多种分析技术对铁电薄膜的物化性能进行了表征。发现在铁电薄膜的近表面有富铅层。测试了铁电薄膜的电滞回线、矫顽场、折射率、吸收系数等电学和光学参数。利用该技术可在较低衬底温度下在位制备组分可调、附着力强的外延或高度择优取向的铁电薄膜。 展开更多
关键词 离子束 反应 溅射 铁电薄膜 薄膜
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