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Pd掺杂的SnO_(2)甲烷传感器气敏性能的研究 被引量：5
1
作者 牟松 郑慧宜 +3 位作者 郭小伟 李绍荣 章龙管 谭小波 《传感技术学报》 CAS CSCD 北大核心 2022年第8期1039-1045,共7页
本文研究了Pd掺杂的SnO_(2)材料对于甲烷气体的敏感特性。首先从机理上说明掺杂Pd金属的原因;然后,采用简单的混合研磨工艺制备了Pd掺杂SnO_(2)复合材料;接着,采用刷涂工艺在加热型平板电极上制备了气敏层。研究了所制备的Pd掺杂SnO_(2... 本文研究了Pd掺杂的SnO_(2)材料对于甲烷气体的敏感特性。首先从机理上说明掺杂Pd金属的原因;然后,采用简单的混合研磨工艺制备了Pd掺杂SnO_(2)复合材料;接着,采用刷涂工艺在加热型平板电极上制备了气敏层。研究了所制备的Pd掺杂SnO_(2)气体传感器在不同温度对甲烷气体的敏感特性。结果表明,Pd掺杂在提高SnO_(2)的气敏性能的同时还能降低其工作温度;其中,2 wt%Pd掺杂SnO_(2)的传感器气敏性能最优,在最佳工作温度(200℃)下对500×10^(-6)甲烷的气敏响应值可达3.43,灵敏度提升了45.67倍(50×10^(-6)~1000×10^(-6))。 展开更多
关键词 气体传感器 甲烷 Pd掺杂 SnO_(2) 灵敏度 敏感机理
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