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金刚石线锯切割多晶硅表面形貌特征分析 被引量：3
1
作者 张辽远 吕忠秀 +1 位作者 王硕 邵中青 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2014年第2期57-61,共5页
采用自制的实验设备研究电镀金刚石线锯对硬脆材料多晶硅的锯切实验,使用日本VHX-1000C型超景深三维显微系统对多晶硅切片的表面形貌特征进行研究,分析了工件进给速度和预平衡力大小以及是否施加超声对锯切表面粗糙度的影响。研究结果表... 采用自制的实验设备研究电镀金刚石线锯对硬脆材料多晶硅的锯切实验,使用日本VHX-1000C型超景深三维显微系统对多晶硅切片的表面形貌特征进行研究,分析了工件进给速度和预平衡力大小以及是否施加超声对锯切表面粗糙度的影响。研究结果表明:多晶硅切片表面主要由较长较深沟槽、较浅划痕、大量表面破碎及少量较大较深的凹坑构成。另外,随着工件进给速度的增大,硅片的表面粗糙度值变大;而预平衡力加大会使硅片表面粗糙度值变小;施加超声振动可以明显提高加工效率、减小硅片表面粗糙度值。 展开更多
关键词 金刚石线锯 多晶硅 表面形貌 粗糙度
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基于超声振动下电镀金刚石线切割单晶硅材料的实验研究 被引量：1
2
作者 张辽远 王硕 +1 位作者 邵中青 吕忠秀 《金刚石与磨料磨具工程》 CAS 2013年第5期71-75,共5页
在总结了国内外文献资料的基础上,利用自行制造的完全具有自主知识产权的超声线切割加工机床进行了加工实验,对超声线切割加工机理与工艺进行了深入研究。结果表明:施加超声作用要比普通锯切时的锯切力低,切削效率高,表面粗糙度小,同时... 在总结了国内外文献资料的基础上,利用自行制造的完全具有自主知识产权的超声线切割加工机床进行了加工实验,对超声线切割加工机理与工艺进行了深入研究。结果表明:施加超声作用要比普通锯切时的锯切力低,切削效率高,表面粗糙度小,同时利用ABAQUS软件进行有限元仿真分析,进一步研究了电镀金刚石线锯超声振动复合加工锯切技术的工艺规律。 展开更多
关键词 超声波加工 单晶硅 电镀金刚石线锯
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气动喷射数值仿真分析
3
作者 邵中青 张辽远 +1 位作者 王硕 吕忠秀 《沈阳理工大学学报》 CAS 2014年第1期81-86,共6页
利用CFD软件Fluent建立数学物理模型,运用欧拉法和拉格朗日方法相结合的计算模型对离散相模型(DPM)进行三维数值模拟。研究当进口处空气速度为60m/s时,不同直径的固体颗粒在喷管外部流场的轨迹和横截面上的分布。仿真得到以下结论:在固... 利用CFD软件Fluent建立数学物理模型,运用欧拉法和拉格朗日方法相结合的计算模型对离散相模型(DPM)进行三维数值模拟。研究当进口处空气速度为60m/s时,不同直径的固体颗粒在喷管外部流场的轨迹和横截面上的分布。仿真得到以下结论:在固体颗粒从喷管喷出后短距离内,固体颗粒大体上呈现圆锥状喷射,喷射的锥角随颗粒的减小而逐步减小;颗粒直径减小时,长轴半径接近短轴半径,逐步过渡为圆形。 展开更多
关键词 欧拉法和拉格朗日方法相结合 离散相模型 圆锥状喷射
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