采用线阴极的快速阳极键合方法 被引量：8

1

作者 吴登峰 邬玉亭 +1 位作者 褚家如 张淑珍 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2003年第5期17-19,共3页

在平板阴极和点阴极方式做阳极键合时,时间-电流特性、键合速度、结合界面质量等都有所不同。通过建立力学和电学模型,分析了不同阴极形状对阳极键合的时间、强度以及结合界面特性的影响。根据模型分析,采取了线阴极工作方式做阳极键合... 在平板阴极和点阴极方式做阳极键合时,时间-电流特性、键合速度、结合界面质量等都有所不同。通过建立力学和电学模型,分析了不同阴极形状对阳极键合的时间、强度以及结合界面特性的影响。根据模型分析,采取了线阴极工作方式做阳极键合,样品的键合区扩散时间只需要84s。结合界面无空洞,键合强度为16.7MPa。 展开更多

关键词 阳极键合 时间-电流特性 键合速度 界面质量 线阴极 电学模型 力学模型

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阳极键合工艺进展及其在微传感器中的应用 被引量：5

2

作者 吴登峰 邬玉亭 褚家如 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2002年第11期4-7,共4页

分析了阳极键合技术的原理和当前阳极键合技术的研究进展 ,综述了微传感器对阳极键合的新需求 ,展望了阳极键合技术在传感器领域的应用前景。

关键词 阳极键合 微传感器 应用 硅片 原理

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低温阳极键合技术研究 被引量：7

3

作者 王多笑 邬玉亭 褚家如 《传感器技术》 CSCD 北大核心 2005年第9期37-39,共3页

通过键合温度220～250℃、键合电压400～600V的硅玻璃低温阳极键合实验,分析了温度和电场分别对键合强度和键合效率的影响,并讨论了键合机理.

关键词 低温 阳极键合 键合机理.

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记忆合金螺旋弹簧的性能测试及设计方法 被引量：9

4

作者 杨杰 吴月华 +3 位作者 周榆生 张昌文 邬玉亭 邱自学 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1992年第1期51-57,共7页

用作者研制的记忆特性测试仪对Cu-Zn-Al形状记忆合金螺旋弹簧进行测试,以其结果为依据,介绍了螺旋弹簧的设计方法。同时还指出了在使用形状记忆合金元件时必须注意的若干问题。

关键词 形状记忆合金 螺旋弹簧 记忆效应

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PECVD氮化硅薄膜内应力试验研究 被引量：7

5

作者 杨景超 赵钢 +1 位作者 邬玉亭 许晓慧 《新技术新工艺》 2008年第1期77-80,共4页

研究了等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的内应力。通过改变沉积工艺参数,研究了射频功率、反应气体流量比、载气体分压比和反应压强对氮化硅薄膜的内应力的影响,并且分析了氮化硅薄膜内应力的形成机制。制备出了应力只有-182.4MPa... 研究了等离子体增强化学气相沉积氮化硅薄膜的内应力。通过改变沉积工艺参数,研究了射频功率、反应气体流量比、载气体分压比和反应压强对氮化硅薄膜的内应力的影响,并且分析了氮化硅薄膜内应力的形成机制。制备出了应力只有-182.4MPa的低应力氮化硅薄膜。 展开更多

关键词 氮化硅薄膜 内应力 PECVD

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PECVD中电子能量状态对氮化硅薄膜应力的影响 被引量：4

6

作者 杨景超 赵钢 邬玉亭 《新技术新工艺》 2007年第7期102-104,共3页

研究了平板电容式PECVD设备中电子能量状态对氮化硅薄膜应力的影响。通过改变沉积工艺参数,研究了射频功率、载气体分压比和反应压强与电子能量状态之间的联系及电子能量状态变化对氮化硅薄膜应力的影响。最终制备出了应力只有-182.4 MP... 研究了平板电容式PECVD设备中电子能量状态对氮化硅薄膜应力的影响。通过改变沉积工艺参数,研究了射频功率、载气体分压比和反应压强与电子能量状态之间的联系及电子能量状态变化对氮化硅薄膜应力的影响。最终制备出了应力只有-182.4 MPa的低应力氮化硅薄膜。 展开更多

关键词 PECVD 氮化硅 应力 电子能量

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电容式数显内径测微仪 被引量：2

7

作者 邬玉亭 刘荣进 +1 位作者 劳创海 李勇 《工具技术》 北大核心 1995年第6期46-48,共3页

电容式数显内径测微仪中国科技大学精密机械与仪器系（合肥２３００２６）邬玉亭，刘荣进，劳创海合肥矿山机械厂（２３００１１）李勇一、引言目前工厂常用的内径量具如游标卡尺、内径千分尺等测量效率较低，其示值机构靠肉眼对准读数... 电容式数显内径测微仪中国科技大学精密机械与仪器系（合肥２３００２６）邬玉亭，刘荣进，劳创海合肥矿山机械厂（２３００１１）李勇一、引言目前工厂常用的内径量具如游标卡尺、内径千分尺等测量效率较低，其示值机构靠肉眼对准读数，测量精度受到人为视觉误差的影响。... 展开更多

关键词 电容式 数显测微仪 内经测量 误差

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声表面波直线电机研究进展 被引量：2

8

作者 熊瑛 邬玉亭 褚家如 《微电机》 2004年第3期18-20,共3页

介绍了一种新型的超声电机——声表面波直线电机。这是一种具有极高的分辨率(几个纳米),长工作行程(几十厘米)的微驱动器。文中从工作原理、实验装置以及存在的问题等方面介绍这种电机的研究发展。

关键词 声表面波直线电机 超声电机 纳米技术 微执行器

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机械制图课程教学研究及其改革实践 被引量：2

9

作者 沈连婠 王瑞芳 +1 位作者 邬玉亭 王琪民 《教育与现代化》 2004年第4期34-40,共7页

本文介绍了《机械制图》课程从课程结构、教材内容和教学方法等全方位的教学改革实践活动。由于边改革边实验 ,同时坚持以学生为本 ,从而激发了学生的学习兴趣 ,调动了师生的教学积极性 ,有效地组织了教学活动 ,在提高教学效率的同时改... 本文介绍了《机械制图》课程从课程结构、教材内容和教学方法等全方位的教学改革实践活动。由于边改革边实验 ,同时坚持以学生为本 ,从而激发了学生的学习兴趣 ,调动了师生的教学积极性 ,有效地组织了教学活动 ,在提高教学效率的同时改善了教学质量。 展开更多

关键词 教学积极性 以学生为本 高教 课程教学 课程结构 师生 教材内容 机械制图课 《机械制图》课

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发散点光源照明下的零位光栅的设计

10

作者 邬玉亭 胡玉禧 储伟 《工具技术》 北大核心 1994年第12期41-43,共3页

本文推导了发散点光源照明下的零位光栅设计公式,实验证明理论计算可行。

关键词 发散点光源 零位光栅 光通比 计量光栅

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一种自动灭火枪系统的研究 被引量：1

11

作者 秦俊 廖光煊 +3 位作者 王喜世 邬玉亭 徐琼 弓岱伟 《火灾科学》 CSCD 2000年第3期59-64,共6页

以单片机作为核心控制器件 ,集成了火焰自动探测、定位、报警及扑救等功能。火焰识别和定位 ,使用了抗干扰能力较强的双紫外探头 ,能够较准确地确定火焰的方向和距离 ;设有一级和二级火灾报警 ;使用由电磁阀控制的喷射器 ,可以使用包括... 以单片机作为核心控制器件 ,集成了火焰自动探测、定位、报警及扑救等功能。火焰识别和定位 ,使用了抗干扰能力较强的双紫外探头 ,能够较准确地确定火焰的方向和距离 ;设有一级和二级火灾报警 ;使用由电磁阀控制的喷射器 ,可以使用包括水在内的多种灭火剂扑灭火焰 ; 展开更多

关键词 火焰探测 自动定位 自动扑救 灭火枪系统 消防

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反射光学式位移检测系统 被引量：1

12

作者 邬玉亭 胡玉禧 《光电工程》 EI CAS CSCD 1993年第4期51-55,共5页

系统由半导体激光器、聚焦镜头、反射式标尺光栅、四裂相指示光栅和光电接收元件组成。该系统具有光学两倍频作用和大光栅副间隙下使用及间隙对莫尔条纹信号调制度不敏感等特点,并且整体结构分离式、小型化和轻型化,在各类精密测量装置... 系统由半导体激光器、聚焦镜头、反射式标尺光栅、四裂相指示光栅和光电接收元件组成。该系统具有光学两倍频作用和大光栅副间隙下使用及间隙对莫尔条纹信号调制度不敏感等特点,并且整体结构分离式、小型化和轻型化,在各类精密测量装置和精密加工仪器中将得到越来越广泛的应用。本文介绍这种反射光学式位移检测系统的结构原理,系统特点和应用。 展开更多

关键词 位移测量仪器 反射测量术 激光测量

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用发散点光源照明实现计量光栅高倍光学倍频 被引量：1

13

作者 邬玉亭 胡玉禧 《工具技术》 北大核心 1993年第3期39-41,共3页

本文根据Talbot成像公式推导出计量光栅在发散光照明下,距光栅出射面不同距离处的光强分布及光学倍频率,分析了影响系统精度的因素。

关键词 发射点光源 光学倍频 计量光栅

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声表面波直线型电机小型化的研究

14

作者 熊瑛 邬玉亭 褚家如 《机械制造》 北大核心 2004年第3期42-44,共3页

随着微机电系统(MEMS)和声表面波技术的不断发展,设计和制造小型(微型)声表面波直线型电机成为必然的趋势。文章介绍了一种以铌酸锂/石英/硅层状结构作为压电基片,可以加工出体积足够小、理论上行程不受限制、实现二维运动的新样式电机。

关键词 机电耦合系数 压电材料 声表面波 直线电机 微机电系统

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容栅测角数显仪的研制

15

作者 胡跃全 刘荣进 邬玉亭 《现代科学仪器》 1996年第3期37-38,共2页

本文介绍了容栅传感器测量位移的工作原理及其研究应用发展概况，并给出了分辨率为1’的容栅测角数显仪的具体设计。

关键词 容栅传感器 鉴相 测角 数显 位移测量仪

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平行弹性铰支微动台的设计

16

作者 邬玉亭 劳创海 《机械设计与制造》 2001年第4期58-59,共2页

介绍了平行弹性铰支二维、三维微动台的形成原理、设计方法，讨论了影响它们精度的因素，以及静态特性。

关键词 平行弹性铰支 微动台 连杆机构 固定端 驱动端 位移端 设计

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光纤定位单元粗跑合阶段的故障分析与处理

17

作者 干方建 邬玉亭 胡红专 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期641-646,共6页

针对光纤定位单元在粗跑合阶段的故障现象,分析故障产生机理,研究并提出了故障排除方法和手段.结合该阶段光纤定位单元的运行特点,建立光纤定位单元的故障树,还根据故障树来评价各零部件的故障状态及其对保证系统可靠性、安全性的重要程度.

关键词 光纤定位单元 跑合 故障机理 故障树

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并行双回转光纤单元跑合过程中爬行现象浅析

18

作者 杨景超 邬玉亭 +2 位作者 干方建 胡红专 李刚 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 2007年第6期647-652,共6页

并行双回转的爬行现象对高精度光纤定位是十分不利的.为了克服这种爬行现象,首先从动力学角度建立光纤爬行的动力学模型,论证了光纤爬行的实质是一种复杂的摩擦自激振动现象,然后结合实际跑合过程,从机械学的角度进一步分析获得传动齿... 并行双回转的爬行现象对高精度光纤定位是十分不利的.为了克服这种爬行现象,首先从动力学角度建立光纤爬行的动力学模型,论证了光纤爬行的实质是一种复杂的摩擦自激振动现象,然后结合实际跑合过程,从机械学的角度进一步分析获得传动齿轮安装偏斜、中心轴支撑同心不良、中心零定位弹簧片安装过紧和偏心消隙弹簧不能正常储能、释能是导致光纤爬行的根本原因,并对此提出了一些可行的解决措施,收到了良好的效果. 展开更多

关键词 爬行 并行双回转光纤 跑合

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塔尔波特效应在光栅计量中的应用

19

作者 胡玉禧 邬玉亭 《计量技术》 1995年第8期2-4,共3页

本文根据塔尔波特（Ｔａｌｂｏｔ）成像公式，计算当单色球面波照射光栅时，离光栅不同距离处的光强分布和调制度。讨论光栅付间隙对莫尔条纹信号的不灵敏性和光学倍频。并介绍几种新颖光栅光学系统。

关键词 塔尔波特效应 光栅 计量

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碰撞锁模脉冲激光器研究

20

作者 张树葵 文国庆 +2 位作者 周丕璋 邬玉亭 满永在 《强激光与粒子束》 EI CAS CSCD 1995年第3期472-474,共3页

简要介绍一台环形腔飞秒超短脉冲激光器，给出了有关结构参数及实验结果，并对实验研究中的一些现象进行了讨论。

关键词 激光锁模 超短脉冲激光 激光器

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