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976nm高效率半导体激光器 被引量:5
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作者 安振峰 林琳 +4 位作者 徐会武 陈宏泰 王晶 位永平 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2011年第5期345-347,共3页
976 nm高效率半导体激光器是这几年研究的热点,在固体激光器泵浦领域有广阔的应用。通过优化半导体激光器材料外延结构中包覆层和波导层的铝组分,降低了工作电压;通过采用微通道水冷系统,并进行优化降低了热阻,从而提高了室温下的电光... 976 nm高效率半导体激光器是这几年研究的热点,在固体激光器泵浦领域有广阔的应用。通过优化半导体激光器材料外延结构中包覆层和波导层的铝组分,降低了工作电压;通过采用微通道水冷系统,并进行优化降低了热阻,从而提高了室温下的电光转换效率。25℃室温连续测试条件下,1 cm的线阵列(巴条),2 mm腔长,50%填充因子,在110 A下,出光功率为114.2 W,电压为1.46 V,电光转换效率为71%。15条微通道封装成的垂直叠阵,进行光束整形后,获得了室温976 nm连续输出功率1 500 W,电光转换效率大于70%。 展开更多
关键词 高效率 半导体激光器 976nm 金属有机化合物化学气相淀积(MOCVD) 线阵列
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高工作温度抽运用大功率激光二极管研究 被引量:5
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作者 陈宏泰 +4 位作者 徐会武 张世祖 林琳 任永学 安振峰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 2010年第11期2799-2802,共4页
理论分析了工作温度对大功率激光二极管的工作波长、电光效率和器件寿命等的影响,采用波长补偿、高特征温度无铝材料设计外延和一体化烧焊等技术,设计制作了808 nm准连续波(QCW)高温激光器阵列。在热沉温度70℃的工作条件下,80 A单条... 理论分析了工作温度对大功率激光二极管的工作波长、电光效率和器件寿命等的影响,采用波长补偿、高特征温度无铝材料设计外延和一体化烧焊等技术,设计制作了808 nm准连续波(QCW)高温激光器阵列。在热沉温度70℃的工作条件下,80 A单条输出功率大于65 W,20℃-70℃范围内特征温度T0达到145 K。10叠层阵列电光效率达到53%,工作寿命大于109次脉冲。 展开更多
关键词 激光器 大功率激光二极管 高工作温度 特征温度 一体化烧焊
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高效率976nm激光器材料 被引量:5
3
作者 田秀伟 陈宏泰 +8 位作者 林琳 王晶 张世祖 徐会武 刘会民 王晓燕 杨红伟 安振峰 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第1期29-32,共4页
使用自洽二维数字模拟软件优化半导体激光器的外延结构,对GaInAs/AlGaAs分别限制压应变单量子阱结构进行了模拟,研究了包层和波导层的Al组分对工作电压的影响。根据模拟结果,采用金属有机化学淀积(MOCVD)技术,外延生长了单量子阱976nm... 使用自洽二维数字模拟软件优化半导体激光器的外延结构,对GaInAs/AlGaAs分别限制压应变单量子阱结构进行了模拟,研究了包层和波导层的Al组分对工作电压的影响。根据模拟结果,采用金属有机化学淀积(MOCVD)技术,外延生长了单量子阱976nm激光器材料。利用该材料制作成2mm腔长的连续(CW)单管器件,采用C-mount载体标准封装,并进行了测试。测试结果表明,模拟与实验的结论一致,降低优化包层和波导层的Al组分可以减小工作电压,从而提高了976nm半导体激光器的转换效率。室温下,当工作电流为500A/cm2时,包层和波导层Al组分分别为0.35和0.15时,激光器的工作电压降低为1.63V,使得电光转换效率达到67%。 展开更多
关键词 金属有机化学淀积 压应变 转换效率 自洽二维数字模拟 工作电压 AL组分
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大功率900nm超大光腔三叠层隧道级联激光器 被引量:5
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作者 宁吉丰 +3 位作者 张宇 赵润 任永学 陈宏泰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2014年第6期423-427,共5页
研制了一款大功率900 nm超大光腔三叠层隧道级联激光器。针对高功率900 nm隧道级联激光器存在的光学灾变损伤(COD)和工作电压高等问题,通过Lastip软件和波导模拟软件,设计并优化了900 nm超大光腔三叠层隧道级联激光器的材料结构。对比... 研制了一款大功率900 nm超大光腔三叠层隧道级联激光器。针对高功率900 nm隧道级联激光器存在的光学灾变损伤(COD)和工作电压高等问题,通过Lastip软件和波导模拟软件,设计并优化了900 nm超大光腔三叠层隧道级联激光器的材料结构。对比扩展波导激光器结构的性能,超大光腔结构提高了三叠层隧道级联激光器输出光功率,降低了工作电压。采用金属有机化学气相淀积(MOCVD)方法生长了900 nm三叠层隧道级联激光器材料,并制作成条宽200μm、腔长800μm的激光器芯片,采用金属管壳封装制成激光器单管。测试结果表明,室温下,在频率10 kHz、脉宽100 ns、工作电流30 A时,器件输出功率约85 W,室温条件下器件老化595 h,输出功率基本不降低。 展开更多
关键词 超大光腔 大功率 900nm 半导体激光器 金属有机化学气相沉积(MOCVD) 隧道结
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900nm三叠层隧道级联激光器的结构优化研究 被引量:4
5
作者 林琳 陈宏泰 +2 位作者 安志民 王晶 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2010年第7期397-400,共4页
采用金属有机化合物气相淀积方法生长了900nm的三叠层隧道级联激光器。针对隧道级联激光器存在工作电压高、材料各层的光场耦合等问题,分别采用δ掺杂、扩展波导等技术对激光器结构进行了优化,并通过模拟计算对隧道结耗尽区宽度进行了... 采用金属有机化合物气相淀积方法生长了900nm的三叠层隧道级联激光器。针对隧道级联激光器存在工作电压高、材料各层的光场耦合等问题,分别采用δ掺杂、扩展波导等技术对激光器结构进行了优化,并通过模拟计算对隧道结耗尽区宽度进行了优化。通过优化隧道结δ掺杂的生长条件,得到n+GaAs的掺杂浓度大于1×1019/cm3,使工作电压下降1V;通过采用扩展波导,使垂直发散角由常规结构的35°减小到20°。将900nm的三叠层隧道级联激光器制作成条宽300μm、腔长800μm的条形激光器,采用同轴封装形式,在20A的脉冲工作电流下,输出功率达到55W,斜率效率达到2.9W/A,以上指标是普通激光器的3倍。 展开更多
关键词 三叠层 隧道结 半导体激光器 扩展波导 金属有机化合物气相淀积 结构优化 Δ掺杂
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1550 nm波段外腔窄线宽激光器增益芯片
6
作者 武艳青 +2 位作者 王英顺 李松松 刘牧荑 《半导体技术》 CAS 北大核心 2023年第4期301-307,352,共8页
针对外腔窄线宽激光器应用设计了一款半导体增益芯片,分析了斜率效率和增益谱特性,由于封装后增益峰红移会造成器件输出功率下降,指出设计中芯片的增益峰需偏离激光器激射波长。通过优化量子阱结构及材料应力,提高了芯片的斜率效率。为... 针对外腔窄线宽激光器应用设计了一款半导体增益芯片,分析了斜率效率和增益谱特性,由于封装后增益峰红移会造成器件输出功率下降,指出设计中芯片的增益峰需偏离激光器激射波长。通过优化量子阱结构及材料应力,提高了芯片的斜率效率。为了降低芯片自身法布里-珀罗(FP)腔谐振效应,采用弯曲波导配合磁控溅射四层增透膜工艺,使芯片出光端面的有效反射率明显降低,提高了窄线宽激光器输出波长的稳定性。所设计芯片采用1%压应变量子阱材料,量子阱厚度为7.5 nm,量子阱数量为3个,芯片波导与解理面法线呈6°夹角。通过半导体流片工艺完成掩埋结芯片制作,并进行窄线宽激光器封装及测试,实现了1550 nm波段高效稳定的窄线宽激光输出。 展开更多
关键词 半导体增益芯片 增益峰红移 斜率效率 增透膜 稳定输出
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一种低暗电流高响度InGaAs/InP pin光电探测器 被引量:3
7
作者 张宇 +6 位作者 宁吉丰 李洪涛 王晶 位永平 张豫黔 赵润 陈宏泰 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2014年第4期214-218,248,共6页
分析了InGaAs/InP pin光电探测器暗电流和响应度的影响因素,并对MOCVD外延工艺以及器件结构进行优化,从而提高器件响应度和降低暗电流。采用低压金属有机化学气相沉积设备(LP-MOCVD)成功制备了InGaAs/InP pin光电探测器,得到了高质量的... 分析了InGaAs/InP pin光电探测器暗电流和响应度的影响因素,并对MOCVD外延工艺以及器件结构进行优化,从而提高器件响应度和降低暗电流。采用低压金属有机化学气相沉积设备(LP-MOCVD)成功制备了InGaAs/InP pin光电探测器,得到了高质量的晶体材料,InGaAs吸收层的背景浓度低于4×1014 cm-3。利用扩Zn工艺制作出感光区直径为70μm的平面光电探测器。测量结果显示,在反偏电压为5 V时,暗电流小于0.05 nA,电容约为0.4 pF。此外,在1 310 nm激光的辐照下,器件的响应度可达0.96 A/W以上。 展开更多
关键词 INGAAS 光电探测器 暗电流 响应度 光纤通信 金属有机化学气相沉积(MOCVD)
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976nm非对称波导结构高效率半导体激光器 被引量:3
8
作者 林琳 陈宏泰 +3 位作者 徐会武 王晶 位永平 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第5期281-285,297,共6页
对976 nm激光器的三种非对称波导结构,即非对称直波导结构、非对称渐变波导结构和非对称梯形波导结构进行了基模光场和折射率分布的模拟,通过与对称波导结构的模拟结果进行对比,得到非对称直波导结构和非对称梯形波导结构的量子阱限制... 对976 nm激光器的三种非对称波导结构,即非对称直波导结构、非对称渐变波导结构和非对称梯形波导结构进行了基模光场和折射率分布的模拟,通过与对称波导结构的模拟结果进行对比,得到非对称直波导结构和非对称梯形波导结构的量子阱限制因子ΓQW较小,这样在相同量子阱厚度dQW下,dQW/ΓQW的值较大,可获得较大的光点尺寸,改善出光功率。将四种结构制作成2 mm腔长的1 cm巴条,在25℃室温连续测试和110 A的条件下,其中以非对称直波导结构电压最低为1.45 V,电光转换效率最高达到70%。对非对称直波导结构、非对称渐变波导结构和对称渐变波导结构进行内部参数提取,结果表明内量子效率基本一致,内损耗均小于1 cm-1。 展开更多
关键词 非对称波导 高效率 976nm 半导体激光器 金属有机化学气相沉积(MOCVD)
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均匀光栅DFB激光器光电特性研究 被引量:2
9
作者 赵润 张晓光 +1 位作者 曹晨涛 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第2期119-123,共5页
光栅结构的设计和制作直接决定了分布反馈(DFB)半导体激光器光电特性的优劣。采用传输矩阵法模拟了不同光栅耦合因子下随机相位对均匀光栅DFB芯片特性的影响,获得了芯片的光电参数分布。通过分析耦合因子对芯片光电参数分布的影响,提... 光栅结构的设计和制作直接决定了分布反馈(DFB)半导体激光器光电特性的优劣。采用传输矩阵法模拟了不同光栅耦合因子下随机相位对均匀光栅DFB芯片特性的影响,获得了芯片的光电参数分布。通过分析耦合因子对芯片光电参数分布的影响,提高了DFB芯片的成品率。设计并制备了基于Al Ga In As材料体系的脊波导DFB激光器,最终使芯片双峰比例仅为7.7%、成品率达到60%。对合格品在-40~105℃下的P-I特性和在-40~85℃下的光谱进行了测试,结果表明芯片性能优良,芯片远场发散角为25°和21°。芯片的小信号频带响应和眼图测试结果表明芯片完全满足2.5 Gbit/s的应用要求。 展开更多
关键词 分布反馈半导体激光器(DFB-LD) 光栅 耦合因子 成品率 边模抑制比(SMSR)
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基于MOCVD生长材料的高电流密度太赫兹共振隧穿二极管 被引量:2
10
作者 梁士雄 +5 位作者 张立森 顾国栋 郝文嘉 杨大宝 陈宏泰 冯志红 《电子技术应用》 2019年第8期32-33,39,共3页
为获得高功率的太赫兹共振隧穿器件,优化设计了AlAs/InGaAs/AlAs共振遂穿二极管材料结构,在国内首次采用MOCVD设备在半绝缘InP单晶片上生长了RTD外延材料。利用接触光刻工艺和空气桥搭接技术,制作了InP基共振遂穿二极管器件。并在室温... 为获得高功率的太赫兹共振隧穿器件,优化设计了AlAs/InGaAs/AlAs共振遂穿二极管材料结构,在国内首次采用MOCVD设备在半绝缘InP单晶片上生长了RTD外延材料。利用接触光刻工艺和空气桥搭接技术,制作了InP基共振遂穿二极管器件。并在室温下测试了器件的电学特性:峰值电流密度>400kA/cm2,峰谷电流比(PVCR)>2.4。 展开更多
关键词 共振隧穿二极管 峰值电流密度 峰谷电流比
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低阈值980nm单模半导体激光器 被引量:2
11
作者 赵润 宁吉丰 +2 位作者 蒋红旺 陈宏泰 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第3期210-214,共5页
通过数值模拟和实验手段相结合的方法,优化了980 nm单模半导体激光器结构。给出了一种通过计算脊波导单模激光器的光场和电流场的匹配关系来预测芯片阈值电流变化规律的方法。采用金属有机物化学气相淀积方法生长了带有腐蚀停止层的Al G... 通过数值模拟和实验手段相结合的方法,优化了980 nm单模半导体激光器结构。给出了一种通过计算脊波导单模激光器的光场和电流场的匹配关系来预测芯片阈值电流变化规律的方法。采用金属有机物化学气相淀积方法生长了带有腐蚀停止层的Al Ga As/In Ga As量子阱结构激光二极管外延片,通过腐蚀停止层实现了对芯片脊波导深度的精确控制,芯片的一致性显著提高。980 nm单模半导体激光器芯片的阈值电流为11 m A,在注入电流为100 m A条件下,其光功率为93 m W,快慢轴方向远场发散角分别为40°和8°。 展开更多
关键词 激光二极管 单模 脊波导 腐蚀停止层 金属有机物化学气相淀积(MOCVD)
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SiO_(2)湿法腐蚀速率分析和形貌控制 被引量:1
12
作者 武艳青 张奇 +3 位作者 于峰涛 姚文港 董风鑫 《电子工艺技术》 2021年第6期334-337,共4页
制备SiO_(2)腐蚀溶液BOE,对SiO_(2)湿法腐蚀速率和腐蚀形貌进行了剖析。首先分析了光刻工艺对SiO_(2)薄膜纵向和横向腐蚀速率以及侧壁腐蚀形貌的影响,其次对SiO_(2)侧壁腐蚀形貌的形成原理进行分析,并给出了侧壁形貌控制方法。试验结果... 制备SiO_(2)腐蚀溶液BOE,对SiO_(2)湿法腐蚀速率和腐蚀形貌进行了剖析。首先分析了光刻工艺对SiO_(2)薄膜纵向和横向腐蚀速率以及侧壁腐蚀形貌的影响,其次对SiO_(2)侧壁腐蚀形貌的形成原理进行分析,并给出了侧壁形貌控制方法。试验结果表明,光刻胶掩模与SiO_(2)膜层之间的附着性随前烘温度和前烘时间的增加而增强,而介质横向腐蚀速率随附着性的增强而下降,同时纵向腐蚀速率保持恒定。分析了造成侧壁陡直性差的原因,并通过对腐蚀原理分析给出了控制SiO_(2)侧壁腐蚀形貌的方法。 展开更多
关键词 SiO_(2)薄膜 BOE腐蚀液 湿法腐蚀 腐蚀速率 腐蚀形貌
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1.3μm AlGaInAs/InP量子阱激光器材料研究 被引量:1
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作者 陈宏泰 +6 位作者 张宇 赵润 杨红伟 余般梅 王晶 位永平 林琳 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2013年第4期220-223,共4页
设计制作了适用于无致冷工作的通讯用1.3μm量子阱激光器材料,并制作成单模芯片进行特性分析研究。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺生长了AlGaInAs/InP应变补偿量子阱材料,采用此外延材料制作的脊宽为2.5μm脊形波导结构FP单模激... 设计制作了适用于无致冷工作的通讯用1.3μm量子阱激光器材料,并制作成单模芯片进行特性分析研究。采用金属有机化学气相沉积(MOCVD)工艺生长了AlGaInAs/InP应变补偿量子阱材料,采用此外延材料制作的脊宽为2.5μm脊形波导结构FP单模激光器芯片,解理为250,500和750μm不同腔长,进行了内部参数提取,内量子效率ηi为76%、内损耗αi为7.06/cm、模式增益Γg0为81.90/cm、透明电流密度Jtr为1 045 A/cm2。对250μm腔长管芯镀膜,进行电光特性测试,室温性能指标为:阈值电流Ith<10 mA,斜率效率η=0.6 W/A,达到国际同类产品水平,实现1.3μm FP材料国产化。 展开更多
关键词 1 3 μm FP激光器材料 无致冷 ALGAINAS INP MOCVD
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(FexCo1-x)73.5Cu1Nb3Si13.5B9合金高温磁性的研究 被引量:1
14
作者 王治 张鹏 +3 位作者 张东须 韩叶梅 欧阳宁 《功能材料》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第A03期957-959,共3页
研究了460~640℃等温退火后纳米晶(FexCo1-x)73.5Cu1Nb3Si13.5B9(x=0.5,1)合金的初始磁导率麒随温度变化。与双相纳米晶Fe73.5Nb3Si13.5B9合金相比,(Fe0.5Co0.5)73.5Cu1Nb3Si13.5B9合金室温下的磁导率降低,但晶化相和非晶相... 研究了460~640℃等温退火后纳米晶(FexCo1-x)73.5Cu1Nb3Si13.5B9(x=0.5,1)合金的初始磁导率麒随温度变化。与双相纳米晶Fe73.5Nb3Si13.5B9合金相比,(Fe0.5Co0.5)73.5Cu1Nb3Si13.5B9合金室温下的磁导率降低,但晶化相和非晶相居里温度明显升高,并显著提高了合金在高温下的软磁性能。初步探讨了改善纳米晶合金高温磁性的机理。 展开更多
关键词 纳米晶合金 初始磁导率 高温磁性
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808nm高效率激光二极管 被引量:1
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作者 陈宏泰 +9 位作者 林琳 位永平 王晶 黄科 张世祖 徐会武 王晓燕 杨红伟 安振峰 花吉珍 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2011年第7期418-421,共4页
目前808nm高效率激光二极管产品的转换效率只有50%左右,还有很大的提升空间。通过提高欧姆接触层浓度、界面渐变和波导层掺杂等方面的外延材料结构优化,减小附加电压和电阻值,设计制作了808nm大光腔应变量子阱外延材料;并制作了200μm... 目前808nm高效率激光二极管产品的转换效率只有50%左右,还有很大的提升空间。通过提高欧姆接触层浓度、界面渐变和波导层掺杂等方面的外延材料结构优化,减小附加电压和电阻值,设计制作了808nm大光腔应变量子阱外延材料;并制作了200μm发光区标准单管,提取了材料内部参数,材料内损耗iα为0.67cm-1,内量子效率iη为0.88;将圆片解理成2mm腔长的巴条进行腔面镀膜,并烧结成标准单管,25℃下单管电光效率达到61.1%;将巴条烧结到微通道载体上,制作成标准微通道水冷单条阵列,水温15℃110A下输出光功率126.6W,电光转换效率62.77%。 展开更多
关键词 高效率 激光二极管 808nm 金属有机化学气相沉积(MOCVD) 大光腔
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10 Gbit/s InGaAs/InP雪崩光电二极管 被引量:1
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作者 尹顺政 郝文嘉 +4 位作者 张宇 于浩 李庆伟 赵润 《半导体技术》 CSCD 北大核心 2017年第7期516-520,共5页
基于InGaAs/InP吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(SAGCM APD)器件结构,利用数值计算方法,模拟了各层参数对器件频率响应特性的影响。模拟结果表明,吸收层、倍增层厚度及电荷层面电荷密度可影响器件的-3dB带宽;随增益... 基于InGaAs/InP吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(SAGCM APD)器件结构,利用数值计算方法,模拟了各层参数对器件频率响应特性的影响。模拟结果表明,吸收层、倍增层厚度及电荷层面电荷密度可影响器件的-3dB带宽;随增益的增加,器件带宽会逐渐降低;电荷层面电荷密度对器件击穿电压有明显影响。结合此模拟结果,制作出了高速InGaAs/InP雪崩光电二极管,并对器件进行了封装测试。测试结果表明,该结果与模拟结果相吻合。器件击穿电压为30V;在倍增因子为1时,器件响应度大于0.8A/W;在倍增因子为9时,器件暗电流小于10nA,-3dB带宽大于10GHz,其性能满足10Gbit/s光纤通信应用要求。 展开更多
关键词 INGAAS/INP 吸收区、渐变区、电荷区和倍增区分离雪崩光电二极管(SAGCM APD) 雪崩 频率响应 光通信
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适合低成本封装的1310nm FP半导体激光器芯片 被引量:1
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作者 张世祖 袁春生 +3 位作者 周兴婵 张坤伟 张晓光 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2015年第1期39-43,共5页
以太无源光网络(EPON)技术应用广泛,但是要求器件的出纤光功率较高。采用球透镜结合窄发散角芯片的封装方式逐渐成为主流。在有源区为基于Al Ga In As材料体系脊波导结构的1 310 nm法布里-珀罗(FP)半导体激光器中加入模式扩展结构,成功... 以太无源光网络(EPON)技术应用广泛,但是要求器件的出纤光功率较高。采用球透镜结合窄发散角芯片的封装方式逐渐成为主流。在有源区为基于Al Ga In As材料体系脊波导结构的1 310 nm法布里-珀罗(FP)半导体激光器中加入模式扩展结构,成功研制出温度特性良好、高效率、窄远场发散角的芯片。室温下芯片的阈值电流与无扩展波导结构的芯片相当,均为10 m A量级;效率达到0.6 m W/m A;远场发散角快轴为23°,慢轴为13°;85℃的阈值电流为20 m A,效率为0.55 m W/m A。该芯片可以使用低成本的晶体管外形(TO)封装技术制成,满足EPON标准的器件。 展开更多
关键词 脊波导 法布里-珀罗(FP)半导体激光器 扩展波导 窄发散角 晶体管外形(TO)封装
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10 Gbit/s-FP激光二极管芯片的设计及制备 被引量:1
18
作者 张晓光 赵润 +2 位作者 曹晨涛 李庆伟 《半导体技术》 CAS CSCD 北大核心 2016年第11期827-830,874,共5页
通过激光二极管速率方程模拟得出了优化芯片高频性能的基本途径,权衡直流特性和实际生产过程,对腔面反射率、腔长和量子阱结构进行了优化。建立激光二极管小信号等效电路模型,对芯片寄生网络进行了优化。测试了25-125℃下芯片的P-I特性... 通过激光二极管速率方程模拟得出了优化芯片高频性能的基本途径,权衡直流特性和实际生产过程,对腔面反射率、腔长和量子阱结构进行了优化。建立激光二极管小信号等效电路模型,对芯片寄生网络进行了优化。测试了25-125℃下芯片的P-I特性,25℃时芯片的阈值电流仅为7.4 m A;芯片温度为25-45℃时,特征温度为102 K;芯片温度为105-125℃时,特征温度为57 K。在25和85℃时,激光二极管在直流偏置30 m A的3 d B频带响应分别为12.8和10.4 GHz。芯片被封装为光发射次模块(TOSA)后,-40,25和85℃下的眼图均满足10 Gbit/s光通信系统的应用要求。 展开更多
关键词 10 Gbit/s 激光二极管 模型 通信 低成本
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1550nm大功率低噪声分布反馈激光器芯片设计 被引量:1
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作者 武艳青 +3 位作者 张磊 赵润 曹晨涛 董风鑫 《半导体技术》 CAS 北大核心 2021年第9期705-711,共7页
设计了一种1 550 nm波长分布反馈(DFB)激光器芯片,分析了有源区材料和波导结构对芯片参数的影响。分析了影响输出功率和相对强度噪声(RIN)的因素,并进行了实验对比。通过对芯片材料结构和波导结构的优化设计提升了芯片效率、降低了RIN;... 设计了一种1 550 nm波长分布反馈(DFB)激光器芯片,分析了有源区材料和波导结构对芯片参数的影响。分析了影响输出功率和相对强度噪声(RIN)的因素,并进行了实验对比。通过对芯片材料结构和波导结构的优化设计提升了芯片效率、降低了RIN;通过优化腔长与量子阱总增益之间的匹配参量及对光波导的优化设计,提高了芯片注入饱和点;通过提升注入水平提高了芯片输出功率。芯片测试结果显示,25℃时阈值电流为13 mA,斜率效率为0.38 W/A,输出功率为102 mW@300 mA,边模抑制比为51 dB@50 mW,RIN为-160 dB/Hz@300 mA。该芯片具备高输出功率、低RIN、低阈值电流、高斜率效率的特点。 展开更多
关键词 分布反馈(DFB) 波导结构 注入水平 高功率 低相对强度噪声(RIN)
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微通道散热大功率半导体激光器研究 被引量:1
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作者 黄科 杨红伟 +3 位作者 彭海涛 王媛媛 徐会武 《微纳电子技术》 CAS 北大核心 2009年第11期656-659,共4页
基于GaInAs/AlGaAs应变量子阱大光腔结构激光器芯片和无氧铜微通道热沉,采用In焊料烧结工艺,制作了976nm大功率连续激光器单条。在20℃热沉冷却条件下,输入电流110A时,输出功率104.9W,电光转换效率达到最大值64%。输入电流300A时,输出功... 基于GaInAs/AlGaAs应变量子阱大光腔结构激光器芯片和无氧铜微通道热沉,采用In焊料烧结工艺,制作了976nm大功率连续激光器单条。在20℃热沉冷却条件下,输入电流110A时,输出功率104.9W,电光转换效率达到最大值64%。输入电流300A时,输出功率276.6W,电光转换效率达到54.2%。对激光器单条的热阻以及特征温度进行了测试分析,根据分析结果模拟了激光器单条在大电流下的输出特性,模拟结果显示热饱和是限制激光器最大输出功率的原因。因此,为了提高大功率激光器的输出功率,需要进一步提高激光器的特征温度,并降低热阻以改善散热情况。 展开更多
关键词 大功率半导体激光器 大光腔结构 微通道热沉 电光转换效率 热阻 特征温度
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