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静电喷射法在柔性衬底上制备二氧化钛薄膜 被引量:2
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作者 吴杨慧 倪代红 +2 位作者 易武明 顾文华 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2016年第20期1074-1078,共5页
在前驱体溶液的流速为60μL/min的条件下,使用静电喷射技术在铝箔上制备出了具有良好平整度和均匀性的二氧化钛薄膜。薄膜的沉积速率为2μm/min。退火后的二氧化钛薄膜为单晶锐钛矿结构,在承受多次折叠之后没有任何裂缝或脱落。以... 在前驱体溶液的流速为60μL/min的条件下,使用静电喷射技术在铝箔上制备出了具有良好平整度和均匀性的二氧化钛薄膜。薄膜的沉积速率为2μm/min。退火后的二氧化钛薄膜为单晶锐钛矿结构,在承受多次折叠之后没有任何裂缝或脱落。以此方法在载玻片上制得二氧化钛薄膜,用分光光度计测量了其400~1100nm波长范围内的透光率,并与空白载玻片进行比较,得出此二氧化钛薄膜的透光率约为95%。原子力显微镜分析显示,薄膜的平整度达到99%。3M胶带测试结果表明,铝箔上的二氧化钛薄膜具有很好的附着力。这种镀膜方法有望用于生产大面积薄膜,在未来的工业应用中有较好的发展前景。 展开更多
关键词 二氧化钛 薄膜 铝箔 静电喷射 透光率 附着力
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双喷头静电喷射法制备光滑且致密的二氧化硅薄膜 被引量:1
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作者 吴杨慧 +1 位作者 蒋锦虎 顾文华 《电镀与涂饰》 CAS CSCD 北大核心 2018年第7期306-309,共4页
采用静电喷射法,用一个喷头喷洒四乙氧基硅烷(TEOS)与乙醇(Et OH)的混合溶液[n(TEOS)∶n(Et OH)=1.00∶19.00],另一个喷头喷洒乙醇、去离子水以及氨水(NH_3·H_2O)的混合溶液[n(Et OH)∶n(H_2O)∶n(NH_3·H_2O)=19.00∶0.90∶1.... 采用静电喷射法,用一个喷头喷洒四乙氧基硅烷(TEOS)与乙醇(Et OH)的混合溶液[n(TEOS)∶n(Et OH)=1.00∶19.00],另一个喷头喷洒乙醇、去离子水以及氨水(NH_3·H_2O)的混合溶液[n(Et OH)∶n(H_2O)∶n(NH_3·H_2O)=19.00∶0.90∶1.64],在溶液流速为60μL/min,喷头与基底之间的距离为10 cm,电压为12 k V的条件下喷洒1 min,在玻璃基底表面反应形成了光滑、致密的二氧化硅薄膜。采用扫描电镜与原子力显微镜对所得薄膜进行了表征。相比于使用单一喷头喷射前驱体溶液[n(TEOS)∶n(Et OH)∶n(H_2O)∶n(NH_3·H_2O)=1.00∶38.00∶0.90∶1.64]的传统方法,使用双喷头可以有效避免前驱体溶液在喷射前就生成二氧化硅小颗粒,从而提高了薄膜质量。通过考察基底温度对二氧化硅晶体生长的影响,发现薄膜的形成有明显的分形特征。 展开更多
关键词 二氧化硅 薄膜 静电喷射 喷头 晶体结构 分形生长
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