应用微分电磁理论研究软X光衍射光栅 被引量：2

1

作者 袁利祥 范正修 殷功杰 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第2期136-140,共5页

微分法是软Ｘ光波段唯一精确计算衍射光栅效率的电磁理论。应用这种理论成功地设计出带有位相光栅的软互光激光反射输出镜，计算出可能的实验误差。对微分理论的数值结果和精度进行了分析和讨论。

关键词 X光光栅 微分理论 X激光输出镜

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簿膜结构分析中的低角X射线衍射方法 被引量：5

2

作者 邵建达 范正修 +1 位作者 殷功杰 袁利祥 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第6期958-965,共8页

利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角Ｘ射线衍射谱中出现的一系列现象，导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式，对多层膜的低角Ｘ射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释，并对低角Ｘ射线衍... 利用带折射修正的布喇格衍射定律和薄膜光学理论分析了低角Ｘ射线衍射谱中出现的一系列现象，导出了多层膜周期厚度和周期中不同材料间的配比率的计算公式，对多层膜的低角Ｘ射线衍射谱中主峰间的次峰现象作出了解释，并对低角Ｘ射线衍射测量单层膜厚度进行分析，给出了精确的测厚公式。 展开更多

关键词 薄膜 结构分析 X射线衍射

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W／C超薄多层膜的制备及其结构与光学特性分析 被引量：5

3

作者 邵建达 范正修 +2 位作者 殷功杰 易葵 袁利祥 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1994年第12期2016-2022,共7页

利用平面磁控溅射技术，制备了Ｗ／Ｃ超薄多层膜样品。低角Ｘ射线衍射测试、透射电子显微镜显微剖面分析给出了该样品的结构参数，由这些结构参数模拟给出的光学特性与实测的１．４７ｎｍ的绝对反射率角谱有较一致的表现。

关键词 磁控溅射 W/C多层模 薄膜 制备 光学特性

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45°角入射的13.1nm软X射线多层膜的研制 被引量：4

4

作者 邵建达 易葵 +2 位作者 范正修 王润文 袁利祥 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第6期565-569,共5页

报道了对４５°入射角高反的１３．１ｎｍ软Ｘ射线多层膜反射镜的研制情况。利用在星光装置中进行的软Ｘ射线激光等离子体实验测量多层膜反射率的方法，获得了２６．２％的实测反射率，该反射率已达到理论反射率的７０％。

关键词 软X射线多层膜 反射率 反射率测量

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软X激光反射输出镜的近似理论设计 被引量：3

5

作者 袁利祥 范正修 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1993年第5期356-361,共6页

本文采用标量区近似理论设计软X激光反射输出镜,分析其衍射特性,对影响输出效率的因素进行了讨论和分析。

关键词 光栅 多层膜 近似理论 X射线激光器

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不连续金属薄膜对短波长软X射线多层膜反射特性的影响 被引量：3

6

作者 邵建达 易葵 +2 位作者 范正修 王润文 袁利祥 《中国激光》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第4期309-312,共4页

讨论了不连续金属薄膜对软Ｘ射线多层膜反射特性的影响。给出了理论模型，具体计算了在短波段的软Ｘ射线多层膜反射率与不连续金属岛状膜在基底表面覆盖率之间的关系，修正了文献中的评估方法。

关键词 软X射线多层膜 不连续金属薄膜 反射率

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亚微米光栅周期的软X射线多层膜光栅的衍射效率研究 被引量：4

7

作者 袁利祥 范正修 +7 位作者 殷功杰 邵建达 易葵 崔明启 刘丽冰 缪建伟 陈光辉 沈孝良 《物理学报》 SCIE EI CAS CSCD 北大核心 1995年第2期184-188,共5页

简要叙述软x射线多层膜位相光栅的理论设计、实验制备,详细给出了在北京同步辐射装置3B1束线上对多层膜位相光栅衍射效率的测试,以及对测试结果的分析,并与理论值进行了比较.

关键词 软X射线 多层膜光栅 衍射效率 亚微米周期

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0．154nmCuKα射线作用下多层膜矩形光栅组合结构的特性研究 被引量：1

8

作者 袁利祥 范正修 +2 位作者 易葵 陈国萍 王润文 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1996年第2期201-206,共6页

在矩形光栅上镀制软Ｘ射线多层膜，得到多层膜光栅组合式结构。报道用ＣｕＫα线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用Ｘ射线运动学理论进行了理论分析，得到两个衍射条件，分别对应于决定衍射角的光栅方程和决定多层膜峰值的布拉... 在矩形光栅上镀制软Ｘ射线多层膜，得到多层膜光栅组合式结构。报道用ＣｕＫα线小角度对多层膜光栅的衍射特性研究结果。用Ｘ射线运动学理论进行了理论分析，得到两个衍射条件，分别对应于决定衍射角的光栅方程和决定多层膜峰值的布拉格定理，发现光栅级效率受多层膜反射调制。对镜面反射扫描、样品扫描、探测器扫描不同情况下各衍射峰峰位和强度的实验值和理论进行了比较，两者符合得很好。 展开更多

关键词 多层膜 光栅 衍射特性 软X射线

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软X射线多层膜分束镜的研制

9

作者 易葵 邵建达 +1 位作者 范正修 袁利祥 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1999年第3期398-401,共4页

介绍了软Ｘ射线多层膜分束镜的制备，采用腐蚀基底法和氯化钠脱膜分离法制备且获得了大面积的Ｍｏ／Ｓｉ多层膜分束镜．

关键词 软X射线 多层膜 分束镜 腐蚀 脱膜 激光器

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四靶双离子束溅射仪制备软X光衍射色散元件

10

作者 袁利祥 崔明启 《薄膜科学与技术》 1995年第1期61-66,共6页

用四靶双离子束溅射仪一体化制备软Ｘ光衍射色散元件，宽束平行离子源刻蚀光栅，宽束聚焦离子源镀制软Ｘ光多层膜，经ＳＥＭ、ＴＥＭ、ＦＣ数字化图像处理和效率测试等测试手段分析，结果表明所制备器件具有良好的结构和衍射特性。

关键词 离子束溅射 软X光 色散元件 衍射

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软X射线衍射色散元件

11

作者 袁利祥 范正修 +2 位作者 殷功杰 崔明启 沈孝良 《量子电子学》 CSCD 1994年第2期88-89,共2页

软Ｘ射线衍射色散元件袁利祥，范正修，殷功杰（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海２０１８００）崔明启（中国科学院高能物理研究所，北京１０００３９）沈孝良（复旦大学分析测试中心，上海２００４３３）纳米量级的多层膜沉积... 软Ｘ射线衍射色散元件袁利祥，范正修，殷功杰（中国科学院上海光学精密机械研究所，上海２０１８００）崔明启（中国科学院高能物理研究所，北京１０００３９）沈孝良（复旦大学分析测试中心，上海２００４３３）纳米量级的多层膜沉积技术和微电子制作技术的结合已使软ｘ... 展开更多

关键词 软X射线 衍射 色散元件

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二元矩形软X射线衍射光栅的标量区衍射理论

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作者 邵建达 易葵 +3 位作者 袁利祥 王明利 范正修 王润文 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1998年第1期99-102,共4页

利用标量区衍射理论分析了正交二元矩形软Ｘ射线衍射光栅的光学特性，给出了理论设计的初步结果。

关键词 衍射光栅 标量区 软X射线 正交二元光栅

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齿轮轴自动化装配系统设计

13

作者 谢伟 李文望 +2 位作者 袁利祥 王翔 蔡正明 《厦门理工学院学报》 2018年第1期25-30,共6页

为实现齿轮轴的自动装配,基于齿轮轴产品结构及相关装配工艺流程,设计了一种分度盘式12工位布局的齿轮轴自动化装配系统。该系统通过随行工装实现对工件的精准定位,采用凸轮分割器实现高精度分度,以满足齿轮轴装配精度及效率要求;针对... 为实现齿轮轴的自动装配,基于齿轮轴产品结构及相关装配工艺流程,设计了一种分度盘式12工位布局的齿轮轴自动化装配系统。该系统通过随行工装实现对工件的精准定位,采用凸轮分割器实现高精度分度,以满足齿轮轴装配精度及效率要求;针对齿轮轴尺寸规格小、装配精度要求高的特点和摩擦片易变形以及工件找位导致装配困难等特点,分别设计齿轮轴预装及自动上料机构和摩擦片机械手抓取上料以及旋转找位装置。运用该系统生产齿轮轴,不仅极大地提高生产效率,而且装配质量比传统人工装配更为可靠,为企业节省投资成本。 展开更多

关键词 齿轮轴 装配系统 摩擦片 分割器 精度

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气门芯智能装配系统的设计研究

14

作者 袁利祥 《科技创新与应用》 2020年第9期97-98,共2页

智能装配系统是自动化生产线和智能制造基本组成单元,随着智能控制技术、精细化加工技术的不断提升得到了极大的发展。气门嘴上装气门芯由于其控制难度较高,目前主要依靠人工来完成。文章设计的气门芯智能装配系统实现了选料和锁气门芯... 智能装配系统是自动化生产线和智能制造基本组成单元,随着智能控制技术、精细化加工技术的不断提升得到了极大的发展。气门嘴上装气门芯由于其控制难度较高,目前主要依靠人工来完成。文章设计的气门芯智能装配系统实现了选料和锁气门芯的自动化,并融合了检测系统对装配不良品进行分拣。采用PLC和HMI人机界面进行系统控制,机械结构设计合理。本系统的设计完成极大的提高了气门嘴上装气门芯的生产效率,并为该类系统建设提供借鉴。 展开更多

关键词 气门嘴 气门芯 智能装配 系统设计

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软X光多层膜位相型矩形光栅的实验研究及其光学特性

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作者 袁利祥 范正修 +6 位作者 殷功杰 易葵 邵建达 崔明启 刘丽冰 缪建伟 陈光辉 《光学学报》 EI CAS CSCD 北大核心 1994年第6期642-645,共4页

详细给出了软Ｘ光多层膜位相型矩形光栅的实验、分析测试结果以及在北京国家同步辐射实验室测得的光学衍射特性，井进行了分析．

关键词 软X射线 位相光栅 多层膜 衍射

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基于马蹄形的蜂鸣器装配机设计研究

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作者 袁利祥 《企业科技与发展》 2020年第4期44-45,共2页

传感器技术、人工智能和网络通信技术的发展,为产品传统装配工艺的自动化实现提供了可能。马蹄形蜂鸣器普遍规格较小,壳体涂胶、端子抓取等工艺的自动化实现难度较大。文章通过对马蹄形蜂鸣器结构和装配工艺流程的分析,将工艺流程分解... 传感器技术、人工智能和网络通信技术的发展,为产品传统装配工艺的自动化实现提供了可能。马蹄形蜂鸣器普遍规格较小,壳体涂胶、端子抓取等工艺的自动化实现难度较大。文章通过对马蹄形蜂鸣器结构和装配工艺流程的分析,将工艺流程分解为若干个工艺动作,然后针对其工艺难点进行了专门的设计。借助传感器采集装配状态信息,通过程序协调控制及各执行机构的紧密配合,实现了马蹄形蜂鸣器的高精度自动化装配。 展开更多

关键词 马蹄形蜂鸣器 装配 自动化 系统设计

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