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题名薄膜压力传感器的研究进展
被引量：19
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作者
虞沛芾
李伟
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机构
上海理工大学材料科学与工程学院
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出处
《有色金属材料与工程》
CAS
2020年第2期47-54,共8页
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基金
国家自然科学基金资助项目(51471110)。
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文摘
物联网产业的发展使传感器的研究得到越来越多的重视。薄膜压力传感器作为传感器的一个重要分支,因其优异的性能得到广泛的使用。简要地介绍了薄膜压力传感器的组成及原理,详细介绍了不同种类材料制成薄膜压力传感器的特点,重点突出了不同合金材料、半导体材料制成的传感器之间性能的差异,并为电阻层材料的选取提供参考意见。通过总结薄膜的制备方法,来阐述在薄膜压力传感器中薄膜的制备技术,总结近年在薄膜制备技术上进行的研究,最后基于近年纳米材料、微电子机械系统(micro-electro-mechanical systems,MEMS)技术、微波技术等技术的发展,结合薄膜压力传感器的研究现状,对其未来的发展进行展望。
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关键词
薄膜压力传感器
磁控溅射
制备技术
研究进展
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Keywords
thin film pressure sensor
magnetron sputtering
preparation technology
research progress
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分类号
S951.4
[农业科学—水产养殖]
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题名不同型砧对圆柱体拔长的影响研究
被引量：1
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作者
陈飞
刘丹
虞沛芾
张永
韩露
侯丁伟
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机构
太原科技大学材料科学与工程学院
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出处
《机械工程与自动化》
2017年第2期134-135,138,共3页
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文摘
基于DEFORM-3D有限元软件模拟了3种型砧的拔长过程,并对不同变形条件下工件的等效应变、动态再结晶百分数、晶粒大小以及模具载荷状况进行了比较。仿真结果显示:弧面砧能够有效增大工件整体应变、增加动态再结晶百分数,起到细化晶粒的效果,但是弧面砧拔长所受载荷较大。
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关键词
拔长
有限元
平砧
V型砧
弧面砧
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Keywords
stretching
finite element
flat anvil
V-anvil
hollow cabochon anvil
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分类号
TP391.7
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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