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非制冷红外焦平面阵列进展
被引量：
4
1
作者
何伟
焦斌斌
+3 位作者
薛
惠
琼
欧毅
陈大鹏
叶甜春
《电子工业专用设备》
2008年第5期18-23,39,共7页
非制冷红外成像技术已广泛应用于军事和民用领域,一直是人们关注的焦点之一,其核心部件是非制冷红外焦平面阵列(IRFPA:Infrared Focal Plane Array)。综述了几种具有代表性的非制冷IRFPA的探测原理、发展历史和现状。它们是:热敏电阻型...
非制冷红外成像技术已广泛应用于军事和民用领域,一直是人们关注的焦点之一,其核心部件是非制冷红外焦平面阵列(IRFPA:Infrared Focal Plane Array)。综述了几种具有代表性的非制冷IRFPA的探测原理、发展历史和现状。它们是:热敏电阻型、热释电型、热电堆型、二极管型、热-电容型非制冷IRFPA和应用光力学效应的非制冷IRFPA、基于法布里-珀罗微腔阵列的非制冷IRFPA。
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关键词
投非制冷红外成像技术
非制冷红外焦平面阵列
热敏电阻
热释电
热电堆
热-电容
光力学
法布里-珀罗微腔阵列
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职称材料
基于SOI Si片的二极管红外探测器
被引量：
4
2
作者
何伟
陈大鹏
+4 位作者
明安杰
黄卓磊
欧毅
焦斌斌
薛
惠
琼
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第9期525-529,共5页
介绍了红外热成像技术的几种技术方案,重点介绍了以二极管作为红外探测器的非制冷红外热成像技术。通过理论分析和ISE-TCAD软件模拟、采用SOISi片流片和测试,分别得到了单晶Si二极管在固定偏置电流下的电压-温度响应特性,理论分析、模...
介绍了红外热成像技术的几种技术方案,重点介绍了以二极管作为红外探测器的非制冷红外热成像技术。通过理论分析和ISE-TCAD软件模拟、采用SOISi片流片和测试,分别得到了单晶Si二极管在固定偏置电流下的电压-温度响应特性,理论分析、模拟和实测结果三者吻合很好。在1μA的偏置电流下,单个二极管的温度灵敏度分别为1.40,1.35和1.52mV/K,三者的差别主要是由于理论分析和ISE-TCAD软件模拟中没有考虑欧姆接触电阻和引线电阻等串联电阻。
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关键词
红外热成像
红外探测器
二极管
SOI
温度灵敏度
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职称材料
非制冷红外焦平面CMOS读出电路设计
被引量：
3
3
作者
薛
惠
琼
焦斌斌
+3 位作者
何伟
欧毅
陈大鹏
叶甜春
《电子工业专用设备》
2008年第5期9-13,共5页
在过去的10年里红外焦平面阵列成像技术逐渐进入了成熟期,从红外焦平面的发展背景出发,简要介绍了一种新颖的非制冷焦平面成像技术,论述了读出电路在红外焦平面信号传输中的作用并介绍了其基本框图,分析了国内外焦平面读出电路的现状,...
在过去的10年里红外焦平面阵列成像技术逐渐进入了成熟期,从红外焦平面的发展背景出发,简要介绍了一种新颖的非制冷焦平面成像技术,论述了读出电路在红外焦平面信号传输中的作用并介绍了其基本框图,分析了国内外焦平面读出电路的现状,最后提出了一些在红外焦平面阵列读出电路设计中所需要注意的问题。
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关键词
非制冷
红外焦平面
读出电路
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职称材料
非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化（英文）
被引量：
2
4
作者
张强
刘瑞文
+6 位作者
吕文龙
侯影
魏德波
刘超
薛
惠
琼
傅剑宇
王玮冰
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第9期617-624,共8页
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结...
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联＂阱＂形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。
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关键词
电压温度系数(VTC)
PN结二极管
红外焦平面阵列(IRFPA)
灵敏度
微电子机械系统(MEMS)
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职称材料
题名
非制冷红外焦平面阵列进展
被引量：
4
1
作者
何伟
焦斌斌
薛
惠
琼
欧毅
陈大鹏
叶甜春
机构
中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室
出处
《电子工业专用设备》
2008年第5期18-23,39,共7页
文摘
非制冷红外成像技术已广泛应用于军事和民用领域,一直是人们关注的焦点之一,其核心部件是非制冷红外焦平面阵列(IRFPA:Infrared Focal Plane Array)。综述了几种具有代表性的非制冷IRFPA的探测原理、发展历史和现状。它们是:热敏电阻型、热释电型、热电堆型、二极管型、热-电容型非制冷IRFPA和应用光力学效应的非制冷IRFPA、基于法布里-珀罗微腔阵列的非制冷IRFPA。
关键词
投非制冷红外成像技术
非制冷红外焦平面阵列
热敏电阻
热释电
热电堆
热-电容
光力学
法布里-珀罗微腔阵列
Keywords
Uncooled infrared imaging technology
Uncooled infrared focal plane array
Thermistor
Pyroelectric
Thermopile
Thermo-capacitor
Optomechanical
Fabry-Perot micro-cavity array
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
下载PDF
职称材料
题名
基于SOI Si片的二极管红外探测器
被引量：
4
2
作者
何伟
陈大鹏
明安杰
黄卓磊
欧毅
焦斌斌
薛
惠
琼
机构
中国科学院微电子研究所集成电路先导工艺研发中心
出处
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009年第9期525-529,共5页
基金
国家高技术研究发展计划(863计划)资助项目(2005AA404210)
国家自然科学基金资助项目(60576053)
文摘
介绍了红外热成像技术的几种技术方案,重点介绍了以二极管作为红外探测器的非制冷红外热成像技术。通过理论分析和ISE-TCAD软件模拟、采用SOISi片流片和测试,分别得到了单晶Si二极管在固定偏置电流下的电压-温度响应特性,理论分析、模拟和实测结果三者吻合很好。在1μA的偏置电流下,单个二极管的温度灵敏度分别为1.40,1.35和1.52mV/K,三者的差别主要是由于理论分析和ISE-TCAD软件模拟中没有考虑欧姆接触电阻和引线电阻等串联电阻。
关键词
红外热成像
红外探测器
二极管
SOI
温度灵敏度
Keywords
infrared thermal imaging
infrared detector
diode
SOI
temoerature sensitivitv
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
TN31
下载PDF
职称材料
题名
非制冷红外焦平面CMOS读出电路设计
被引量：
3
3
作者
薛
惠
琼
焦斌斌
何伟
欧毅
陈大鹏
叶甜春
机构
中科院微电子研究所硅器件与集成技术研究室
出处
《电子工业专用设备》
2008年第5期9-13,共5页
文摘
在过去的10年里红外焦平面阵列成像技术逐渐进入了成熟期,从红外焦平面的发展背景出发,简要介绍了一种新颖的非制冷焦平面成像技术,论述了读出电路在红外焦平面信号传输中的作用并介绍了其基本框图,分析了国内外焦平面读出电路的现状,最后提出了一些在红外焦平面阵列读出电路设计中所需要注意的问题。
关键词
非制冷
红外焦平面
读出电路
Keywords
Uncooled
Infared Focal Plane Array（IRFPA）
Readout Integrated Circuit（ROIC）
分类号
TN386.1 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化（英文）
被引量：
2
4
作者
张强
刘瑞文
吕文龙
侯影
魏德波
刘超
薛
惠
琼
傅剑宇
王玮冰
机构
中国科学院微电子研究所智能感知研究发展中心
中国科学院物联网研究发展中心
中国科学院大学
昆山光微电子有限公司
出处
《微纳电子技术》
北大核心
2018年第9期617-624,共8页
基金
National Natural Science Foundation of China(61601455,61335008)
National High-Tech R&D Program of China(863 Program)(2015AA042605)
Leading Cooperation Team Between Chinese Academy of Science and Peking University(XMXX201200019933)
文摘
灵敏度是非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列（IRFPA）的一项重要性能指标。二极管结构的电压温度系数（VTC）对灵敏度有很大的影响。分析了二极管结构的设计参数和工艺参数对其电压温度系数的影响,仿真结果表明二极管的串联个数和pn结结面积是两项重要因素。因此,设计出6个串联＂阱＂形pn结的二极管结构,并对具有该结构的热敏二极管型红外焦平面阵列进行了流片。测试结果表明,在10μA正向偏置电流下,二极管结构的电压温度系数为8.2 mV/K,单个像素的灵敏度为19.1μV/K。不同结面积结构的测试结果表明,增加结面积能有效提升二极管结构的电压温度系数和灵敏度。
关键词
电压温度系数(VTC)
PN结二极管
红外焦平面阵列(IRFPA)
灵敏度
微电子机械系统(MEMS)
Keywords
voltage temperature coefficient （VTC）
pn junction diode
infrared focal plane array（IRFPA）
sensitivity
micro-electromechanical system （MEMS）
分类号
TN215 [电子电信—物理电子学]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
非制冷红外焦平面阵列进展
何伟
焦斌斌
薛
惠
琼
欧毅
陈大鹏
叶甜春
《电子工业专用设备》
2008
4
下载PDF
职称材料
2
基于SOI Si片的二极管红外探测器
何伟
陈大鹏
明安杰
黄卓磊
欧毅
焦斌斌
薛
惠
琼
《微纳电子技术》
CAS
北大核心
2009
4
下载PDF
职称材料
3
非制冷红外焦平面CMOS读出电路设计
薛
惠
琼
焦斌斌
何伟
欧毅
陈大鹏
叶甜春
《电子工业专用设备》
2008
3
下载PDF
职称材料
4
非制冷热敏二极管型红外焦平面阵列电压温度系数的分析与优化（英文）
张强
刘瑞文
吕文龙
侯影
魏德波
刘超
薛
惠
琼
傅剑宇
王玮冰
《微纳电子技术》
北大核心
2018
2
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职称材料
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