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CT球管阳极靶盘循环加热除气装置研制
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作者 边悦 邱添 蕫银杏 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2020年第11期1085-1089,共5页
针对CT球管阳极靶盘生产企业现有靶盘加热除气设备效率低下的问题,北方华创真空技术有限公司设计了CT球管阳极靶盘循环加热除气装置。该装置配有四个相同的石英钟罩工位,各工位共享一套分子泵高真空系统,并且改进了装载工具的结构以增... 针对CT球管阳极靶盘生产企业现有靶盘加热除气设备效率低下的问题,北方华创真空技术有限公司设计了CT球管阳极靶盘循环加热除气装置。该装置配有四个相同的石英钟罩工位,各工位共享一套分子泵高真空系统,并且改进了装载工具的结构以增加单个工位中的工件数量。根据用户脱气工艺曲线的加热和冷却时间的特点,选择使用PLC驱动伺服电机来精确控制中频线圈的运动,以便中频线圈可以周期性地循环加热不同位置的工件,从而形成了紧凑的生产节拍,大大提高了生产效率,目前已获得了行业用户的广泛认可。 展开更多
关键词 CT球管 阳极靶盘 高真空系统 中频线圈 循环加热 PLC 伺服电机
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