10^(-10)Pa溅射离子泵和非蒸散型吸气剂的复合泵 被引量：12

1

作者 蒋迪奎 陈丽萍 殷立新 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期222-224,共3页

不改变商用SIP的基本结构 ,把NEG组件WP1 2 5 0装入SIP ,构成 (SIP +NEG)的XHV复合泵。它使SIP和NEG的特点互补 ,综合性能优越。NEG激活前 ,SIP单独抽气 ,极限压强 1 1× 1 0 -8Pa。NEG激活后 ,SIP和NEG联合抽气 ,复合泵的极限压... 不改变商用SIP的基本结构 ,把NEG组件WP1 2 5 0装入SIP ,构成 (SIP +NEG)的XHV复合泵。它使SIP和NEG的特点互补 ,综合性能优越。NEG激活前 ,SIP单独抽气 ,极限压强 1 1× 1 0 -8Pa。NEG激活后 ,SIP和NEG联合抽气 ,复合泵的极限压强降到 7× 1 0 -1 0 Pa ,抽速稳定的范围更广 ,标称抽速约是SIP抽速的 2 展开更多

关键词 溅射离子泵 非蒸散型吸气剂 复合泵 真空泵

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非蒸散型吸气剂(NEG)的性能特点和实际应用问题 被引量：7

2

作者 蒋迪奎 陈丽萍 《真空》 CAS 北大核心 2004年第4期88-93,共6页

根据文献和实践经验 ,综述了非蒸散型吸气剂 St70 7和 St10 1的性能特点以及

关键词 非蒸散型吸气剂 性能 St707 St101 抽气原理

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非蒸散型吸气剂对混合气体的抽气行为研究 被引量：6

3

作者 陈丽萍 蒋迪奎 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2004年第3期225-229,共5页

NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体。测试了SEAS公司的NEG组件ST70 7WP 1 2 5 0对由 80 %H2 和 2 0 %CO组成的混合气体的抽气性能 ,并和抽纯气性能进行了比较。混合气体中的NEG对H2 的抽速受CO影响 ,随H2 吸气量的增加而明显下降... NEG抽除混合气体的行为不同于抽单纯气体。测试了SEAS公司的NEG组件ST70 7WP 1 2 5 0对由 80 %H2 和 2 0 %CO组成的混合气体的抽气性能 ,并和抽纯气性能进行了比较。混合气体中的NEG对H2 的抽速受CO影响 ,随H2 吸气量的增加而明显下降。混合气体中的NEG对CO的抽速不受H2 影响。 展开更多

关键词 非蒸散型吸气剂 混合气体 抽气性能 光致解吸出气 SSRF储存环 复合泵

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多极扭摆磁铁同步辐射光的功率分布 被引量：3

4

作者 蒋迪奎 殷立新 《中国科学技术大学学报》 CAS CSCD 北大核心 1997年第4期440-444,共5页

合肥同步辐射光源（ＨＬＳ）将安装一个６Ｔ超导扭摆磁铁（Ｓ．Ｃ．Ｗｉｇｇｌｅｒ），产生硬Ｘ射线．Ｗｉｇｇｌｅｒ是第三代光源的主要部件和关键技术之一．Ｗｉｇｇｌｅｒ同步辐射光（ＷＳＲ）的功率分布是和光源储存环、光束线以及... 合肥同步辐射光源（ＨＬＳ）将安装一个６Ｔ超导扭摆磁铁（Ｓ．Ｃ．Ｗｉｇｇｌｅｒ），产生硬Ｘ射线．Ｗｉｇｇｌｅｒ是第三代光源的主要部件和关键技术之一．Ｗｉｇｇｌｅｒ同步辐射光（ＷＳＲ）的功率分布是和光源储存环、光束线以及实验站真空系统设计密切相关的问题，也是ＷＳＲ应用研究人员必须了解的问题．ＷＳＲ的功率分布和电子能量以及Ｗｉｇｇｌｅｒ磁场形态等因素有关．作者根据弯转磁铁同步辐射光（ＢＳＲ）的功率分布公式和多极Ｗｉｇｇｌｅｒ的叠加概念，推导出一系列实用性很强的公式，并在ＨＬＳ真空系统改造设计中进行了应用和验证． 展开更多

关键词 扭摆磁铁 同步辐射 功率分布

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GaAs光阴极制备装置的超高真空系统研制 被引量：6

5

作者 李小平 彭晓华 +3 位作者 张铜 王光伟 郭盘林 蒋迪奎 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2014年第11期1155-1159,共5页

研制了一套由导入室、制备室和储藏室组成的三室Load-Lock超高真空GaAs光阴极制备装置,用于中国科学院高能物理研究所自主研制的500 kV光阴极直流高压电子枪系统。在本装置中,采用溅射离子泵和非蒸散型吸气剂泵的复合方式来获取超高真空... 研制了一套由导入室、制备室和储藏室组成的三室Load-Lock超高真空GaAs光阴极制备装置,用于中国科学院高能物理研究所自主研制的500 kV光阴极直流高压电子枪系统。在本装置中,采用溅射离子泵和非蒸散型吸气剂泵的复合方式来获取超高真空,并通过磁力杆完成光阴极在各个真空室之间的传送和取放。真空测试结果显示,用钛金属材料制作的储藏室的极限真空达到3.1×10-10Pa,用不锈钢316L材料制作的制备室和导入室的极限真空分别达到4×10-9Pa和3.6×10-8Pa,三个真空室的真空指标优于设计要求。 展开更多

关键词 电子枪 GaAs光阴极 超高真空

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6T超导扭摆磁铁的特殊真空问题 被引量：3

6

作者 蒋迪奎 殷立新 《低温与超导》 CAS CSCD 北大核心 1997年第3期16-21,共6页

6T超导扭摆磁铁的低温和磁铁系统以及HLS的储存环决定了Wiggler的真空问题的特殊性。两个LHe容器使磁体准直方便，LHe补充周期长。为了减小磁间隙，采用了77K低温薄壁真空束管，束管内应达2×10—8Pa的超高真空，特殊结构和材料允... 6T超导扭摆磁铁的低温和磁铁系统以及HLS的储存环决定了Wiggler的真空问题的特殊性。两个LHe容器使磁体准直方便，LHe补充周期长。为了减小磁间隙，采用了77K低温薄壁真空束管，束管内应达2×10—8Pa的超高真空，特殊结构和材料允许来管直接通电烘烤。束管和磁体相对位置的调整简便准确。 展开更多

关键词 低温 超导扭摆磁铁 束流真空管道

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同步辐射储存环用国产溅射离子泵的发展方向 被引量：3

7

作者 蒋迪奎 殷立新 赵飞云 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1999年第4期312-320,共9页

根据真空系统运行条件，参考国内外ＳＩＰ，拟订了同步辐射储存环用国产ＳＩＰ的性能指标。结合ＳＩＰ的机理和国际测试标准，对指标作了分析说明，以期加深国内真空泵厂对改进ＳＩＰ必要性的认识，统一厂方和用户对指标的理解，在真空... 根据真空系统运行条件，参考国内外ＳＩＰ，拟订了同步辐射储存环用国产ＳＩＰ的性能指标。结合ＳＩＰ的机理和国际测试标准，对指标作了分析说明，以期加深国内真空泵厂对改进ＳＩＰ必要性的认识，统一厂方和用户对指标的理解，在真空界推行公正的竞争，促进国产ＳＩＰ质量的提高和走向国际市场。 展开更多

关键词 溅射离子泵 性能指标 同步辐射 储存环

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上海电子束离子阱低温超导磁体系统的研制 被引量：3

8

作者 王纳秀 陈永林 +9 位作者 阎和平 蒋迪奎 朱希恺 郭盘林 王福堂 丁立人 施锦 李炜 路迪 邹亚明 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2006年第3期169-173,共5页

介绍了上海电子束离子阱(Electronbeamiontrap,EBIT)装置低温超导磁体系统的研制过程和测试结果。超导磁体由一对上下布置的Helmholtz线圈组成,中心最大磁场强度可达5.3T,两线圈的峰值磁场偏差小于3×10-4T,在中心轴线上±10mm... 介绍了上海电子束离子阱(Electronbeamiontrap,EBIT)装置低温超导磁体系统的研制过程和测试结果。超导磁体由一对上下布置的Helmholtz线圈组成,中心最大磁场强度可达5.3T,两线圈的峰值磁场偏差小于3×10-4T,在中心轴线上±10mm内磁场均匀度好于2×10-4,磁场衰减率在8h内小于1×10-4。低温系统采用双冷屏结构,通过二级G-M制冷机冷却冷屏来降低液氦的蒸发量。系统液氦灌注达到平衡后,液氦的平均蒸发量为1.1L/h,基本满足了用户的要求。 展开更多

关键词 电子束离子阱 超导磁体 冷屏 G-M制冷机

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6万高斯超导 Wiggler 的研制和调束 被引量：3

9

作者 刘乃泉 张武 +12 位作者 蒋迪奎 阎和平 曹烈兆 张国栋 刘祖平 金玉明 胡守明 金正方 殷立新 曾翔 李裕熊 李贵和 何晓业 《核科学与工程》 CSCD 北大核心 1998年第4期346-350,共5页

我国第一台６万高斯超导Ｗｉｇｇｌｅｒ于１９９７年４月完成加工。经过磁场和低温参数测量，性能指标完全达到设计要求。１９９８年１月安装到合肥国家同步辐射实验室的储存环上。同年３月超导Ｗｉｇｇｌｅｒ调束成功。Ｗｉｇｇｌｅｒ... 我国第一台６万高斯超导Ｗｉｇｇｌｅｒ于１９９７年４月完成加工。经过磁场和低温参数测量，性能指标完全达到设计要求。１９９８年１月安装到合肥国家同步辐射实验室的储存环上。同年３月超导Ｗｉｇｇｌｅｒ调束成功。Ｗｉｇｇｌｅｒ磁场顺利到达６万高斯，１－３的硬Ｘ射线同步辐射光通过光束线前端到达观察窗。本文介绍这台超导Ｗｉｇｇｌｅｒ的主要性能及６万高斯超导Ｗｉｇｇｌｅｒ投入后对储存环工作点的影响和调试出束的方法。 展开更多

关键词 超导WIGGLER 同步辐射光源 储存环工作点

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同步辐射光刻光束线的真空系统 被引量：2

10

作者 蒋迪奎 李贵和 +4 位作者 刘泽文 殷立新 钱石南 阚娅 吴冠原 《真空科学与技术》 CSCD 1994年第3期174-178,共5页

第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系统要使镜箱内的压力分别小于6．7×10-8Pa（镜箱内有SR）和2．6×10-7（镜箱内无SR），以免... 第一条同步辐射光刻光束线已在合肥国家同步辐射实验室建成，并刻出了线宽0．2μm的图形。真空系统是光束线的重要组成部分。该真空系统要使镜箱内的压力分别小于6．7×10-8Pa（镜箱内有SR）和2．6×10-7（镜箱内无SR），以免暴露于SR的光学镜面遭受碳污染。一个装有可移动样品架的曝光室坐落在超净室中。曝光室内的压力约为10-4Pa。一个多级差分抽气系统实现了镜箱到曝光室的真空过渡。具有较大截面的差分管必须是良好的光通路。给出了差分抽气系统的计算公式和实验结果。描述了真空联锁系统的组成部分和功能。该光束线的功能还需扩展和提高，真空系统也有值得探讨和改进的问题。 展开更多

关键词 同步辐射 光刻 差分抽分 真空系统

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上海光源储存环真空系统 被引量：4

11

作者 蒋迪奎 陈永林 +6 位作者 陈丽萍 刘以勇 卢裕 李炜 张海鸥 文雍梅 邵斌 《真空科学与技术学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2009年第4期444-447,共4页

上海光源储存环真空系统已于2007年底建成并开始运行。这个真空系统采用了双室结构的薄壁不锈钢真空室,其尺寸公差都小于1mm,真空室安装位置公差都小于2mm;分散的吸收器有序排列在抽气室内,把同步辐射光准直并引入光束线,同时吸收废弃... 上海光源储存环真空系统已于2007年底建成并开始运行。这个真空系统采用了双室结构的薄壁不锈钢真空室,其尺寸公差都小于1mm,真空室安装位置公差都小于2mm;分散的吸收器有序排列在抽气室内,把同步辐射光准直并引入光束线,同时吸收废弃的同步辐射光,把热量转移到真空室外;波纹管内的高频屏蔽机构为单指型,避免了指间接触力和磨擦;(SIP+NEG)复合泵、SIP和TSP共用,采用合理的激活NEG泵和升华钛丝的工艺程序,提供了强大的抽速和容量。真空预调试时各段真空室内的极限真空都达到5×10-9Pa。全环真空室安装并连通后,大部分真空室不烘烤,只烘烤全环真空泵的情况下,极限真空达到2×10-8Pa。储存环运行在束流剂量260Ah、能量3.5GeV、流强220mA时,动态压强为0.8×10-7Pa,束流寿命21h,达到了真空系统的设计指标1.33×10-7Pa。 展开更多

关键词 同步辐射光源 储存环 真空系统

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上海光源TSP&NEG复合电源的研制 被引量：1

12

作者 安双利 蒋迪奎 +1 位作者 蒋罗荣 金建初 《真空》 CAS 北大核心 2007年第4期72-74,共3页

上海第三代同步辐射光源(SSRF)的动态真空要求为1.3×10-7Pa,要获得这样的超高真空环境,真空系统配置了多台钛升华泵(TSP)和非蒸散型吸气剂(NEG)组件,针对这两种设备的工作参数,研制了一种带有计算机通信接口的复合电源,并在LabVIE... 上海第三代同步辐射光源(SSRF)的动态真空要求为1.3×10-7Pa,要获得这样的超高真空环境,真空系统配置了多台钛升华泵(TSP)和非蒸散型吸气剂(NEG)组件,针对这两种设备的工作参数,研制了一种带有计算机通信接口的复合电源,并在LabVIEW环境下开发了一套相应的控制软件,实现了对TSP和NEG的本地和远程控制。经过测试,该控制器和控制软件均已达到了设计指标,可以正式投入到上海光源项目上使用。 展开更多

关键词 超高真空 钛升华泵 非蒸散型吸气剂 复合电源 LabVIEW

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上海光源真空波荡器的特殊真空问题 被引量：1

13

作者 蒋迪奎 陈永林 卢裕 《真空》 CAS 北大核心 2010年第4期104-107,共4页

上海光源(SSRF)在国内首次成功研制了两台真空波荡器IVU25B。真空波荡器产生了一些特殊的真空问题,它们影响到IVU25B的三个主要性能指标——磁场、阻抗和真空度。本文描述了解决这些特殊真空问题的方法。位于真空室内的运动部件内大梁... 上海光源(SSRF)在国内首次成功研制了两台真空波荡器IVU25B。真空波荡器产生了一些特殊的真空问题,它们影响到IVU25B的三个主要性能指标——磁场、阻抗和真空度。本文描述了解决这些特殊真空问题的方法。位于真空室内的运动部件内大梁的形状和位置精度是保证磁场性能的关键之一。自行设计的简单而有效的RF屏蔽机构和覆盖在磁铁上的镀Ni铜箔是降低IVU阻抗的关键部件。多孔的永磁铁是巨大的气源,在它们表面上镀TiN膜,把气体封闭在磁铁中,避免释放到真空中。讨论了IVU25B的真空状况以及对上海光源储存环性能的影响。 展开更多

关键词 同步辐射装置 真空插入件 真空问题

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上海光源储存环光子吸收器布局设计 被引量：1

14

作者 陈丽萍 蒋迪奎 +3 位作者 殷立新 徐毅 陈永林 卢裕 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2009年第5期326-332,共7页

电子束经过储存环弯转磁铁发生偏转时,产生总功率～435kW的同步辐射光,其中仅有一小部分被引入光束线、实验站,其余须在储存环中被光子吸收器吸收处理,并准直引出光束。本文对上海光源(SSRF)储存环同步辐射光的处理方法进行了讨论,并介... 电子束经过储存环弯转磁铁发生偏转时,产生总功率～435kW的同步辐射光,其中仅有一小部分被引入光束线、实验站,其余须在储存环中被光子吸收器吸收处理,并准直引出光束。本文对上海光源(SSRF)储存环同步辐射光的处理方法进行了讨论,并介绍了光子吸收器的布局、结构、性能及运行状况。 展开更多

关键词 加速器 同步辐射 热负载 光子吸收器

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光束线真空联锁保护系统性能评估测试 被引量：1

15

作者 周洪军 蒋迪奎 +3 位作者 徐朝银 刘绍义 洪义麟 张允武 《真空电子技术》 2004年第3期62-63,共2页

光束线真空联锁保护系统的主要功能是在束线薄窗破裂或实验站发生灾难性事故时,防止大气直接冲入储存环真空系统,并尽量减少漏入环真空室的气体量。光束线真空联锁保护系统主要由快阀、门阀、压力传感器(真空规)和控制系统等组成。本实... 光束线真空联锁保护系统的主要功能是在束线薄窗破裂或实验站发生灾难性事故时,防止大气直接冲入储存环真空系统,并尽量减少漏入环真空室的气体量。光束线真空联锁保护系统主要由快阀、门阀、压力传感器(真空规)和控制系统等组成。本实验室一期时研制的第一套真空联锁保护系统进行了模拟性的性能测试。性能测试所得到的数据为光束线真空联锁保护系统的实际应用提供了可靠数据。 展开更多

关键词 光束线 真空联锁保护系统 漏率

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超导扭摆磁铁同步辐射光的光电解吸气载 被引量：1

16

作者 蒋迪奎 殷立新 《真空》 CAS 北大核心 1997年第2期12-15,共4页

光电解吸气载是同步辐射光源储存环内的主要气载，也是光束线和实验站内的重要气载。本文计算了ＨＬＳ６Ｔ超导扭摆磁铁（Ｓ．Ｃ．Ｗｉｇｇｌｅｒ）的同步辐射光（ＷＳＲ）的光电解吸气载。从ＷＳＲ的各个波长的光通量公式出发，计算Ｗ... 光电解吸气载是同步辐射光源储存环内的主要气载，也是光束线和实验站内的重要气载。本文计算了ＨＬＳ６Ｔ超导扭摆磁铁（Ｓ．Ｃ．Ｗｉｇｇｌｅｒ）的同步辐射光（ＷＳＲ）的光电解吸气载。从ＷＳＲ的各个波长的光通量公式出发，计算ＷＳＲ的光子产额；选取二次发射系数，计算二次电子产额；确定解吸系数，计算气载；这就是本文的思路。 展开更多

关键词 加速器 光电解吸 气载 同步辐射光源 真空系统

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上海电子束离子阱装置真空控制系统 被引量：1

17

作者 安双利 蒋迪奎 郭盘林 《核技术》 EI CAS CSCD 北大核心 2007年第2期109-113,共5页

本文介绍了基于RS485总线结构和LabVIEW图形化软件环境的上海电子束离子阱(EBIT)装置真空控制系统,详细分析了对真空设备远程操作和数据采集以及真空联锁的实现方法。测试结果表明该系统达到了设计指标,满足了实验使用要求,目前已成功... 本文介绍了基于RS485总线结构和LabVIEW图形化软件环境的上海电子束离子阱(EBIT)装置真空控制系统,详细分析了对真空设备远程操作和数据采集以及真空联锁的实现方法。测试结果表明该系统达到了设计指标,满足了实验使用要求,目前已成功地应用在上海EBIT装置中。 展开更多

关键词 电子束离子阱(EBIT) 真空控制 RS485总线 LABVIEW

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上海光源储存环真空数据检索系统 被引量：1

18

作者 孙小影 陈广花 +3 位作者 刘以勇 陈建锋 蒋迪奎 戴志敏 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2010年第9期645-648,共4页

本文介绍一种基于Web的上海光源(SSRF)储存环真空数据库检索系统的设计与实现。该系统建立基于实验物理和工业控制系统(EPICS)真空数据的采集系统,用Channel Archiver存储真空规的压强读数、动态真空度、束流流强及束流寿命等数据到历... 本文介绍一种基于Web的上海光源(SSRF)储存环真空数据库检索系统的设计与实现。该系统建立基于实验物理和工业控制系统(EPICS)真空数据的采集系统,用Channel Archiver存储真空规的压强读数、动态真空度、束流流强及束流寿命等数据到历史数据库中,可从不同联网计算机检索数据,建立一个合理有效的SSRF储存环真空数据共享平台,为设备和科研人员提供一个可用可靠的数据来源。 展开更多

关键词 数据库 WEB技术 EPICS 真空控制

原文传递

合肥同步辐射光源储存环真空系统改造段的设计 被引量：1

19

作者 蒋迪奎 殷立新 《真空科学与技术》 CSCD 北大核心 1998年第5期359-363,共5页

合肥同步辐射光源（HLS）安装了一台6T超导扭摆磁铁。原储存环真空系统的1／8必须由改造段更换。改造段设计中遇到了新问题，如超导扭摆磁铁发出的同步辐射光的光通路和电子束流通道的确定，吸收同步辐射光的吸收器的设计，同步辐射光... 合肥同步辐射光源（HLS）安装了一台6T超导扭摆磁铁。原储存环真空系统的1／8必须由改造段更换。改造段设计中遇到了新问题，如超导扭摆磁铁发出的同步辐射光的光通路和电子束流通道的确定，吸收同步辐射光的吸收器的设计，同步辐射光的光电解吸气载的计算，改造段真空室截面的平滑过渡的实现和超导扭摆磁铁77K低温束流管道的特殊问题等。 展开更多

关键词 扭摆磁铁 同步辐射 真空系统改造段 储存环

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合肥光源束测元件钎焊焊缝辐射腐蚀的研究 被引量：1

20

作者 蒋迪奎 吴冠原 +2 位作者 赵飞云 孙葆根 董赛 《核技术》 CAS CSCD 北大核心 2000年第10期713-717,共5页

在合肥光源直线加速器和输运线的辐射环境中，束测元件的陶瓷封接钎焊焊缝被严重腐蚀而漏气。用Ｘ射线衍射仪对腐蚀生成物进行了物相分析，发现是Ｆｅ２Ｆ５·７Ｈ２Ｏ、ＣｕＦ２·２Ｈ２Ｏ、ＣｕＦ２等氟化盐。它们是辐射环境... 在合肥光源直线加速器和输运线的辐射环境中，束测元件的陶瓷封接钎焊焊缝被严重腐蚀而漏气。用Ｘ射线衍射仪对腐蚀生成物进行了物相分析，发现是Ｆｅ２Ｆ５·７Ｈ２Ｏ、ＣｕＦ２·２Ｈ２Ｏ、ＣｕＦ２等氟化盐。它们是辐射环境中的聚四氟乙烯降解释放的氟离子与焊缝处气体离子和金属离子反应的化合物。 展开更多

关键词 辐射腐蚀 X射线衍射谱 HLS BCM 钎焊焊缝

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