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硫化锌基底可见-红外多波段的光学薄膜 被引量：9
1
作者 付秀华 孙钰林 +1 位作者 贺才美 董洁凌 《红外与激光工程》 EI CSCD 北大核心 2009年第5期803-806,共4页
由于硫化锌（ZnS）晶体透光区域较宽,常被用于多波段可见与红外光学系统中。介绍了在ZnS基底上制备的多波段光学薄膜,在400-700nm的可见波段及8-12μm的中长波红外波段实现高透射率,在1064nm及1540nm两点实现高反射率,其入射角度为45... 由于硫化锌（ZnS）晶体透光区域较宽,常被用于多波段可见与红外光学系统中。介绍了在ZnS基底上制备的多波段光学薄膜,在400-700nm的可见波段及8-12μm的中长波红外波段实现高透射率,在1064nm及1540nm两点实现高反射率,其入射角度为45°。选取了ZnS和YbF3作为高低折射率材料,设计并通过软件优化出合理的膜系,采用电子枪离子辅助沉积系统进行镀制。该薄膜能够承受雨淋、盐雾、高低温等环境测试,满足使用要求。这对于红外光学系统的应用具有极其重要的意义。 展开更多
关键词 光学薄膜 红外增透膜 离子辅助沉积 牢固度
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