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题名基于机器视觉的半导体表面缺陷检测研究
被引量：4
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作者
董先飞
韩震宇
廖声洋
仪向向
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机构
四川大学制造科学与工程学院
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出处
《计测技术》
2014年第5期22-24,49,共4页
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文摘
半导体的广泛应用使得人们对其质量要求越来越高。半导体生产过程中塑封表面缺陷的检测得到更多生产厂家的重视。本文对SOT-23封装式半导体的表面塑封缺陷进行了研究,改进并优化半导体质量缺陷检测系统,通过边缘检测算法提取半导体管体的塑封边缘,确定被检管体的位姿,缩小检测范围,使用基于边缘点的模板匹配算法来判断字符的完整性,最后利用差影法准确地检测出塑封缺陷。经工厂试用后,结果显示此系统能有效地检测出表面质量缺陷。目前此系统已在工厂正式使用。
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关键词
机器视觉
半导体
塑封表面缺陷
差影法
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Keywords
Blob
machine vision
semiconductor
package surface defect
Blob
different image algorithm
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分类号
TB96
[机械工程—光学工程]
TP242.62
[一般工业技术—计量学]
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题名基于机器视觉的高速宽幅铝箔针孔检测系统
被引量：2
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作者
廖声洋
韩震宇
董先飞
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机构
四川大学机电研究所
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出处
《计测技术》
2013年第5期49-52,共4页
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文摘
为满足铝箔生产企业对高速宽幅的微小针孔在线检测需求,结合现有条件,自主开发了高速宽幅铝箔针孔在线检测系统。该系统以机器视觉技术为基础,配置高亮度、高稳定性的LED线性光源和高速线扫描CCD图像传感器,能够实时地获得高质量的铝箔图像。系统检测软件采用快速高效的目标识别和边缘检测算法以及亚像素精度边缘的提取分析算法,采用多线程技术、链表缓冲技术,可在12 ms内完成1幅图像的处理计算,实时判定是否存在针孔缺陷,保证检测系统的实时性和稳定性。
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关键词
铝箔
在线检测
高速宽幅
亚像素
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Keywords
aluminum foil
on-line detection
high-speed and broad width
sub-pixel
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分类号
TP391.41
[自动化与计算机技术—计算机应用技术]
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