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高择优取向Mo薄膜的直流磁控溅射制备及其电学性能 被引量:5
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作者 王震东 赖珍荃 +1 位作者 徐鹏 《光子学报》 EI CAS CSCD 北大核心 2011年第9期1342-1345,共4页
使用直流磁控溅射法在玻璃基底上沉积Mo薄膜,采用X射线衍射仪、原子力显微镜和四探针测试系统研究了溅射工艺对Mo薄膜的结构、形貌和电学性能的影响.结果表明:当基片温度为150℃时,薄膜获得(211)晶面择优取向生长,而在低于250℃的其它... 使用直流磁控溅射法在玻璃基底上沉积Mo薄膜,采用X射线衍射仪、原子力显微镜和四探针测试系统研究了溅射工艺对Mo薄膜的结构、形貌和电学性能的影响.结果表明:当基片温度为150℃时,薄膜获得(211)晶面择优取向生长,而在低于250℃的其它温度条件下,样品则表现为(110)晶面择优取向生长.进一步的表面形貌分析显示:薄膜的粗糙度随基片温度变化不明显,其值大约为0.35nm,随溅射功率密度的增大而变大;电学性能方面:随着溅射功率密度的升高,薄膜导电性能迅速增强,电阻率呈现近似指数函数衰减;随着基底温度的升高,薄膜的电阻率先减小后增大,当基底温度为150℃时,薄膜电阻率降低至最小值2.02×10-5Ω.cm. 展开更多
关键词 直流磁控溅射 MO薄膜 高择优取向 电学性能
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基于多层多道焊的弧焊机器人视觉信息提取及处理 被引量:3
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作者 刘南生 俞进 +4 位作者 徐志锋 谈振兴 徐申翔 张华 《南昌大学学报(理科版)》 CAS 北大核心 2005年第1期63-66,共4页
介绍爬行式弧焊机器人三维视觉信息的传感原理。研究了拉普拉斯锐化、细化等措施对图像处理的效果,给出型坡口多层多道焊边缘坐标的确定以及纠偏量和深度值的计算方法,实验说明效果较好。
关键词 多道焊 图像处理 弧焊机器人
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基于光子晶体多模波导的1.31/1.55μm双波长功分器的设计 被引量:4
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作者 吴评 +1 位作者 辛锋 于天宝 《量子电子学报》 CAS CSCD 北大核心 2008年第1期82-87,共6页
设计了一种基于光子晶体多模波导的双波长光功分器,该器件能同时实现1.31μm和1.55μm两种通信波长的光信号功率的平均分配,整个器件长度仅为15μm,是已报道的常规结构的182分之一。根据导模传输法,讨论了对称入射时光子晶体多模波导中... 设计了一种基于光子晶体多模波导的双波长光功分器,该器件能同时实现1.31μm和1.55μm两种通信波长的光信号功率的平均分配,整个器件长度仅为15μm,是已报道的常规结构的182分之一。根据导模传输法,讨论了对称入射时光子晶体多模波导中的自映像效应,采用时域有限差分法模拟了光场在波导中的分布,入射场的单重像和二重像交替在波导中周期性地出现。并讨论了功分器的输出效率,及输出效率随位于单模波导与多模波导联结处的介电柱位置变化而产生的变化。 展开更多
关键词 光通信 光子晶体波导 多模干涉 时域有限差分法 双波长功分
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光学工程类专业光学软件课程教学模式探索 被引量:1
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作者 邹林儿 +1 位作者 傅继武 沈云 《科技创新导报》 2014年第36期127-128,共2页
光学工程类专业是一门多学科交叉、综合性强的专业,其中专业光学软件教学是实践教学的一个重要环节。该文从专业课程体系设计、教学方法、学习要求以及考核方式等几方面探讨研究专业光学软件在光学工程类专业中的教学模式,提出了专业理... 光学工程类专业是一门多学科交叉、综合性强的专业,其中专业光学软件教学是实践教学的一个重要环节。该文从专业课程体系设计、教学方法、学习要求以及考核方式等几方面探讨研究专业光学软件在光学工程类专业中的教学模式,提出了专业理论知识与软件教学有机衔接的课程安排和强化软件专业训练,实施以实例为主线的教学方法,强调课堂讨论的学习方法,采取多样灵活有效的小作业和小组课题考核方式。该教学模式激发了学生学习兴趣,培养了学生综合知识运用能力,提高了学生光学设计技能。 展开更多
关键词 专业光学软件 光学工程类专业 课程教学 教学模式
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LNO薄膜的射频磁控溅射制备及其电学性能与红外吸收性能
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作者 王震东 赖珍荃 +2 位作者 张景基 黄志明 《南昌大学学报(理科版)》 CAS 北大核心 2005年第6期610-612,共3页
用磁控溅射法在S i(111)基片上以不同溅射功率沉积LaN iO3(LNO)薄膜,基片温度370℃,对沉积的薄膜样品进行快速热退火处理(500℃,10 m in)。使用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)精确测量不同溅射功率沉积的LNO薄膜退火前后的组分... 用磁控溅射法在S i(111)基片上以不同溅射功率沉积LaN iO3(LNO)薄膜,基片温度370℃,对沉积的薄膜样品进行快速热退火处理(500℃,10 m in)。使用电感耦合等离子体原子发射光谱(ICP-AES)精确测量不同溅射功率沉积的LNO薄膜退火前后的组分情况。分析发现:LNO薄膜经退火处理后,其中的N i/La的比值随着溅射功率增大而越接近理想比1:1,其导电性能也越好。另外,我们以相同工艺制备了不同厚度的LNO薄膜顶电极,四探针电阻测试仪和红外椭圆偏振光谱仪测试其电学与红外吸收性能,实验发现:(1)LNO薄膜的电阻率随膜厚的增加而降低,在大约300 nm厚时略又有增加趋势;(2)LNO薄膜的红外吸收系数随其厚度的增加而增加,且随红外波长的增大而减小。 展开更多
关键词 铁电薄膜 LNO薄膜 射频磁控溅射 红外吸收
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棱镜耦合自动测试系统设计
6
作者 邹林儿 王国日 《微型机与应用》 2012年第1期87-89,92,共4页
基于单片机与PC上位机,设计了包括硬件和软件的棱镜耦合自动测试系统。该系统控制了步进电机的运转状态,实现了光强数据的自动采集、处理,并通过软件完成数据存储、分析及图形显示。实验结果表明,该系统满足棱镜耦合技术要求,实验效果良... 基于单片机与PC上位机,设计了包括硬件和软件的棱镜耦合自动测试系统。该系统控制了步进电机的运转状态,实现了光强数据的自动采集、处理,并通过软件完成数据存储、分析及图形显示。实验结果表明,该系统满足棱镜耦合技术要求,实验效果良好,实现了高精度、高自动测试的棱镜耦合技术。 展开更多
关键词 单片机 PC上位机 棱镜耦合技术
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小电流钨极氩弧焊熔池表面高度测量投影系统
7
作者 魏昇 刘南生 《南昌大学学报(理科版)》 CAS 北大核心 2013年第6期531-535,共5页
利用傅里叶变换轮廓术的基本原理测量小电流钨极氩弧焊熔池表面高度,需要获得数量足够,调制度好的熔池变形光栅条纹。钨极氩弧焊熔池面积小,液态金属表面反射性能复杂,有强烈电弧光干扰,要综合考虑光栅节距、熔池表面反射、弧光干扰与... 利用傅里叶变换轮廓术的基本原理测量小电流钨极氩弧焊熔池表面高度,需要获得数量足够,调制度好的熔池变形光栅条纹。钨极氩弧焊熔池面积小,液态金属表面反射性能复杂,有强烈电弧光干扰,要综合考虑光栅节距、熔池表面反射、弧光干扰与光学系统参数之间的关系,设计好投影系统。研究表明,小电流钨极氩弧焊熔池振荡造成液态金属表面各微面元法线方向动态变化,对光束有散射效应,对于投射的结构光束,可以通过随机表面散射的镜面反射光拍摄熔池图像。将节距为0.4mm的矩形光栅以30°左右的掠射角离焦投射到钨极氩弧焊熔池表面,可获得较好的熔池变形光栅条纹,经后续处理,可初步测量出熔池表面高度。 展开更多
关键词 钨极氩弧焊 熔池振荡 表面高度 傅里叶变换轮廓术
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