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题名聚焦离子束(FIB)及其应用
被引量:27
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作者
韩伟
肖思群
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机构
FEI公司
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出处
《中国材料进展》
CAS
CSCD
2013年第12期716-727,751,共13页
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文摘
简单介绍了聚焦离子束(FIB)的历史和工作原理,以及将离子束和电子束合为体的双束系统。具体讨论了双束系统上的主要功能,如离子束镜筒、气体注入系统(GIS)、超高分辨率的扫描电镜镜筒及将离子束和电子束合为体的独特优势。例举了双束系统的系列应用,如制作纳米图形用的多种加工方法,气体注入系统在制作纳米图形中的应用,透射电镜及原子探针的样品制备,三维形貌表征,三维能谱成分表征,三维EBSD晶体位相表征和电路修补。详细介绍了这些相关应用的发展现状及特点,比较了各种应用的优缺点。文章还介绍了在中国科研领域双束系统的应用状况及中国科研工作者利用双束系统获得的重要成果。
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关键词
聚焦离子束
气体注入系统
微纳图形加工
三维表征
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Keywords
focused ion beam
gas injection system
nanoprototyping
3d characterization
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分类号
O539
[理学—等离子体物理]
TS758.7
[理学—物理]
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题名《基督山伯爵》中的佛学思想
被引量:1
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作者
高竞怡
肖思群
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机构
湖南科技大学土木学院
湖南科技大学图书馆
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出处
《当代教育理论与实践》
2011年第9期103-104,共2页
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文摘
《基督山伯爵》作为一部以情节取胜、在全世界广为流传的通俗小说,思想上也有很高的成就,其中与佛学思想有很多共同之处。本文从多个方面阐述了《基督山伯爵》体现的佛学思想。
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关键词
基督山伯爵
佛学思想
忍辱
精进
宽容
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分类号
I106
[文学—世界文学]
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