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石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究
被引量：
22
1
作者
高尚
耿
宗
超
+2 位作者
吴跃勤
王紫光
康仁科
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期186-195,共10页
为了实现石英玻璃的高效低损伤超精密磨削加工,研究不同粒度金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面和亚表面质量,建立表面粗糙度与亚表面损伤深度之间的关系模型。通过石英玻璃磨削试验研究400#、1 500#、2 000#和5 000#金刚石砂轮磨削石英玻璃...
为了实现石英玻璃的高效低损伤超精密磨削加工,研究不同粒度金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面和亚表面质量,建立表面粗糙度与亚表面损伤深度之间的关系模型。通过石英玻璃磨削试验研究400#、1 500#、2 000#和5 000#金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面微观形貌、表面粗糙度及其亚表面损伤深度,分析相应的材料去除方式;基于压痕断裂力学理论分析脆性域磨削石英玻璃时工件表面微观形貌和亚表面微裂纹的形成机理,建立表面粗糙度PV值和亚表面损伤深度SSD之间的定量关系。研究结果表明:随着砂轮粒度的减小,石英玻璃磨削表面的凹坑、微裂纹、深划痕等缺陷逐渐减少,表面粗糙度Ra和PV以及亚表面损伤深度SSD均随之明显减小,从400#砂轮磨削表面的R_a 274.0 nm、PV 5.35μm和SSD 5.73μm降低至5 000#砂轮磨削表面的Ra 1.4 nm、PV 0.02μm和SSD 0.004μm。500#和1 500#砂轮磨削表面的材料去除方式为脆性断裂去除,2 000#砂轮磨削表面的材料去除方式同时包括脆性断裂去除和塑性流动去除,但以塑性流动去除为主,5 000#砂轮磨削表面的材料去除方式为塑性流动去除;脆性域磨削石英玻璃的表面粗糙度PV与亚表面损伤深度SSD之间满足SSD=(0.627～1.356) PV^(4/3)的数学关系。
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关键词
石英玻璃
磨削
表面粗糙度
亚表面损伤
材料去除机理
原文传递
固结金刚石研磨盘加工蓝宝石基片的磨削性能研究
被引量：
10
2
作者
林智富
高尚
+2 位作者
康仁科
王紫光
耿
宗
超
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期1317-1322,共6页
通过蓝宝石基片磨削试验研究了陶瓷结合剂、树脂结合剂和陶瓷树脂复合结合剂制备的固结金刚石研磨盘磨削工件的材料去除率、表面粗糙度和磨盘自锐性能,确定了磨削性能最佳的金刚石研磨盘结合剂,在此基础上,进一步研究了W40、W20、W7和W...
通过蓝宝石基片磨削试验研究了陶瓷结合剂、树脂结合剂和陶瓷树脂复合结合剂制备的固结金刚石研磨盘磨削工件的材料去除率、表面粗糙度和磨盘自锐性能,确定了磨削性能最佳的金刚石研磨盘结合剂,在此基础上,进一步研究了W40、W20、W7和W2.5金刚石研磨盘磨削蓝宝石基片的材料去除率、表面粗糙度、表面/亚表面损伤及其材料去除机理,提出依次采用W40金刚石研磨盘粗磨、W7金刚石研磨盘半精磨和W2.5金刚石研磨盘精磨的蓝宝石基片高效低损伤磨削新工艺。结果表明,陶瓷树脂复合结合剂制备的固结金刚石研磨盘磨削蓝宝石基片的综合性能最好,随着磨料粒径的减小,磨削蓝宝石基片的表面材料去除方式从脆性断裂去除向塑性流动去除转变,同时蓝宝石基片的材料去除率、表面粗糙度和亚表面损伤深度也随之减小。
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关键词
蓝宝石基片
金刚石研磨盘
材料去除率
表面粗糙度
亚表面损伤
材料去除机理
下载PDF
职称材料
题名
石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究
被引量：
22
1
作者
高尚
耿
宗
超
吴跃勤
王紫光
康仁科
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
昆士兰大学机械与采矿工程学院
出处
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019年第5期186-195,共10页
基金
国家自然科学基金青年(51505063)
国家自然科学基金创新研究群体(51621064)
+3 种基金
国家自然科学基金重点(51735004)
国家自然科学基金面上(51575083)资助项目
国家科技重大专项(02专项)(2014ZX02504001)
国家重点研发计划(2016YFB1102205)
文摘
为了实现石英玻璃的高效低损伤超精密磨削加工,研究不同粒度金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面和亚表面质量,建立表面粗糙度与亚表面损伤深度之间的关系模型。通过石英玻璃磨削试验研究400#、1 500#、2 000#和5 000#金刚石砂轮磨削石英玻璃的表面微观形貌、表面粗糙度及其亚表面损伤深度,分析相应的材料去除方式;基于压痕断裂力学理论分析脆性域磨削石英玻璃时工件表面微观形貌和亚表面微裂纹的形成机理,建立表面粗糙度PV值和亚表面损伤深度SSD之间的定量关系。研究结果表明:随着砂轮粒度的减小,石英玻璃磨削表面的凹坑、微裂纹、深划痕等缺陷逐渐减少,表面粗糙度Ra和PV以及亚表面损伤深度SSD均随之明显减小,从400#砂轮磨削表面的R_a 274.0 nm、PV 5.35μm和SSD 5.73μm降低至5 000#砂轮磨削表面的Ra 1.4 nm、PV 0.02μm和SSD 0.004μm。500#和1 500#砂轮磨削表面的材料去除方式为脆性断裂去除,2 000#砂轮磨削表面的材料去除方式同时包括脆性断裂去除和塑性流动去除,但以塑性流动去除为主,5 000#砂轮磨削表面的材料去除方式为塑性流动去除;脆性域磨削石英玻璃的表面粗糙度PV与亚表面损伤深度SSD之间满足SSD=(0.627～1.356) PV^(4/3)的数学关系。
关键词
石英玻璃
磨削
表面粗糙度
亚表面损伤
材料去除机理
Keywords
quartz glass
grinding
surface roughness
subsurface damage
material removal mechanism
分类号
TQ171.684 [化学工程—玻璃工业]
TQ171.731 [化学工程—硅酸盐工业]
原文传递
题名
固结金刚石研磨盘加工蓝宝石基片的磨削性能研究
被引量：
10
2
作者
林智富
高尚
康仁科
王紫光
耿
宗
超
机构
大连理工大学精密与特种加工教育部重点实验室
出处
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016年第5期1317-1322,共6页
基金
国家自然基金重大研究计划集成项目(91023019)
国家自然基金创新研究群体项目(51321004)
+1 种基金
国家自然基金青年科学基金(51505063)
中国博士后基金面上项目(2014M561225)
文摘
通过蓝宝石基片磨削试验研究了陶瓷结合剂、树脂结合剂和陶瓷树脂复合结合剂制备的固结金刚石研磨盘磨削工件的材料去除率、表面粗糙度和磨盘自锐性能,确定了磨削性能最佳的金刚石研磨盘结合剂,在此基础上,进一步研究了W40、W20、W7和W2.5金刚石研磨盘磨削蓝宝石基片的材料去除率、表面粗糙度、表面/亚表面损伤及其材料去除机理,提出依次采用W40金刚石研磨盘粗磨、W7金刚石研磨盘半精磨和W2.5金刚石研磨盘精磨的蓝宝石基片高效低损伤磨削新工艺。结果表明,陶瓷树脂复合结合剂制备的固结金刚石研磨盘磨削蓝宝石基片的综合性能最好,随着磨料粒径的减小,磨削蓝宝石基片的表面材料去除方式从脆性断裂去除向塑性流动去除转变,同时蓝宝石基片的材料去除率、表面粗糙度和亚表面损伤深度也随之减小。
关键词
蓝宝石基片
金刚石研磨盘
材料去除率
表面粗糙度
亚表面损伤
材料去除机理
Keywords
sapphire substrate
diamond lapping plate
material removal rate
surface roughness
subsurface damage
material removal mechanism
分类号
TG580.6 [金属学及工艺—金属切削加工及机床]
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职称材料
题名
作者
出处
发文年
被引量
操作
1
石英玻璃超精密磨削加工的表面完整性研究
高尚
耿
宗
超
吴跃勤
王紫光
康仁科
《机械工程学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2019
22
原文传递
2
固结金刚石研磨盘加工蓝宝石基片的磨削性能研究
林智富
高尚
康仁科
王紫光
耿
宗
超
《人工晶体学报》
EI
CAS
CSCD
北大核心
2016
10
下载PDF
职称材料
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